Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Measurement data evaluation for in situ single-wavelength ellipsometry during reactive ion etching

Presentation held at the 5th European AEC/APC Conference. Dresden, Germany, April 14-16, 2004
 
: Roeder, G.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.

:
Volltext urn:nbn:de:0011-n-329873 (633 KByte PDF)
MD5 Fingerprint: f77e710a36a16852046c9a5d77b645e6
Erstellt am: 28.10.2005


2004, 16 S.
European Advanced Equipment Control / Advanced Process Control Conference (AEC/APC Europe) <5, 2004, Dresden>
Englisch
Vortrag, Elektronische Publikation
Fraunhofer IISB ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-32987.html