Fraunhofer-Gesellschaft

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Piezoelektrischer Mikrospiegel mit großem Scanwinkel, basierend auf Dünnschicht-Aluminiumnitrid

Piezoelectric micromirror with large scan angle, based on thin film aluminum nitride
 
: Meinel, K.; Stoeckel, C.; Melzer, M.; Zimmermann, S.; Forke, R.; Hiller, K.; Otto, T.

VDE/VDI-Gesellschaft Mikroelektronik, Mikro- und Feinwerktechnik -GMM-:
MikroSystemTechnik Kongress 2019 : Mikroelektronik - MEMS-MOEMS - Systemintegration - Säulen der Digitalisierung und künstlichen Intelligenz, 28. - 30. Oktober 2019, Berlin
Berlin: VDE-Verlag, 2019
ISBN: 978-3-8007-5090-0
ISBN: 978-3-8007-5129-7
S.92-95
MikroSystemTechnik Kongress <2019, Berlin>
Deutsch
Konferenzbeitrag
Fraunhofer ENAS ()

Abstract
Im Rahmen dieser Veröffentlichung werden mittels piezoelektrischem Dünnschicht-Aluminiumnitrids (AlN) aktuierte Mikrospiegel vorgestellt. Die Mikrosysteme mit 6 mm2 Footprint werden monolithisch in einer 150 mm SOI-Technologie hergestellt. Mithilfe von finiter Element-Modellierung wird eine Optimierung der Hebelarmparameter zur Maximierung des Auslenkwinkels durchgeführt. Ein maximaler Scanwinkel von 104,9 Grad wird bei 20 V und 1,9 kHz erreicht.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-630072.html