Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, Klemens; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2019Advances of MOEMS-based external cavity QCLs
Härtelt, Marko; Hugger, Stefan; Butschek, Lorenz; Schilling, Christian; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Grahmann, Jan; Rattunde, Marcel; Ostendorf, Ralf
Konferenzbeitrag
2019The annealing effect on memory state stability and interlayer coupling in perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Fidalgo, João; Leitão, Diana C.; Silva, Ana V.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Assessment of conduction mechanisms through MgO ultrathin barriers in CoFeB/MgO/CoFeB perpendicular magnetic tunnel junctions
Lv, Hua; Fidalgo, João; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner
Kiethe, Oliver
: Janschek, Klaus; Schroedter, Richard (Betreuer); Todt, Ulrich (Betreuer)
Diplomarbeit
2019Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Master Thesis
2019CMOS-compatible transition metal disilicide for integrated thermoelectric applications
Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Dhavamani, A.; Drescher, M.; Göhler, T.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators - Linearized electrostatic modeling
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro; Kupnik, M.
Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Co-MOCVD processed seed layer for through silicon via copper metallization
Esmaeili, S.; Lilienthal, K.; Nagy, N.; Gerlich, L.; Krause, R.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers
Kaisers, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Stolz, M.; Schenk, H.; Conrad, H.; Schenk, H.; Schimmanz, K.; Schuftenhauer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Construction and Characterization of External Cavity Diode Lasers Based on a Microelectromechanical System Device
Hoppe, M.; Jiménez, A.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Grahmann, J.; Tatenguem, H.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Defects in oxidized p-type Si wafers observed by surface photovoltage spectroscopy
Kolkovsky, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2019Design and fabrication of liquid crystal microring resonator-based tunable optical add-drop filters
Costache, Florenta; Hartwig, H.; Martin, A.; Blasl, M.; Rieck, A.; Namdari, M.
Konferenzbeitrag
2019Development of an illumination module for stroboscopic phase-shift interferometry on MEMS devices
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de; Wolschke, Steffen; Skupsch, Christoph; Berndt, D.
Konferenzbeitrag
2019Development of Rutile Titanium Oxide Thin Films as Battery Material Component Using Atomic Layer Deposition
Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Zybell, S.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrical and structural properties of direct current magnetron sputtered amorphous TiAl thin films
Kolkovsky, V.; Schmidt, Jan-Uwe; Döring, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Entwurf eines analogen Hochgeschwindigkeits-Frontends für die optische drahtlose Kommunikation
Spundflasche, Martin
: Gärtner, Uwe (Prüfer); Noack, Alexander (Gutachter); Kirrbach, René (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices
Tejedor, P.; Drescher, M.; Vázquez, L.; Wilde, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process
Bönhardt, S.; Kühnel, K.; Kia, A.M.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019Glow discharge optical emission spectrometry for quantitative depth profiling of CIGS thin-films
Kodalle, T.; Greiner, D.; Brackmann, V.; Prietzel, K.; Scheu, A.; Bertram, T.; Reyes-Figueroa, P.; Unold, T.; Abou-Ras, D.; Schlatmann, R.; Kaufmann, C.A.; Hoffmann, V.
Zeitschriftenaufsatz
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Investigation of mechanical and optical properties of 3D printed materials serving as substrate for place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Sabiha, M.H.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of Pt-Salt-Doped-Standalone-Multiwall Carbon Nanotubes for On-Chip Interconnect Applications
Liang, J.; Chen, R.; Ramos, R.; Lee, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Berrada, S.; Sadi, T.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Asenov, A.; Dijon, J.; Todri-Sanial, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie
Graf, Alexander; Hild, Olaf Rüdiger
Konferenzbeitrag
2019Kern für Echtzeit
Deicke, Frank; Beck, Monika
Elektronische Publikation
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2019Li-Fi for Augmented Reality Glasses: A Proof of Concept
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2019MEMS based NIR spectrometer with extended spectral range
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.
Konferenzbeitrag
2019MEMS piston mirror arrays with force-balanced single spring
Dürr, P.; Neudert, A.; Kunze, D.; Friedrichs, M.
