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Vorrichtung und Verfahren zur optischen Charakterisierung von Materialien

APPARATUS AND METHOD FOR OPTICALLY CHARACTERIZING MATERIALS
 
: Hartrumpf, M.

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DE 102010046438 A
Deutsch
Patent, Elektronische Publikation
Fraunhofer IOSB ()

Abstract
Die vorliegende Erfindung bezieht sich auf eine Vorrichtung zur optischen Charakterisierung einer Probe und/oder des/der Materials/ien derselben mit einer zur Beleuchtung eines Probenraumabschnitts, in den die Probe einbringbar ist, mit einfallendem Licht ausgerichteten oder ausrichtbaren Beleuchtungseinheit, einer zum Abbilden der in den Probenraumabschnitt eingebrachten Probe durch Empfang von durch die Probe zurückgeworfenem Licht ausgerichtete oder ausrichtbare Detektionseinheit, die zum Erfassen mindestens zweier unterschiedlicher, bevorzugt zweier orthogonaler, Polarisationsanteile im zurückgeworfenen Licht ausgebildet ist, und einer Auswerteeinheit, mit der in den von der Detektionseinheit aufgenommenen Abbildungsdaten diejenigen abgebildeten Oberflächenelemente (Reflexionselemente) der Probe identifizierbar sind, deren zurückgeworfenes,; empfangenes Licht auf einer Reflexion des einfallenden Lichts an der Probe beruht, und mit der die erfassten unterschiedlichen Polarisationsanteile für diese Reflexionselemente zu der optischen Charakterisierung auswertbar sind.

 

The present invention relates to an apparatus for optically characterizing a sample and/or the material(s) of the latter, having an illumination unit which is oriented or can be oriented to illuminate a sample space section, into which the sample can be introduced, with incident light, having a detection unit which is oriented or can be oriented to image the sample, which has been introduced into the sample space section, by receiving light reflected by the sample and is designed to detect at least two different, preferably two orthogonal, polarization components in the reflected light, and having an evaluation unit which can be used to identify, in the image data recorded by the detection unit, those imaged surface elements (reflection elements) of the sample, the reflected received light of which is based on reflection of the incident light at the sample, and can be used to evaluate the detected different polarization components for these reflection elements for the purpose of the optical characterization.

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/N-214424.html