Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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High-rate deposition of MgO by reactive ac pulsed magnetron sputtering in the transition mode

 
: Kupfer, H.; Kleinhempel, R.; Richter, F.; Peters, C.; Krause, U.; Kopte, T.; Cheng, Y.

:

Journal of vacuum science and technology A. Vacuum, surfaces and films 24 (2006), No.1, pp.106-113
ISSN: 0734-2101
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()
high rate; magnetron sputtering

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-36670.html