Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Reducing airborne molecular contamination by efficient purging of FOUPs for 300-mm wafers. The influence of material properties

 
: Frickinger, J.; Bügler, J.; Zielonka, G.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Hollemann, S.; Schneider, H.

:

IEEE transactions on semiconductor manufacturing 13 (2000), Nr.4, S.427-433
ISSN: 0894-6507
Englisch
Zeitschriftenaufsatz
Fraunhofer IIS B ( IISB) ()

: http://publica.fraunhofer.de/dokumente/B-72441.html