Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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Entwicklung eines MEMS-Drucksensor-Prozessmoduls für die Post-CMOS-Integration

 
: Wang, Q.

:
Volltext (PDF; )

Essen, 2012, XII, 154 S.
Duisburg-Essen, Univ., Diss., 2012
URN: urn:nbn:de:hbz:464-20120503-094654-8
Deutsch
Dissertation, Elektronische Publikation
Fraunhofer IMS ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-275903.html