Fraunhofer-Gesellschaft

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MGS, Generierung von Ansteuerdaten für ZBA-ebeam Schreiber

 
: Bätz, U.; Kreißig, B.; Kunze, K.; Lingner, T.

Verein Deutscher Ingenieure e.V. -VDI-, Düsseldorf:
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile '94. Tagungsband
Düsseldorf: VDI-Verlag, 1994 (VDI-Berichte 1172)
ISBN: 3-18-091172-7
S.35-53
Maskentechnik für Mikroelektronik-, Mikrotechnik-Bauteile <1994, München>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer IMS, Außenstelle Dresden ( IPMS) ()
DV; E-Beam Schreiber; Lithographie; Mikroelektronik; Mikrotechnik; Portabilität; software

Abstract
MGS (Mask data Generation System) ist ein Softwarepaket zur Generierung von Ansteuerdaten für die E-Beam Schreiber der Typen ZBAxx. Die Anforderungen, die sich aus der Erhöhung des Integrationsgrades in der Mikroelektronik, der Ausdehnung der Miniaturisierung auf immer neue Gebiete und der Funktionsweise der E-Beam Schreiber an die Software ergeben, werden aufgezeigt. Es wird dargestellt, wie im MGS versucht wird, diesen Anforderungen gerecht zu werden.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/PX-23862.html