Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2021A 2D circular-scanning piezoelectric MEMS mirror for laser material processing
Senger, Frank; Gu-Stoppel, Shanshan; Wen, Lianzhi; Albers, Jörg; Timmermann, Marec; Bruns, Stefan; Piechotta, Gundula; Buenting, Udo; Schulz-Ruhtenberg, Malte
Konferenzbeitrag
2021Additive Manufacturing as a Means of Gas Sensor Development for Battery Health Monitoring
Lupan, O.; Krüger, H.; Siebert, L.; Ababii, N.; Kohlmann, N.; Buzdugan, A.; Bodduluri, M.T.; Magariu, N.; Terasa, M.-I.; Strunskus, T.; Kienle, L.; Adelung, R.; Hansen, S.
Zeitschriftenaufsatz
2021Atomic scale confirmation of ferroelectric polarization inversion in wurtzite-type AlScN
Wolff, Niklas; Fichter, Simon; Haas, Benedikt; Islam, Md Redwanul; Niekiel, Florian; Kessel, Maximilian; Ambacher, Oliver; Koch, Christoph; Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian; Kienle, Lorenz
Zeitschriftenaufsatz
2021Corrigendum to "Potential of novel cadaverine biosensor technology to predict shelf life of chilled yellowfin tuna (Thunnus albacares)" 107458, 119, 2020
Alexi, N.; Hvam, J.; Lund, B.W.; Nsubuga, L.; Oliveira Hansen, R.M. de; Thamsborg, K.; Lofink, F.; Byrne, D.V.; Leisner, J.J.
Erratum
2021A design and manufacturing platform for AlScN based highly linear quasi-static MEMS mirrors with large optical apertures
Gu-Stoppel, S.; Senger, F.; Wen, L.; Yarar, E.; Wille, G.; Albers, J.
Konferenzbeitrag
2021A double-layer MEMS actuator based on ferroelectric polarization inversion in AlScN
Kreutzer, T.-N.; Fichtner, S.; Wagner, B.; Lofink, F.
Konferenzbeitrag
2021Emerging Fluorite- and Wurtzite-Type Ferroelectrics: From (Hf,Zr)O2 to AlN and Related Materials
Barabash, S.V.; Fichtner, S.; Park, M.H.; Schenk, T.
Editorial
2021Fiber-based frequency modulated LiDAR with MEMS scanning capability for long-range sensing in automotive applications
Cwalina, S.; Kottke, C.; Jungnickel, V.; Freund, R.; Runge, P.; Rustige, P.; Knieling, T.; Gu-Stoppel, S.; Albers, J.; Laske, N.; Senger, F.; Wen, L.; Giovanneschi, F.; Altuntac, E.; Ramesh, A.N.; Gonzalez-Huici, M.A.; Kuter, A.; Reddy, S.
Konferenzbeitrag
2021Fraunhofer Institute for Silicon Technology. Annual Report 2020
 
Jahresbericht
2021High speed external cavity diode laser concept based on a resonantly driven MEMS scanner for the mid-infrared region
Hoppe, M.; Schmidtmann, S.; Aßmann, C.; Honsberg, M.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.; Gu-Stoppel, S.; Senger, F.
Zeitschriftenaufsatz
2021Innovative ECDL design based on a resonant MEMS scanner for ultra-fast tuning in the MIR range
Hoppe, M.; Schmidtmann, S.; Aßmann, C.; Honsberg, M.; Tatenguem, H.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.; Gu-Stoppel, S.; Senger, F.
Konferenzbeitrag
2021Laser beam scanning based AR-display applying resonant 2D MEMS mirrors
Petrak, O.; Schwarz, F.; Pohl, L.; Reher, M.; Janicke, C.; Przytarski, J.; Senger, F.; Albers, J.; Giese, T.; Ratzmann, L.; Blicharski, P.; Marauska, S.; Wantoch, T. von; Hofmann, U.
Konferenzbeitrag
2021Magnetically Excited Piezoelectric Energy Harvester for Micropower Supply and Wakeup Applications
Gojdka, B.; Dankwort, T.; Nowak, M.A.; Bodduluri, M.T.; Ahmed, M.; Grünzig, S.; Lofink, F.
