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Verfahren zur Prüfung der Partikelkontamination in Versorgungssystemen für hochreine Flüssigkeiten

 
: Herz, R.

Berlin/West: Springer, 1989, 123 pp.
Zugl.: Stuttgart, Univ., Diss., 1989
IPA-IAO Forschung und Praxis, 138
ISBN: 0-387-51457-0
German
Dissertation
Fraunhofer IPA ()
Flüssigkeit; Teilchen

Abstract
Das Ziel dieser Arbeit war die Entwicklung von Prüfverfahren, mit denen Komponenten von Versorgungssystemen hinsichtlich ihres Kontaminationsverhaltens beurteilt und enthaltene Partikelquellen ergründet werden können. Aufbauend auf dem Stand der Technik erfolgt eine theoretische Analyse der Ursachen und Mechanismen des Partikeleintrags in Flüssigkeiten von der Wanderung der Versorgungssysteme. Daraus werden die möglichen Partikelquellen in Versorgungskomponenten zusammengestellt. Gleichzeitig erfolgt eine kritische Analyse der verfügbaren Meßtechnik für Partikel in Flüssigkeiten. Auf der Basis dieser Analysen werden die prüfbaren Parameter zusammengestellt und die entsprechnenden Anforderungen an die Prüfverfahren formuliert. Es zeigt sich, daß zur umfassenden Prüfung der Flüssigkeitsversorgung Prüfungen an verschiedenen Arten von Komponenten und Systemen, sowie den verwendeten Meßgeräten nötig sind. Es werden dafür die Aufbauten und Prüfabläufe konzipiert, die Prüfstände aufgebaut und in praktischen Kontaminationsuntersuchungen erprobt. Aus den gesammelten Erfahrungen wird ein Universalprüfstand für sämtliche Prüfungen konzipiert und entwickelt.

: http://publica.fraunhofer.de/documents/PX-58752.html