Konferenzbeitrag
2019Non-rotationally Symmetric Freeform Fresnel-Lenses for Arbitrary Shaped Li-Fi Communication Channels
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin
Konferenzbeitrag
2019Platinum-Copper Defects in Silicon
Kolkovsky, V.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Pyroelectric Energy Conversion in Doped Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films on Area-Enhanced Substrates
Hanrahan, Brendan; Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, M.; Weinreich, Wenke; Smith, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2019Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscanner
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Janschek, K.; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2019Reduced metal contamination from crucible and coating using a silicon nitride based diffusion barrier for the growth of cast quasi-single crystalline silicon ingots
Wolny, F.; Krause, A.; Müller, M.; Fischer, G.; Neuhaus, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Separation of Individual Thermal Double-Donor Levels by Laplace Deep-Level Transient Spectroscopy
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Silicone oil damping for quasi-static micro scanners with electrostatic vertical staggered comb drives
Schroedter, Richard; Grahmann, Jan; Janschek, Klaus
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Structure and Thermoelectric Properties of CoSi-Based Film Composites
Kuznetsova, V.S.; Novikov, S.V.; Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Studentische Beschäftigungsverhältnisse als Quelle des Active Sourcings? Eine Analyse am Beispiel des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS
Wendenburg, Anja
: Haubold, Anne-Katrin (Gutachter); Richter, Thorsten S. (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Study of sub-volume activation in CoFeB/MgO memory devices near spin reorientation transition
Fidalgo, João; Lv, Hua; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Cardoso, Susana
Poster
2019Theory and Experiment of Antiferroelectric (AFE) Si-Doped Hafnium Oxide (HSO) Enhanced Floating-Gate Memory
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Zimmermann, K.; Biedermann, K.; Eng, L.M.; Seidel, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019ToF-SIMS 3D Analysis of Thin Films Deposited in High Aspect Ratio Structures via Atomic Layer Deposition and Chemical Vapor Deposition
Kia, A.M.; Haufe, N.; Esmaeili, S.; Mart, C.; Utriainen, M.; Puurunen, R.L.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Wetting properties of LIPSS structured silicon surfaces
Varlamova, O.; Reif, J.; Stolz, M.; Borcia, R.; Borcia, I.D.; Bestehorn, M.
Zeitschriftenaufsatz
201810 Gbit/s bidirectional transceiver with monolithic optic for rotary connector replacements
Faulwaßer, M.; Kirrbach, R.; Schneider, T.; Noack, A.
Konferenzbeitrag
201814nm Ferroelectric FinFET technology with steep subthreshold slope for ultra low power applications
Krivokapic, Z.; Rana, U.; Galatage, R.; Razavieh, A.; Aziz, A.; Liu, J.; Shi, J.; Kim, H.J.; Sporer, R.; Serrao, C.; Busquet, A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Kleemeier, W.; Jacob, A.; Brown, D.; Knorr, A.; Carter, R.; Banna, S.
Konferenzbeitrag
20183D Analysis of Thin Layers by ToF-SIMS
Mohammadian Kia, Alireza; Esmaeili, Sajjad; Mart, Clemens; Utriainen, Mikko; Haufe, Nora; Puurunen, Riikka L.; Weinreich, Wenke
Poster
2018Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems
Schenk, H.; Wagner, M.; Grahmann, J.; Merten, A.
Konferenzbeitrag
2018Aktoren auf Basis elektroaktiver Polymer/Nanopartikel Komposite und deren Anwendung in einer Mikrolinse mit variablem Fokus
Pawlik, Boscij
: Lakner, Hubert (Betreuer); Grabmaier, Anton (Betreuer)
Dissertation
2018Analog frontend for ultra low power 60-GHz RFID tag for back-scattering communication
Harutyunyan, A.
Konferenzbeitrag
2018Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application
Rudolph, Matthias; Pätzold, Björn; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2018Automatic tracking of Li-Fi links for wireless industrial ethernet
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Schneider, Tobias; Ostermann, Robert; Noack, Alexander
Konferenzbeitrag
2018Automatic Tracking of Li-Fi Links for Wireless Industrial Ethernet
Kirrbach, René
Vortrag
2018Barrier breakdown mechanism in nano-scale perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Leitao, Diana C.; Hou, Zhiwei; Freitas, Paulo P.; Cardoso, Susana; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy
Zeitschriftenaufsatz
2018Bringing NIR spectrometers into mobile phones
Reinig, P.; Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Carbon-hydrogen-related complexes in Si
Kolkovsky, V.; Stübner, Ronald; Gwozdz, K.; Weber, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
2018Challenges and Progress on Carbon Nanotube Integration for BEOL Interconnects
Uhlig, B.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Lilienthal, K.; Liske, R.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Lee, J.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Koenemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Liang, J.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Charakterisierung und Bewertung von CuPc-basierten OFET's im Hinblick auf eine Anwendung als NO2-Sensor
Reichelt, Christoph
: Zipser, Stephan (Betreuer); Graf, Alexander (Betreuer)
Bachelor Thesis
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS compatible pyroelectric applications enabled by doped HfO2 films on deep-trench structures
Mart, Clemens; Weinreich, Wenke; Czernohorsky, Malte; Riedel, Stefan; Zybell, Sabine; Kühnel, Kati
Konferenzbeitrag
2018CMOS design of Digital to Analog converters for active matrix Spatial Light Modulator applications
Paramesh, Vidwath
: Presberger, Thomas (Betr.); Horstmann, John Thomas (Betr.)