Konferenzbeitrag
2021On the exceptional temperature stability of ferroelectric Al1-xScxN thin films
Islam, M.R.; Wolff, N.; Yassine, M.; Schönweger, G.; Christian, B.; Kohlstedt, H.; Ambacher, O.; Lofink, F.; Kienle, L.; Fichtner, S.
Zeitschriftenaufsatz
2021Potential of novel cadaverine biosensor technology to predict shelf life of chilled yellowfin tuna (Thunnus albacares)
Alexi, N.; Hvam, J.; Lund, B.W.; Nsubuga, L.; Oliveira Hansen, R.M. de; Thamsborg, K.; Lofink, F.; Byrne, D.V.; Leisner, J.J.
Zeitschriftenaufsatz
2021Smart Balancing of Electrical Power in Germany: Fuzzy Logic Model to Simulate Market Response
Röben, F.; Schäfers, H.; Meißner, A.; Haan, J. de
Zeitschriftenaufsatz
2021Sub-micrometer pyroelectric tomography of AlScN films
Tappertzhofen, S.; Bette, S.; Sievers, F.; Fichtner, S.; Bröker, S.; Schmitz-Kempen, T.
Zeitschriftenaufsatz
2021Surface Modification Enabling Reproducible Cantilever Functionalization for Industrial Gas Sensors
Mamou, D.; Nsubuga, L.; Marcondes, T.L.; Hoegh, S.O.; Hvam, J.; Niekiel, F.; Lofink, F.; Rubahn, H.-G.; Hansen, R.O.
Zeitschriftenaufsatz
2021Ein Verfahren zum Herstellen einer gegenläufig magnetisierten Magnetstruktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2020AlScN based MEMS quasi-static mirror matrix with large tilting angle and high linearity
Gu-Stoppel, S.; Lisec, T.; Fichtner, S.; Funck, N.; Claus, M.; Wagner, B.; Lofink, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020AlScN-based MEMS magnetoelectric sensor
Su, J.; Niekiel, F.; Fichtner, S.; Thormaehlen, L.; Kirchhof, C.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.; Lofink, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020An approach to state signal shaping by limit cycle model predictive control
Cateriano Yanez, C.; Lichtenberg, G.; Pangalos, G.; Saez, J.S.
Zeitschriftenaufsatz
2020A bi-axial vacuum-packaged piezoelectric MEMS mirror for smart headlights
Senger, F.; Albers, J.; Hofmann, U.; Piechotta, G.; Giese, T.; Heinrich, F.; Wantoch, T. von; Gu-Stoppel, S.
Konferenzbeitrag
2020Constrained linear state signal shaping model predictive control for harmonic compensation in power systems
Weihe, K.; Cateriano Yanez, C.; Pangalos, G.; Lichtenberg, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Design and evaluation of a last-minute electricity market considering local grid limitations
Grasenack, Martin; Jürgens, Lucas; Meißner, Anna Christin; Dreher, Alexander; Giron, Pedro; Knorr, Kasper; Vogt, Mike
Konferenzbeitrag
2020Development of a small RGB-laser light engine
Reinert, W.; Malaurie, P.
Konferenzbeitrag
2020Einrichtung zur Ermittlung von Positionen oder Trajektorien eines oder mehrerer Partikel
Janes, Joachim; Huth, Christoph
Patent
2020Fast Power System Frequency Estimation by Shape Class Approximation for Synthetic Inertia Provision by Battery Energy Storage Systems
Kaufmann, C.; Yanez, C.C.; Pangalos, G.
Konferenzbeitrag
2020Ferroelectricity in AlScN: Switching, Imprint and sub-150 nm Films
Fichtner, S.; Lofink, F.; Wagner, B.; Schönweger, G.; Kreutzer, T.-N.; Petraru, A.; Kohlstedt, H.
Konferenzbeitrag
2020Ferroelektrische Halbleitervorrichtung und Verfahren zur Herstellung einer Speicherzelle
Wagner, Bernhard; Fichtner, Simon; Lofink, Fabian
Patent
2020Fraunhofer-Institute for Silicon Technology. Achievements and Results. Annual Report 2019
 
Jahresbericht
2020Frequency tunable resonant magnetoelectric sensors for the detection of weak magnetic field
Su, J.; Niekiel, F.; Fichtner, S.; Kirchhof, C.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.; Lofink, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020Magnetic anisotropy controlled FeCoSiB thin films for surface acoustic wave magnetic field sensors
Schell, V.; Müller, C.; Durdaut, P.; Kittmann, A.; Thormählen, L.; Lofink, F.; Meyners, D.; Höft, M.; McCord, J.; Quandt, E.
