Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Cost reduction strategies for wafer expenditure

 
: Pfitzner, L.; Benesch, N.; Öchsner, R.; Schmidt, C.; Schneider, C.; Tschaftary, T.; Trunk, R.; Dudenhausen, H.-M.

:

Microelectronic engineering 56 (2001), Nr.1-2, S.61-71
ISSN: 0167-9317
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()
300mm wafer; integrated metrology; AEC/APC; wafer reclaim

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-9890.html