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    Endbearbeitung von Mikrofräsern mittels Ionenstrahltechniken
    ( 2004)
    Borek, S.
    ;
    Schauer, K.
    ;
    Füting, M.
    ;
    Heilmann, A.
    Um die Anwendungsmöglichkeiten von Mikrowerkzeugen zu erweitern, wurde untersucht, ob sich die Oberflächenqualität von Mikro fräsern durch eine Ionenstrahlbehandlung verbessern lässt. Dazu wurden zunächst die Abtragraten verschiedener Ionenätzverfahren bestimmt und miteinander verglichen. Mit einer speziell konzipierten Vakuum anlage wurden Mikrowerkzeuge mit Hilfe einer Kaltkathoden-Ionenquelle nachbehandelt. Die Werkzeugoberflächen wurden vor und nach der Ionenbestrahlung mittels Rasterelektronenmikroskopie (REM) unter sucht. Nach der Ionenbestrahlung konnte eine deutliche Ober flächenglättung und ein Selbstschärf-Effekt der Mikrofräser festgestellt werden.