Zeitschriftenaufsatz
2020Market Response for Real-Time Energy Balancing with Fuzzy Logic
Röben, F.; Meissner, A.C.
Konferenzbeitrag
2020Market Response for Real-Time Energy Balancing: Simulation using Field Test Data
Franz, J.; Röben, F.
Konferenzbeitrag
2020Meat and fish freshness evaluation by functionalized cantilever-based biosensors
Costa, C.A.B.; Grazhdan, D.; Fiutowski, J.; Nebling, E.; Blohm, L.; Lofink, F.; Rubahn, H.-G.; Oliveira Hansen, R. de
Zeitschriftenaufsatz
2020MEMS-System
Niekiel, Malte Florian; Lofink, Fabian; Lisec, Thomas
Patent
2020A miniaturized RGB-laser light engine
Reinert, W.
Konferenzbeitrag
2020Novel back-end-of-line compatible method for integration of inductances with magnetic core on silicon
Paesler, M.; Lisec, T.; Kapels, H.
Konferenzbeitrag
2020Novel Integrated BEOL Compatible Inductances for Power Converter Applications
Paesler, M.; Lisec, T.; Kapels, H.
Konferenzbeitrag
2020Optimizing Piezoelectric Cantilever Design for Electronic Nose Applications
Korsa, M.T.; Domingo, J.M.C.; Nsubuga, L.; Hvam, J.; Niekiel, F.; Lofink, F.; Rubahn, H.-G.; Adam, J.; Hansen, R.O.
Zeitschriftenaufsatz
2020Resonant 1D MEMS mirror with a total optical scan angle of 180° for automotive LiDAR
Schwarz, F.; Senger, F.; Albers, J.; Malaurie, P.; Janicke, C.; Pohl, L.; Heinrich, F.; Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Lofink, F.; Bahr, A.; Wantoch, T. von; Hofmann, U.
Konferenzbeitrag
2020Sensitivity and noise analysis of SAW magnetic field sensors with varied magnetostrictive layer thicknesses
Kittmann, A.; Müller, C.; Durdaut, P.; Thormählen, L.; Schell, V.; Niekiel, F.; Lofink, F.; Meyners, D.; Knöchel, R.; Höft, M.; McCord, J.; Quandt, E.
Zeitschriftenaufsatz
2020A triple-wafer-bonded AlScN driven quasi-static MEMS mirror with high linearity and large tilt angles
Gu-Stoppel, S.; Lisec, T.; Claus, M.; Funck, N.; Fichtner, S.; Schröder, S.; Wagner, B.; Lofink, F.
Konferenzbeitrag
2020Ultrasensitive Magnetoelectric Sensing System for Pico-Tesla MagnetoMyoGraphy
Zuo, S.; Schmalz, J.; Özden, M.-O.; Gerken, M.; Su, J.; Niekiel, F.; Lofink, F.; Nazarpour, K.; Heidari, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019 Verfahren zur Herstellung einer MEMS Spiegelanordnung und MEMS Spiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans-Joachim; Stenchly, Vanessa
Patent
2019Al1-xScxN thin films for pyroelectric IR detectors
Bröker, S.; Fichtner, S.; Bette, S.; Tiedke, S.; Tappertzhofen, S.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2019AlScN: A III-V semiconductor based ferroelectric
Fichtner, S.; Wolff, N.; Lofink, F.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Antennenanordnung zum Abtasten eines Raumes mittels sichtbarer oder unsichtbarer Strahlung
Ebberg, Alfred; Hofmann, Ulrich
Patent
2019Approaches to Fault Detection for Heating Systems Using CP Tensor Decompositions
Sewe, E.; Pangalos, G.; Lichtenberg, G.
