Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019AlScN: A III-V semiconductor based ferroelectric
Fichtner, S.; Wolff, N.; Lofink, F.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Exploring the Causes of Power-Converter Failure in Wind Turbines based on Comprehensive Field-Data and Damage Analysis
Fischer, Katharina; Pelka, Karoline; Puls, Sebastian; Poech, Max-Hermann; Mertens, Axel; Bartschat, Arne; Tegtmeier, Bernd; Broer, Christian; Wenske, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019Highly sensitive MEMS magnetic field sensors with integrated powder-based permanent magnets
Niekiel, F.; Su, J.; Bodduluri, M.T.; Lisec, T.; Blohm, L.; Pieper, I.; Wagner, B.; Lofink, F.
Zeitschriftenaufsatz
2019Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources. Erratum
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019A stress sensor based on a silicon field effect transistor comprising a piezoelectric AlN gate dielectric
Winterfeld, H.; Thormählen, L.; Lewitz, H.; Yarar, E.; Birkoben, T.; Niethe, N.; Preinl, N.; Hanssen, H.; Quandt, E.; Kohlstedt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Analyseeinrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Analysis of the mechanical vibration and acoustic behavior of a piezoelectric MEMS microspeaker
Männchen, A.; Beer, D.; Niekiel, F.; Nowak, J.; Stoppel, F.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2018Antennenvorrichtung
Ebberg, Alfred; Hofmann, Ulrich; Schernus, Winfried; Senger, Frank
Patent
2018Bilderzeugungseinrichtung
Giese, Thorsten; Janes, Joachim
Patent
2018Coupling between vortices and antivortices in a cross-tie wall studied by time-resolved SEMPA
Kloodt-Twesten, F.; Kuhrau, S.; Staeck, P.; Cavicchia, D.R.; Lofink, F.; Oepen, H.P.; Frömter, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Energy harvesting and conversion - applications of piezoelectric transformer and transducer MEMS
Radecker, Matthias; Kunzmann, Jan; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Yang, Yujia
Vortrag
2018Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2017
 
Jahresbericht
2018In-Ear Headphone System with Piezoelectric MEMs Driver
Männchen, Andreas; Stoppel, Fabian; Beer, Daniel; Niekiel, Florian; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2018Investigations of copper wire bonding capability on plasma based additive copper metallizations
Hensel, A.; Kohlmann von Platen, K.; Franke, J.
Konferenzbeitrag
2018Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Oliveira Hansen, R. de; Matefi-Tempfli, M.; Safonovs, R.; Adam, J.; Chemnitz, S.; Reimer, T.; Wagner, B.; Benecke, W.; Matefi-Tempfli, S.
Zeitschriftenaufsatz
2018Micro-cantilevers for optical sensing of biogenic amines
Wang, Y.; Costa, C.A.B.; Sobolewska, E.K.; Fiutowski, J.; Brehm, R.; Albers, J.; Nebling, E.; Lofink, F.; Wagner, B.; Benecke, W.; Rubahn, H.-G.; Oliveira Hansen, R. de
Zeitschriftenaufsatz
2018Mundstück mit einem Kanal
Blohm, Lars; Knieling, Thomas; Nebling, Eric
Patent
2018New integrated full-range MEMS speaker for in-ear applications
Stoppel, Fabian; Männchen, Andreas; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Giese, Thorsten; Wagner, Bernhard
Konferenzbeitrag
2018Novel Type of MEMS Loudspeaker Featuring Membrane-Less Two-Way Sound Generation
Stoppel, F.; Niekiel, F.; Giese, T.; Gu-Stoppel, S.; Männchen, A.; Nowak, J.; Beer, D.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2018Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs
Janes, Joachim
Patent
2018Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Zeitschriftenaufsatz
2018Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben
Bandorf, Ralf; Kaden, Dirk; Ortner, Kai; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2018Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs mit einem Laserstrahl
Janes, Joachim
Patent
2018Silicon lens arrays for wafer level packaging of IR-sensors
Kulkarni, A.; Malaurie, P.; Stenchly, V.; Quenzer, H.J.; Laske, N.; Dudde, R.
