Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Thermomechanical behavior of thick PECVD oxide-films for power MEMS applications

 
: Zhang, X.; Chen, K.S.; Spearing, S.M.

:

Sensors and Actuators. A 103 (2003), No.1-2, pp.263-270
ISSN: 0924-4247
English
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37491.html