Konferenzbeitrag
2019Augmented Reality in der Schiffsführung
Lukas, Uwe von; Bauer, Kristine; Petersen, Arne; Eichholz, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
2019A co-simulation of flexibility market based congestion management in Northern Germany
Meißner, Anna Christin; Dreher, Alexander; Knorr, Kaspar; Vogt, Mike; Zarif, Hojat; Jürgens, Lucas; Grasenack, Martin
Konferenzbeitrag
2019Design and Electroacoustic Analysis of a Piezoelectric MEMS In-Ear Headphone
Männchen, Andreas; Stoppel, Fabian; Brocks, Tobias; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2019Einrichtung zur Projektion eines Laserstrahls zur Erzeugung eines Bildes auf der Netzhaut eines Auges und Brilleneinrichtung mit zwei derartigen Einrichtungen
Janes, Joachim; Hofmann, Ulrich
Patent
2019Exploring the Causes of Power-Converter Failure in Wind Turbines based on Comprehensive Field-Data and Damage Analysis
Fischer, Katharina; Pelka, Karoline; Puls, Sebastian; Poech, Max-Hermann; Mertens, Axel; Bartschat, Arne; Tegtmeier, Bernd; Broer, Christian; Wenske, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2019Ferroelektrisches Material, MEMS-Bauteil mit einem ferroelektrischen Material, MEMS-Vorrichtung mit einem ersten MEMS-Bauteil, Verfahren zur Herstellung eines MEMS-Bauteils und Verfahren zur Herstellung eines CMOS-kompatiblen MEMS-Bauteils
Wagner, Bernhard; Lofink, Fabian; Kaden, Dirk; Fichtner, Simon
Patent
2019Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019High-performance integrated hard magnets for MEMS applications
Bodduluri, M.T.; Lisec, T.; Blohm, L.; Lofink, F.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2019A highly linear piezoelectric quasi-static MEMS mirror with mechanical tilt angles of larger than 10°
Gu-Stoppel, S.; Lisec, T.; Fichtner, S.; Funck, N.; Eisermann, C.; Lofink, F.; Wagner, B.; Müller-Groeling, A.
Konferenzbeitrag
2019Highly sensitive MEMS magnetic field sensors with integrated powder-based permanent magnets
Niekiel, F.; Su, J.; Bodduluri, M.T.; Lisec, T.; Blohm, L.; Pieper, I.; Wagner, B.; Lofink, F.
Zeitschriftenaufsatz
2019Infrared-laser based characterization of the pyroelectricity in AlScN thin-films
Bette, S.; Fichtner, S.; Bröker, S.; Nielen, L.; Schmitz-Kempen, T.; Wagner, B.; Buggenhout, C. van; Tiedke, S.; Tappertzhofen, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019MEMS-Based AlScN Resonating Energy Harvester with Solidified Powder Magnet
Yarar, E.; Fichtner, S.; Hayes, P.; Piorra, A.; Reimer, T.; Lisec, T.; Frank, P.; Wagner, B.; Lofink, F.; Meyners, D.; Quandt, E.
Zeitschriftenaufsatz
2019Mikroozon - thermal flow sensors and ozone generating electrodes for water cleaning applications
Knieling, T.; Laske, N.; Rasmusssen, M.; Samson, J.; Muehler, T.; Behrendt-Fryda, B.; Blohm, L.; Nebling, E.
Konferenzbeitrag
2019Model-Based Control of an Inverter for Wide Range Soft-Switching Operation
Manthey, F.; Gorodnichev, A.; Langnes, E.; Pangalos, G.; Haase, F.
Konferenzbeitrag
2019Optimized Swing Equation Control for Battery Energy Storage Systems
Franz, Julian; Cateriano Yáñez, Carlos; Pangalos, Georg
Konferenzbeitrag
2019Piezoelectric MEMS sensors for the detection of weak magnetic signals with adjustable resonance
Su, J.; Niekiel, F.; Fichtner, S.; Kirchhof, C.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.; Lofink, F.