Konferenzbeitrag
2018Technology and electrical characterization of MemFlash cells for neuromorphic applications
Winterfeld, H.; Ziegler, M.; Hanssen, H.; Friedrich, D.; Benecke, W.; Kohlstedt, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Ultra-thin TiO2 films by atomic layer deposition and surface functionalization with Au nanodots for sensing applications
Lupan, O.; Postica, V.; Ababii, N.; Reimer, T.; Shree, S.; Hoppe, M.; Polonskyi, O.; Sontea, V.; Chemnitz, S.; Faupel, F.; Adelung, R.
Zeitschriftenaufsatz
2018Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Wärmeisoliertes Mikrosystem
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2017Additive copper metallization of semiconductors for enabling a copper wire bonding process
Hensel, A.; Mueller, M.; Franke, J.; Kohlmann von Platen, K.
Konferenzbeitrag
2017Domain Walls in Bent Nanowires
Lofink, F.; Philippi-Kobs, A.; Azad, M.R.R.; Hankemeier, S.; Hoffmann, G.; Frömter, R.; Oepen, H.P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Fault detection for heating systems using tensor decompositions of multi-linear models
Sewe, E.; Pangalos, G.; Lichtenberg, G.
Konferenzbeitrag
2017Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2016
 
Jahresbericht
2017Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
Chemnitz, S.; Reimer, T.; Lisec, T.
Konferenzbeitrag
2017High temperature investigation on a nickel-tin transient liquid-phase wafer bonding up to 600 °C
Budhiman, N.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2017Identifying and overcoming the interface originating c-axis instability in highly Sc enhanced AlN for piezoelectric micro-electromechanical systems
Fichtner, S.; Wolff, N.; Krishnamurthy, G.; Petraru, A.; Bohse, S.; Lofink, F.; Chemnitz, S.; Kohlstedt, H.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2017Magnetically driven energy-harvester with monolithically integrated high-energy-density magnets
Lofink, F.; Tolstrup, V.; Lisec, T.; Reimer, T.; Piorra, A.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017MEMS switch with prolonged lifetime under hot switching conditions based on gold as contact material
Lisec, T.; Stoppel, F.; Kaden, D.; Heinrich, F.; Neumann, A.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017Metallographische Untersuchung von Brandschäden in der Elektronik
Reiter, K.; Puls, S.
Zeitschriftenaufsatz
2017Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich; Kaden, Dirk
Patent
2017Miniaturization of power converters by piezoelectric transformers - chances and challenges
Radecker, Matthias; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Reich, Torsten; Buhl, René; Yang, Yujia
Vortrag
2017Modular packaging concept for MEMS and MOEMS
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Konferenzbeitrag
2017MoniShirt - large area printed piezoelectric sensors for body motion tracking
Varman, Ram Kumar Raja Mahendra; Knieling, Thomas; Grunemann, Timo; Domann, Gerhard
Konferenzbeitrag
2017Nanodiamond resonators fabricated on 8'' Si substrates using adhesive wafer bonding
Lebedev, Vadim; Lisec, Thomas; Yoshikawa, Taro; Reusch, Markus; Iankov, Dimitre; Giese, Christian; Zukauskaite, Agne; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Zeitschriftenaufsatz
2017A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD
Lisec, T.; Reimer, T.; Knez, M.; Chemnitz, S.; Schulz-Walsemann, A.V.; Kulkarni, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Novel membrane-less two-way MEMS loudspeaker based on piezoelectric dual-concentric actuators
Stoppel, F.; Eisermann, C.; Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Giese, T.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017A novel technology for MEMS based on the agglomeration of powder by atomic layer deposition
Lisec, T.; Chemnitz, S.; Lofink, F.; Reimer, T.; Kulkarni, A.; Piechotta, G.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2017Online IGBT temperature measurement method using a greybox model
Pangalos, G.; Paesler, M.; Kapels, H.
Konferenzbeitrag
2017Piezoelectrically Driven and Sensed Micromirrors with Extremely Large Scan Angles and Precise Closed-Loop Control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2017Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with large scan angles and precise closed-loop control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2017PZT-actuated and -sensed resonant micromirrors with large scan angles applying mechanical leverage amplification for biaxial scanning
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017Silicon based electrical biosensor technology for mobile diagnostics
Blohm, L.; Albers, J.; Piechotta, G.; Nebling, E.
