Fraunhofer-Gesellschaft

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Anwendungsrelevante Aspekte bei der mechanischen Charakterisierung von PVD-Schichten mittels Nanoindentation und laser-akustischen Oberflächenwellen

 
: Lorenz, Lars
: Zimmermann, Martina; Weihnacht, Volker

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Fulltext urn:nbn:de:0011-n-4523445 (4.3 MByte PDF)
MD5 Fingerprint: 80bf3dfede6b33b2fcb6be4e6fe1ec34
Created on: 9.6.2017


Dresden, 2017, IX, 74 pp., XIII
Dresden, TU, Dipl.-Arb., 2016
German
Thesis, Electronic Publication
Fraunhofer IWS ()
Nanoindentation; Kohlenstoffschichten; ta-C coating; ta-C-Schichten

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1 Einleitung // 2 Grundlagen // 2.1 Statische Härteprüfung // 2.2 Instrumentierte Eindringprüfung // 2.3 Messung mit laserinduzierten akustischen Oberflächenwellen // 2.4 Schichtsysteme // 3 Geräte // 3.1 Prüfung mit dem Nanoindenter ZHN-1 // 3.2 Prüfung mit dem akustischen Prüfgerät LAwave // 4 Durchführung // 4.1 Proben // 4.2 Methodische Untersuchung der Auswertemethode des Schichteindringmoduls // 4.3 Methodische Untersuchung der instrumentierten Eindringprüfung // 4.4 Tiefenaufgelöste Messung an beschichteten Bauteilen // 4.5 Methodischer Vergleich Eindringprüfung und akustische Oberflächenwellen // 5 Ergebnisse und Diskussion // 5.1 Methodische Untersuchung der Auswertemethode des Schichteindringmoduls // 5.2 Methodische Untersuchung der Nanoindentation // 5.3 Tiefenaufgelöste Messung an beschichteten Bauteilen // 5.4 Methodischer Vergleich Eindringprüfung und akustische Oberflächenwellen // 6 Zusammenfassung und Ausblick // 7 Literaturangaben // 8 Anhang