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Fraunhofer-Institut für Produktionsanlagen und Konstruktionstechnik IPK
Zweistrahl-Interferometer
Fraunhofer-Gesellschaft
1990
,
Koerner, K.
,
Ludovit, N.
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Puder, J.
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Stadthaus, W.
,
Dolkeit, T.
Die Erfindung betrifft ein Zweistrahl-Interferometer zur Messung der Gestalt insbesondere ultrapraezisionsbearbeiteter Oberflaechen, nach dem Interferenzprinzip. Erfindungsgemaess begrenzen am Ausgang eines Interferometers mit einer zur Referenzstrahlenbuendelachse geneigten Prueflingsstrahlenbuendelachse zwei teilverspiegelte Flaechen einen Raum, die im Winkelbereich < 1 Grad keilfoermig zueinander angeordnet sind, wobei der Neigungswinkel der Buendelachsen und der Winkel zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen, die die Aussenflaechen eines quer verschiebbaren Glaskeiles bilden koennen, so aufeinander abgestimmt sind, dass zwischen der zweiten teilverspiegelten Flaeche und einem Objektiv durch eine Zickzack-Reflexion zwischen den beiden teilverspiegelten Flaechen und durch eine Transmission dieser von jeweils einem Teilstrahlenbuendel, Teilstrahlenbuendel-Paare bestehen, die genau aus je einem Teilreferenz-Strahlenbuendel und einem Teilprueflings-Strahlenbuendel gebildet sind.D urch Verschiebung des Glaskeiles wird es moeglich, die Phase im Interferogramm definiert zu verstellen. Durch eine geeignete Teilverspiegelung des Glaskeiles wird ein hoher Kontrast im Interferogramm erreicht.