Konferenzbeitrag
2017Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten unter Verwendung von Funktionselementen
Quenzer, Hans Joachim; Stenchly, Vanessa
Patent
2017Vorrichtung zur Erzeugung einer Wechselspannung, Schaltungsanordnung zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung, Verfahren zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung für eine Energiesenke, Wechselrichter zur Erzeugung einer Wechselspannung aus einer Gleichspannung, Energiespeicher-Vorrichtung zur Bereitstellung einer Wechselspannung unter Verwendung eines Gleichspannungsenergiespeichers, dreiphasige Wechselrichtervorrichtung, dreiphasige Wechselrichterschaltung, und Konzept zur Erzeugung einer Gleichspannung
Kapels, Holger; YU, Zhe
Patent
2016Applications of chemical mechanical planarization (CMP) to More than Moore devices
Zwicker, G.
Aufsatz in Buch
2016Einfluss des Lotpastendrucks auf die Zuverlässigkeit der Lötstellen kritischer keramischer SMD-Komponenten auf FR4-Leiterplatten. Schweissen und Schneiden
Gu-Stoppel, S.
Dissertation
2016Extreme high efficiency non-inverting buck-boost converter for energy storage systems
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Konferenzbeitrag
2016Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2015
 
Jahresbericht
2016Hermetic packaging concept for laser diodes on wafer level
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Konferenzbeitrag
2016Investigations on the C-rate and temperature dependence of manganese dissolution/deposition in LiMn2O4/Li4Ti5O12 lithium ion batteries
Börner, M.; Klamor, S.; Hoffmann, B.; Schroeder, M.; Nowak, S.; Würsing, A.; Winter, M.; Schappacher, F.M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Low power and highly precise closed-loop driving circuits for piezoelectric micromirrors with embedded capacitive position sensors
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Konferenzbeitrag
2016Mikromechanische piezoelektrische Aktuatoren zur Realisierung hoher Kräfte und Auslenkungen
Stoppel, Fabian; Wagner, Bernhard
Patent
2016Modeling of biaxial gimbal-less MEMS scanning mirrors
Wantoch, T. von; Gu-Stoppel, S.; Senger, F.; Mallas, C.; Hofmann, U.; Meurer, T.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2016Multimode delta-E effect magnetic field sensors with adapted electrodes
Zabel, S.; Reermann, J.; Fichtner, S.; Kirchhof, C.; Quandt, E.; Wagner, B.; Schmidt, G.; Faupel, F.
Zeitschriftenaufsatz
2016A novel control concept for high-efficiency power conversion with the bidirectional non-inverting buck-boost converter
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Konferenzbeitrag
2016Photocatalytic applications of doped zinc oxide porous films grown by magnetron sputtering
Ghimpu, L.; Reimer, T.; Smazna, D.; Hoppe, M.; Benecke, W.; Bejenari, A.; Cojocaru, A.; Lupan, O.; Adelung, R.; Tiginyanu, I.
Konferenzbeitrag
2016Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
Quenzer, Hans Joachim; Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Heinrich, Felix
Patent
2016Sensing properties of ultra-thin TiO2 nanostructured films based sensors
Postica, V.; Reimer, T.; Lazari, E.; Ababii, N.; Shishiyanu, S.; Railean, S.; Kaidas, V.; Kaps, S.; Lupan, O.; Benecke, W.; Adelung, R.
Konferenzbeitrag
2016TAIKO wafer ball attach
Schröder, S.; Schröder, M.; Reinert, W.; Priewasser, K.H.
Konferenzbeitrag
2016Temperature-stable NdFeB micromagnets with high-energy density compatible with CMOS back end of line technology
Reimer, T.; Lofink, F.; Lisec, T.; Thede, C.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2016Transmission electron microscopy study for investigating high-temperature reliability of Ti10W90-based and Ta-based diffusion barriers up to 600°C
Budhiman, N.; Schürmann, U.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Kienle, L.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2016Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans Joachim; Reimer, Tim
Patent
20152D MEMS scanning for LIDAR with sub-Nyquist sampling, electronics, and measurement procedure
Giese, T.; Janes, J.
Konferenzbeitrag
20152D MEMS scanning LIDAR with sub-Nyquist sampling, set-up and functionality
Janes, J.; Giese, T.