Master Thesis
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018CMUT with mechanically coupled plate actuators
Krenkel, Marcel; Kircher, Marco; Kupnik, Mario; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Cobalt integration solutions - integration (R&D accelerator)
Gerlich, Lukas; Wislicenus, Marcus; Koch, Johannes; Dhavamani, Abitha; Esmaeili, Sajjad; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2018Copper electroplating with polyethylene Glycol. Pt.II. Experimental analysis and determination of model parameters
Yang, Hongliu; Krause, Robert; Scheunert, Christin; Liske, Romy; Uhlig, Benjamin; Preusse, Axel; Dianat, Arezoo; Bobeth, Manfred; Cuniberti, Gianaurelio
Zeitschriftenaufsatz
2018Design of on-chip RFID transponder antennas
Heinig, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Design of On-Chip RFID Transponder Antennas
Heinig, Andreas
Vortrag
2018Development of titanium oxide conformal thin film by atomic layer deposition
Mohammadian Kia, Alireza
Poster
2018Drahtlose Datenübertragung für kurze und lange Strecken. Alternative Li-Fi
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Enhancement of vertical integration density by engineered BSOI wafers
Kaden, C.; Langa, S.; Ludewig, T.; Schönberger, A.; Herrmann, A.; Göbel, A.; Kolkovsky, V.; Jeroch, W.; Pufe, W.
Zeitschriftenaufsatz
2018Entwicklung eines Beleuchtungsmoduls für stroboskopische, phasenschiebende Interferometrie
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de
: Heitmann, Johannes (Gutachter); Skupsch, Christoph (Gutachter); Wolschke, Steffen (Betreuer)
Master Thesis
2018Entwicklung eines Transmitters mit Hochleistungsleuchtdiode für die optische drahtlose Datenübertragung
Lei, Lei
: Ostermann, Robert (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018A FeFET based super-low-power ultra-fast embedded NVM technology for 22nm FDSOI and beyond
Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Richter, R.; Moll, P.; Fuchs, C.; Gehring, O.; Majer, M.; Wittek, S.; Müller, B.; Melde, T.; Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Müller, S.; Ocker, J.; Noack, M.; Löhr, D.-A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Mikolajick, T.; Höntschel, J.; Rice, B.; Pellerin, J.; Beyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Flatness-based open-loop and closed-loop control for electrostatic quasi-static microscanners using jerk-limited trajectory design
Schroedter, Richard; Roth, Matthias; Janschek, Klaus; Sandner, Thilo
Zeitschriftenaufsatz
2018Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2017
 
Jahresbericht
2018Frequency domain analysis of pyroelectric response in silicon-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Czernohorsky, Malte; Zybell, Sabine; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Functional integration - structure-integrated wireless sensor technology targeting smart mechanical engineering applications
Rülke, Steffen; Beyer, Volkhard; Zorn, Wolfgang; Meinig, Marco; Wecker, Julia; Reuter, Danny; Deicke, Frank; Clausner, André; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2018The gateone-project: A digital innovation hub accelerating innovation through ecosystem design and product trajectory
Hamelin, R.; Andrieux, G.; Chartier, I.; Roustom, B.; Healy, T.; Ali, Z.; Legrand, B.; Mayora, K.; Scholles, M.; Guerre, R.
