Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.

Characterization of silicon-wafer bonding for power MEMS applications

 
: Ayon, A.A.; Zhang, X.; Turner, K.T.; Choi, D.W.; Miller, B.; Nagle, S.F.; Spearing, S.M.

:

Sensors and Actuators. A 103 (2003), No.1-2, pp.1-8
ISSN: 0924-4247
English
Journal Article
Fraunhofer IPT ()

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-37258.html