Konferenzbeitrag
2015Akustische Gang-und Laufanalyse für Sport- und Medizinanwendungen
Knieling, T.; Kurylo, A.; Sethu-Madhavan, V.S.; Bremes, H.-G.; Colsman, M.; Schillo, B.; Struchholz, H.; Schaffert, N.; Goetze, I.; Mattes, K.; Stephan, K.-M.
Konferenzbeitrag
2015Assembly and packaging of micro systems by using reactive bonding processes
Schumacher, Axel; Gaiß, Ulrike; Knappmann, Stefan; Dietrich, Georg; Braun, Stefan; Pflug, Erik; Roscher, Frank; Vogel, Klaus; Hertel, Silvia; Kähler, Dirk; Reinert, Wolfgang
Konferenzbeitrag
2015Bidirectionally actuated ohmic switches allowing sequential dual-contact operation for improved reliability
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Bildgebender Strahlungssensor
Hofmann, Ulrich; Weiß, Manfred; Janes, Joachim; Senger, Frank
Patent
2015Bottom up research and development for a low-voltage three level NPC converter
Benkendorff, B.; Fuchs, F.W.; Friedrich, D.; Hinz, J.; Poech, M.; Kohlmann, K.; Reese, H.; Letas, H.-H.; Weber, C.; Eisele, R.; Mueller, Z.; Berger, M.; Rudzki, J.; Osterwald, F.; Mono, T.
Konferenzbeitrag
2015Centimeter-scale MEMS scanning mirrors for high power laser application
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich G.; Wantoch, T. von; Mallas, Christian; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang; Herwig, Patrick; Gawlitza, Peter; Ortega Delgado, Moises Alberto; Gruhne, Christoph; Hannweber, Jan; Wetzig, Andreas
Konferenzbeitrag
2015Design, fabrication and characterization of piezoelectrically actuated gimbal-mounted 2D micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Direct growth of freestanding ZnO tetrapod networks for multifunctional applications in photocatalysis, UV photodetection, and gas sensing
Mishra, Y.K.; Modi, G.; Cretu, V.; Postica, V.; Lupan, O.; Reimer, T.; Paulowicz, I.; Hrkac, V.; Benecke, W.; Kienle, L.; Adelung, R.
Zeitschriftenaufsatz
2015Einfluss des Lotpastendrucks auf die Zuverlässigkeit der Lötstellen kritischer keramischer SMD-Komponenten auf FR4-Leiterplatten
Schimanski, H.
Zeitschriftenaufsatz
2015Empfänger und Verfahren zur Bestimmung einer Phaseninformation eines empfangenen Signals und System und Verfahren zur Messung einer Information über eine Entfernung zu einem Objekt
Giese, Thorsten
Patent
2015Entwicklung eines mikromechanischen Strahlablenksystems für Laser-Projektions-Displays
Hofmann, U.
Dissertation
2015Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren
Kaden, D.
Dissertation
2015Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2014
 
Jahresbericht
2015Gas flow sputtered thick layers of columnar lead zirconate titanate on silicon wafers for high frequency ultrasound transducers
Tiefensee, F.; Kaden, D.; Jakob, A.; Quenzer, H.-J.; Jung, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Gleichspannungswandler
YU, Zhe; Hoffmann, Klaus F.; Kapels, Holger
Patent
2015Handheld imaging photonic crystal biosensor for multiplexed, label-free protein detection
Jahns, S.; Bräu, M.; Meyer, B.O.; Karrock, T.; Gutekunst, S.B.; Blohm, L.; Selhuber-Unkel, C.; Buhmann, R.; Nazirizadeh, Y.; Gerken, M.
Zeitschriftenaufsatz
2015Hermeticity Tests
Lohfink, F.; Kähler, D.; Reinert, W.
Aufsatz in Buch
2015Herstellung und Integration von piezoelektrischen Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Kößler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Jung, T.; Tiefensee, F.
Konferenzbeitrag
2015High efficiency bidirectional DC-DC converter with wide input and output voltage ranges for battery systems
Yu, Zhe; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Konferenzbeitrag
2015High temperature reliability of Ta-based and TiW-based diffusion barriers
Budhiman, N.; Schürmann, U.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Kienle, L.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2015Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren
Paul, J.; Knoll, H.; Lenkl, A.; Tide, R.; Theis, M.; Saumer, M.; Vetter, C.; Piorra, A.; Meyners, D.; Lofink, F.; Fichtner, S.; Wagner, B.; Zoschke, K.
