Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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The deposition of multilayer films on plastic substrates by reactive pulse magnetron sputtering

 
: Fukagawa, T.; Kato, Y.; Bartzsch, H.; Suzuki, K.

Vakuum in Forschung und Praxis 23 (2011), Sonderausgabe "Best of Glass" März, pp.38-40
ISSN: 0947-076X
ISSN: 1522-2454
English
Journal Article
Fraunhofer FEP ()
magnetron sputtering; multilayer

: http://publica.fraunhofer.de/documents/N-167903.html