Konferenzbeitrag
2019Piezoelektrische MEMS-Lautsprecher für In-Ear-Anwendungen
Stoppel, F.; Männchen, A.; Niekiel, F.; Beer, D.; Giese, T.; Pieper, I.; Kaden, D.; Grünzig, S.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2019Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources. Erratum
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Erratum
2019A stress sensor based on a silicon field effect transistor comprising a piezoelectric AlN gate dielectric
Winterfeld, H.; Thormählen, L.; Lewitz, H.; Yarar, E.; Birkoben, T.; Niethe, N.; Preinl, N.; Hanssen, H.; Quandt, E.; Kohlstedt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Vorrichtung zur ortsaufgelösten Detektion und Verwendung einer solchen Vorrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Analyseeinrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Analysis of the mechanical vibration and acoustic behavior of a piezoelectric MEMS microspeaker
Männchen, A.; Beer, D.; Niekiel, F.; Nowak, J.; Stoppel, F.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2018Antennenvorrichtung
Ebberg, Alfred; Hofmann, Ulrich; Schernus, Winfried; Senger, Frank
Patent
2018An Approach to linear state Signal Shaping by quadratic Model Predictive Control
Cateriano Yáñez, Carlos; Pangalos, Georg; Lichtenberg, Gerwald
Konferenzbeitrag
2018Bilderzeugungseinrichtung
Giese, Thorsten; Janes, Joachim
Patent
2018Comparison of Linear State Signal Shaping Model Predictive Control with Classical Concepts for Active Power Filter Design
Weihe, Kathrin; Cateriano Yáñez, Carlos; Pangalos, Georg; Lichtenberg, Gerwald
Konferenzbeitrag
2018Coupling between vortices and antivortices in a cross-tie wall studied by time-resolved SEMPA
Kloodt-Twesten, F.; Kuhrau, S.; Staeck, P.; Cavicchia, D.R.; Lofink, F.; Oepen, H.P.; Frömter, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Elektrochemische Migration auf elektronischen Baugruppen durch kombinierte Lötprozesse
Schimanski, H.; Hagge, J.
Konferenzbeitrag
2018Energy harvesting and conversion - applications of piezoelectric transformer and transducer MEMS
Radecker, Matthias; Kunzmann, Jan; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Yang, Yujia
Vortrag
2018Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2017
 
Jahresbericht
2018Highly Integrated Traction Inverter for a Modular Drive Concept
Schümann, U.; Schnack, J.; Eisele, R.; Hilper, D.; Mertens, C.; Heumann, P.; Schliwinski, H.-J.; Päsler, M.; Hinz, J.; Kamprath, M.; Zastrow, A.; Beer, H.; Osterwald, F.; Ebel, T.; Brückner, S.; Wolff, H.; Reese, H.; Schikowski, S.
Konferenzbeitrag
2018In-Ear Headphone System with Piezoelectric MEMs Driver
Männchen, Andreas; Stoppel, Fabian; Beer, Daniel; Niekiel, Florian; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2018Investigations of copper wire bonding capability on plasma based additive copper metallizations
Hensel, A.; Kohlmann von Platen, K.; Franke, J.
Konferenzbeitrag
2018Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Oliveira Hansen, R. de; Matefi-Tempfli, M.; Safonovs, R.; Adam, J.; Chemnitz, S.; Reimer, T.; Wagner, B.; Benecke, W.; Matefi-Tempfli, S.
Zeitschriftenaufsatz
2018Micro-cantilevers for optical sensing of biogenic amines
Wang, Y.; Costa, C.A.B.; Sobolewska, E.K.; Fiutowski, J.; Brehm, R.; Albers, J.; Nebling, E.; Lofink, F.; Wagner, B.; Benecke, W.; Rubahn, H.-G.; Oliveira Hansen, R. de
Zeitschriftenaufsatz
2018Mikromechanischer Schallwandler
Gu-Stoppel, Shanshan; Stoppel, Fabian; Wagner, Bernhard
Patent
2018Model predictive load compensation in distribution grids
Cateriano Yáñez, Carlos; Pangalos, Georg; Lichtenberg, Gerwald
Konferenzbeitrag
2018Mundstück mit einem Kanal
Blohm, Lars; Knieling, Thomas; Nebling, Eric
Patent
2018Neuartige poröse Strukturen für MEMS: Erzeugung per Pulveragglomeration mittels ALD
Reimer, T.
Dissertation
2018New integrated full-range MEMS speaker for in-ear applications
Stoppel, Fabian; Männchen, Andreas; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Giese, Thorsten; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2018Novel Type of MEMS Loudspeaker Featuring Membrane-Less Two-Way Sound Generation
Stoppel, F.; Niekiel, F.; Giese, T.; Gu-Stoppel, S.; Männchen, A.; Nowak, J.; Beer, D.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2018Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs
Janes, Joachim
Patent
2018Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Zeitschriftenaufsatz
2018Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben
Bandorf, Ralf; Kaden, Dirk; Ortner, Kai; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2018Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs mit einem Laserstrahl
Janes, Joachim
Patent
2018Silicon lens arrays for wafer level packaging of IR-sensors
Kulkarni, A.; Malaurie, P.; Stenchly, V.; Quenzer, H.J.; Laske, N.; Dudde, R.