Konferenzbeitrag
2015Low power closed-loop driving circuit for piezoelectric microscanners based on tuneable capacitive position sensors
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Konferenzbeitrag
2015MEMS Spiegel für die Hochleistungs-Lasermaterialbearbeitung
Senger, F.; Herwig, P.; Gawlitzka, P.; Ortega-Delgado, M.A.; Wantoch, T. von; Mallas, C.; Wetzig, A.; Hofmann, U.
Konferenzbeitrag
2015Metallic Alloy Seal Bonding
Reinert, W.; Kulkarin, A.; Vuorinen, V.; Merz, P.
Aufsatz in Buch
2015Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben
Lisec, Thomas; Stoppel, Fabian
Patent
2015Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Wantoch, Thomas; Mallas, Christian; Janes, Joachim
Patent
2015Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank
Patent
2015New IGBT power module concept for wind power application in NPC topology with extended reliability
Lenz, K.; Rudzki, J.; Osterwald, F.; Pandey, U.; Poech, M.
Konferenzbeitrag
2015Novel piezoelectric ohmic switches featuring fast switching and high contact forces
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.
Konferenzbeitrag
2015Piezoelectrically driven translatory optical MEMS Actuator with 7 mm apertures and large displacements
Quenzer, H.J.; Gu-Stoppel, S.; Stoppel, F.; Janes, J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Recent development and investigation of printed polymer based BaTiOa pressure sensors for gait analysis
Sethu-Madhavan, V.-S.; Knieling, T.; Mitra, K.Y.; Bauman, R.R.
Konferenzbeitrag
2015Stress controlled pulsed direct current co-sputtered Al1-xScxN as piezoelectric phase for micromechanical sensor applications
Fichtner, S.; Reimer, T.; Chemnitz, S.; Lofink, F.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2015Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride
Hrkac, V.; Kobler, A.; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V.S.K.; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B.V.; Kübel, C.; Kienle, L.
Zeitschriftenaufsatz
2015A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Heinrich, F.; Janes, J.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2015Substrate mit gut haftenden metallischen Oberflächenstrukturen, drucktechnisches Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung der Substrate im Rahmen verschiedener Verbindungstechniken
Knieling, Thomas; Kontek, Magdalena
Patent
2015System technology for dynamic beam shaping
Hauptmann, Jan; Herwig, Patrick; Wetzig, Andreas; Dittrich, Dirk; Beyer, Eckhard; Hofmann, Ulrich; Senger, Frank
Konferenzbeitrag
2015Tastatur und System mit einer Tastatur
Eichholz, Jörg; Giese, Thorsten
Patent
2015Verschiedene Kraftsensorprinzipien für flexible Schuheinlagen in der akustischen Ganganalyse
Knieling, T.; Kurylo, A.; Beeck, F.; Sethu-Madhavan, V.S.
Konferenzbeitrag
2014Adaptive phasor control of a Duffing oscillator with unknown parameters
Wantoch, T. von; Röck, H.; Koschmieder, F.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2014Analysis of capacitive sensing for 2D-MEMS scanner laser projection
Wantoch, T. von; Mallas, C.; Hofmann, U.; Janes, J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2014AR-concepts for hermetic wafer level packaging of uncooled FIR bolometer arrays
Stenchly, V.; Lofink, F.; Reinert, W.
Konferenzbeitrag
2014Characteristics of a micro-mechanical thermal flow sensor based on a two hot wires principle with constant temperature operation in a small channel
Lange, P.; Weiss, M.; Warnat, S.
Zeitschriftenaufsatz
2014Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2013
 
Jahresbericht
2014High frequency 1D piezoelectric resonant microscanners with large displacements
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Heinrich, F.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Improved AlGaN p-i-n photodetectors for monitoring of ultraviolet radiation
Albrecht, B.; Kopta, S.; John, O.; Rütters, Martin; Kunzer, M.; Driad, R.; Marenco, N.; Köhler, K.; Walther, M.; Ambacher, O.