Konferenzbeitrag
2018Technology and electrical characterization of MemFlash cells for neuromorphic applications
Winterfeld, H.; Ziegler, M.; Hanssen, H.; Friedrich, D.; Benecke, W.; Kohlstedt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Ultra-thin TiO2 films by atomic layer deposition and surface functionalization with Au nanodots for sensing applications
Lupan, O.; Postica, V.; Ababii, N.; Reimer, T.; Shree, S.; Hoppe, M.; Polonskyi, O.; Sontea, V.; Chemnitz, S.; Faupel, F.; Adelung, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Wärmeisoliertes Mikrosystem
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2018Zwei-Wege-Lautsprecher basierend auf MEMS-Technologie
Männchen, Andreas; Stoppel, Fabian; Beer, Daniel; Niekiel, Florian; Nowak, Johannes; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2017Additive copper metallization of semiconductors for enabling a copper wire bonding process
Hensel, A.; Mueller, M.; Franke, J.; Kohlmann von Platen, K.
Konferenzbeitrag
2017Domain Walls in Bent Nanowires
Lofink, F.; Philippi-Kobs, A.; Azad, M.R.R.; Hankemeier, S.; Hoffmann, G.; Frömter, R.; Oepen, H.P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Fault detection for heating systems using tensor decompositions of multi-linear models
Sewe, E.; Pangalos, G.; Lichtenberg, G.
Konferenzbeitrag
2017Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2016
 
Jahresbericht
2017Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
Chemnitz, S.; Reimer, T.; Lisec, T.
Konferenzbeitrag
2017High temperature investigation on a nickel-tin transient liquid-phase wafer bonding up to 600 °C
Budhiman, N.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2017Identifying and overcoming the interface originating c-axis instability in highly Sc enhanced AlN for piezoelectric micro-electromechanical systems
Fichtner, S.; Wolff, N.; Krishnamurthy, G.; Petraru, A.; Bohse, S.; Lofink, F.; Chemnitz, S.; Kohlstedt, H.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2017Magnetically driven energy-harvester with monolithically integrated high-energy-density magnets
Lofink, F.; Tolstrup, V.; Lisec, T.; Reimer, T.; Piorra, A.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017MEMS switch with prolonged lifetime under hot switching conditions based on gold as contact material
Lisec, T.; Stoppel, F.; Kaden, D.; Heinrich, F.; Neumann, A.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017Metallographische Untersuchung von Brandschäden in der Elektronik
Reiter, K.; Puls, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich; Kaden, Dirk
Patent
2017Miniaturization of power converters by piezoelectric transformers - chances and challenges
Radecker, Matthias; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Reich, Torsten; Buhl, René; Yang, Yujia
Vortrag
2017Modular packaging concept for MEMS and MOEMS
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Konferenzbeitrag
2017MoniShirt - large area printed piezoelectric sensors for body motion tracking
Varman, Ram Kumar Raja Mahendra; Knieling, Thomas; Grunemann, Timo; Domann, Gerhard
Konferenzbeitrag
2017Nanodiamond resonators fabricated on 8'' Si substrates using adhesive wafer bonding
Lebedev, Vadim; Lisec, Thomas; Yoshikawa, Taro; Reusch, Markus; Iankov, Dimitre; Giese, Christian; Zukauskaite, Agne; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Zeitschriftenaufsatz
2017A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD
Lisec, T.; Reimer, T.; Knez, M.; Chemnitz, S.; Schulz-Walsemann, A.V.; Kulkarni, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Novel membrane-less two-way MEMS loudspeaker based on piezoelectric dual-concentric actuators
Stoppel, F.; Eisermann, C.; Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Giese, T.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017A novel technology for MEMS based on the agglomeration of powder by atomic layer deposition
Lisec, T.; Chemnitz, S.; Lofink, F.; Reimer, T.; Kulkarni, A.; Piechotta, G.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017Online IGBT temperature measurement method using a greybox model
Pangalos, G.; Paesler, M.; Kapels, H.
Konferenzbeitrag
2017Piezoelectrically Driven and Sensed Micromirrors with Extremely Large Scan Angles and Precise Closed-Loop Control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with large scan angles and precise closed-loop control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2017PZT-actuated and -sensed resonant micromirrors with large scan angles applying mechanical leverage amplification for biaxial scanning
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017Silicon based electrical biosensor technology for mobile diagnostics
Blohm, L.; Albers, J.; Piechotta, G.; Nebling, E.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten unter Verwendung von Funktionselementen
Quenzer, Hans Joachim; Stenchly, Vanessa
Patent
2017Vorrichtung zur Erzeugung einer Wechselspannung, Schaltungsanordnung zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung, Verfahren zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung für eine Energiesenke, Wechselrichter zur Erzeugung einer Wechselspannung aus einer Gleichspannung, Energiespeicher-Vorrichtung zur Bereitstellung einer Wechselspannung unter Verwendung eines Gleichspannungsenergiespeichers, dreiphasige Wechselrichtervorrichtung, dreiphasige Wechselrichterschaltung, und Konzept zur Erzeugung einer Gleichspannung
Kapels, Holger; YU, Zhe
Patent
2016Applications of chemical mechanical planarization (CMP) to More than Moore devices
Zwicker, G.
Aufsatz in Buch
2016Einfluss des Lotpastendrucks auf die Zuverlässigkeit der Lötstellen kritischer keramischer SMD-Komponenten auf FR4-Leiterplatten. Schweissen und Schneiden
Gu-Stoppel, S.
Dissertation
2016Extreme high efficiency non-inverting buck-boost converter for energy storage systems
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Konferenzbeitrag
2016Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2015
 
Jahresbericht
2016Hermetic packaging concept for laser diodes on wafer level
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Konferenzbeitrag
2016Investigations on the C-rate and temperature dependence of manganese dissolution/deposition in LiMn2O4/Li4Ti5O12 lithium ion batteries
Börner, M.; Klamor, S.; Hoffmann, B.; Schroeder, M.; Nowak, S.; Würsing, A.; Winter, M.; Schappacher, F.M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Low power and highly precise closed-loop driving circuits for piezoelectric micromirrors with embedded capacitive position sensors
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Konferenzbeitrag
2016Mikromechanische piezoelektrische Aktuatoren zur Realisierung hoher Kräfte und Auslenkungen
Stoppel, Fabian; Wagner, Bernhard
Patent
2016Modeling of biaxial gimbal-less MEMS scanning mirrors
Wantoch, T. von; Gu-Stoppel, S.; Senger, F.; Mallas, C.; Hofmann, U.; Meurer, T.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2016Multimode delta-E effect magnetic field sensors with adapted electrodes
Zabel, S.; Reermann, J.; Fichtner, S.; Kirchhof, C.; Quandt, E.; Wagner, B.; Schmidt, G.; Faupel, F.
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel control concept for high-efficiency power conversion with the bidirectional non-inverting buck-boost converter
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Konferenzbeitrag
2016Photocatalytic applications of doped zinc oxide porous films grown by magnetron sputtering
Ghimpu, L.; Reimer, T.; Smazna, D.; Hoppe, M.; Benecke, W.; Bejenari, A.; Cojocaru, A.; Lupan, O.; Adelung, R.; Tiginyanu, I.
Konferenzbeitrag
2016Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
Quenzer, Hans Joachim; Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Heinrich, Felix
Patent
2016Sensing properties of ultra-thin TiO2 nanostructured films based sensors
Postica, V.; Reimer, T.; Lazari, E.; Ababii, N.; Shishiyanu, S.; Railean, S.; Kaidas, V.; Kaps, S.; Lupan, O.; Benecke, W.; Adelung, R.
Konferenzbeitrag
2016TAIKO wafer ball attach
Schröder, S.; Schröder, M.; Reinert, W.; Priewasser, K.H.
Konferenzbeitrag
2016Temperature-stable NdFeB micromagnets with high-energy density compatible with CMOS back end of line technology
Reimer, T.; Lofink, F.; Lisec, T.; Thede, C.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2016Transmission electron microscopy study for investigating high-temperature reliability of Ti10W90-based and Ta-based diffusion barriers up to 600°C
Budhiman, N.; Schürmann, U.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2016Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans Joachim; Reimer, Tim
Patent