Zeitschriftenaufsatz
2014Kleine Ursache - große Wirkung. Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen
 
Zeitschriftenaufsatz
2014Microelectromechanical magnetic field sensor based on ΔE effect
Jahns, R.; Zabel, S.; Marauska, S.; Gojdka, B.; Wagner, B.; Knöchel, R.; Adelung, R.; Faupel, F.
Zeitschriftenaufsatz
2014Mikroaktuatoranordnung zur Ablenkung elektromagnetischer Strahlung
Hofmann, Ulrich
Patent
2014Mikromechanische Resonatorandordnung
Hofmann, Ulrich; Janes, Joachim
Patent
2014Novel design concepts for piezoelectrically driven ohmic switches
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Novel methode of state-of-charge estimation using in-situ impedance measurement
Rathmann, H.; Weber, C.; Benecke, W.; Eichholz, J.; Kaehler, D.
Konferenzbeitrag
2014Power Modules with Increased Power Density and Reliability Using Cu Wire Bonds on Sintered Metal Buffer Layers
Rudzki, J.; Osterwald, F.; Becker, M.; Eisele, R.; Poech, M.H.
Konferenzbeitrag
2014Precision micro-optical elements for manufacturing of gas sensors using IR-absorption
Quenzer, H.-J.; Stenchly, V.; Schwarzelbach, S.; Kampmann, M.; Wagner, B.; Dudde, R.
Konferenzbeitrag
2014Rapid detection of different human anti-HCV immunoglobulins on electrical biochips
Blohm, L.; Püttmann, C.; Holz, S.; Piechotta, G.; Albers, J.; Dammers, C.; Kleines, M.; Krüttgen, A.; Melmer, G.; Nähring, J.; Barth, S.; Nebling, E.
Zeitschriftenaufsatz
2014Reliable electronic assemblies
Schimanski, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014Resonant biaxial 7-mm MEMS mirror for omnidirectional scanning
Hofmann, U.; Aikio, M.; Janes, J.; Senger, F.; Stenchly, V.; Hagge, J.; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.; Wantoch, T. von; Mallas, C.; Wagner, B.; Benecke, W.
Zeitschriftenaufsatz
2014Selbstaktivierender Dünnschichtgetter in reaktiven Mehrschichtsystemen
Reinert, Wolfgang
Patent
2014Single step integration of ZnO nano- and microneedles in Si trenches by novel flame transport approach: Whispering gallery modes and photocatalytic properties
Reimer, T.; Paulowicz, I.; Röder, R.; Kaps, S.; Lupan, O.; Chemnitz, S.; Benecke, W.; Ronning, C.; Adelung, R.; Mishra, Y.K.
Zeitschriftenaufsatz
2014Studies on the dynamics of vacuum encapsulated 2D MEMS scanners by laser Doppler vibrometry
Janes, J.; Hofmann, U.
Konferenzbeitrag
2014Thin glass characterization in the radio frequency range
Ebberg, A.; Meggers, J.; Rathjen, K.; Fotheringham, G.; Ndip, I.; Ohnimus, F.; Tschoban, C.; Pieper, I.; Kilian, A.; Methfessel, S.; Letz, M.; Fotheringham, U.
Konferenzbeitrag
2014Two-dimensional scanning using two single-axis low-voltage PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Konferenzbeitrag
2014Ungefüllte und gefüllte Gussmasse, insbesondere zur Herstellung beschichteter Metallfolien, und deren Verwendung für Elektroden oder Separatoren in Akkumulatoren
Thönnessen, Torge; Pfeifer, Verena
Patent
2014Verfahren zum Befüllen elektrochemischer Zellen
Thönnessen, Torge; Neumann, Gerold
Patent
2014Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Janes, Joachim
Patent
2014Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element und Verfahren zum Auslenken desselben
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Hofmann, Ulrich
Patent
2014Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten Element und Verfahren zum Herstellen desselben
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Hofmann, Ulrich
Patent
2014Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Kaden, Dirk; Eisermann, Christian
Patent
2014Vorrichtung zur Zündung und Reaktionsübertragung in reaktiven Mehrschichtsystemen
Reinert, Wolfgang
Patent
2014Wafer-level vacuum-packaged two-axis MEMS scanning mirror for pico-projector application
Hofmann, U.; Senger, F.; Janes, J.; Mallas, C.; Stenchly, V.; Wantoch, T. von; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.
Konferenzbeitrag