Konferenzbeitrag
2018Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays
Sicker, Cornelius
: Schenk, Harald; Reif, Jürgen
Dissertation
2018High Endurance Ferroelectric Hafnium Oxide-Based FeFET Memory Without Retention Penalty
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Calvo, J.; Zimmermann, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018High-Speed, Cellular Li-Fi HotSpot for Real-Time Applications
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Ostermann, Robert; Jakob, Benjamin; Noack, Alexander
Vortrag
2018Hydrogen-related defects in Al2O3 layers grown on n-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Stübner, Ronald
Zeitschriftenaufsatz
2018Interaction of hydrogen with hafnium dioxide grown on silicon dioxide by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Scholz, Sebastian; Kolkovsky, Valery; Schmidt, Jan-Uwe; Heller, Rene
Zeitschriftenaufsatz
2018Kanalkodierungen in der optisch-drahtlosen Übertragung
Audi, Maher
: Faulwaßer, Michael (Betreuer); Noack, Alexander (Betreuer); Tutsch, Dietmar (Gutachter); Möller, Reinhard (Gutachter)
Master Thesis
2018Knickbares Substrat mit Bauelement
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Konzeption und Herstellung von Systemdemonstratoren für miniaturisierte Im-Ohr-Lautsprecher mit drahtlosen Kommunikationsschnittstellen
Horky, Steve
: Kaiser, Bert (Betreuer); Bauer, Reinhard (Betreuer)
Diplomarbeit
2018Konzipierung und Umsetzung eines Automotive Ethernet-MAC IP-Cores
Zhu, Hailong
: Hildebrandt, Ralf (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018Layer thickness scaling and wake-up effect of pyroelectric response in Si-doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Li-Fi für Kurzstrecken. Drahtlose Industriekommunikation
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Lithium Detection and Tracking for Solid State Battery Test Stacks
Mohammadian Kia, Alireza; Haufe, Nora; Zybell, Sabine; Bönhardt, Sascha; Kühnel, Kati; Speulmanns, Jan K.; Weinreich, Wenke
Poster
2018LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, Jesús; Drescher, Maximilian; Kühnel, Kati; Sauer, Bodo; Müller, Michael; Schmidt, Christian; Boui, Fatima; Völklein, Friedemann; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2018Mechanically coupled capacitive ultrasonic transducer
Krenkel, Marcel; Lange, Nicolas; Koch, Sandro; Kircher, Marco
Konferenzbeitrag
2018MEMS basierte Ultraschallwandler für die Anwendung in flüssigen und gasförmigen Umgebungen und Möglichkeiten der CMOS Integration
Lange, Nicolas; Grafe, Mario; Koch, Sandro; Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018MEMS integration on foundry-fabricated CMOS backplanes
Hohle, Christoph; Schulze, Matthias
Aufsatz in Buch
2018MEMS-Tunable VCSELs-Driven Terahertz Emitters Based on Conventional and Nanoelectrode Photomixers
Haidar, M.T.
Dissertation
2018Microoptoelectromechanical systems-based external cavity quantum cascade lasers for real-time spectroscopy
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Stothard, David; Warden, Matthew; Carson, Christoph; Macarthur, John; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Wagner, Joachim
Zeitschriftenaufsatz
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Schroedter, Richard
: Hofmann, Wilfried; Janschek, Klaus
Dissertation
2018Modulating complex beams in amplitude and phase using fast tilt-micromirror arrays and phase masks
Roth, M.; Heber, J.; Janschek, K.
Zeitschriftenaufsatz
2018Monolithic integration for photonic applications: MEMS on CMOS and functional BSOI
Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018MOSFET threshold Voltage Shift induced by Ion Implantation performed in different Implanters
Kalkovsky, Vladimir; Hürrich, Arnd; Ende, Lutz
Konferenzbeitrag
2018New way to realize miniaturized complex optical systems in high volume
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Reinig, Peter; Meyer, Sebastian
Konferenzbeitrag
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2018A novel electrostatic actuator, the Nano-E-Drive, and its integration in a micropump design
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2018Optische Anordnung für ein Spektralanalysesystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Spektralanalysesystem
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Optische Anordnung zur Erzeugung von Lichtfeldverteilungen und Verfahren zum Betrieb einer optischen Anordnung
Heber, Jörg; Janschek, Klaus; Roth, Matthias
Patent
2018Passive RFID sensors - battery-free, wireless pressure measurements
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Grätz, Hagen; Kircher, Marco
Vortrag
2018Passive sensor transponders - wireless, battery-free sensing with RFID technology
Weder, Andreas
Vortrag
2018A physics-based investigation of Pt-salt doped carbon nanotubes for local interconnects
Liang, J.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Renaud, D.; Lee, J.; Georgiev, V.P.; Berrada, S.; Sadi, T.; Asenov, A.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Teo, K.; Pandey, R.R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Plagiatschutz mittels RFID
Holland, Hans-Jürgen
Vortrag
2018Progress on carbon nanotube BEOL interconnects
Uhlig, B.; Liang, J.; Lee, J.; Ramos, R.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Millar, C.; Konemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Rapid Synthesis of Sub‐10 nm Hexagonal NaYF4‐Based Upconverting Nanoparticles using Therminol® 66
Hesse, J.; Klier, D.T.; Sgarzi, M.; Nsubuga, A.; Bauer, C.; Grenzer, J.; Hübner, R.; Wislicenus, M.; Joshi, T.; Kumke, M.U.; Stephan, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Reliable high-density energy storage in Si-doped HfO2 thin films on 3D-structures
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Vortrag
2018Repetitive nonlinear control for linear scanning micro mirrors
Schroedter, R.; Schwarzenberg, M.; Grahmann, J.; Sandner, T.; Janschek, K.
Konferenzbeitrag
2018A review of acoustic impedance matching methods to validate additive manufactured metamaterial for capacitive micromachined ultrasonic transducers
Schweiger, Severin; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Silicon doped hafnium oxide (HSO) and hafnium zirconium oxide (HZO) based FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Thrun, X.; Hanisch, N.; Steinke, P.; Calvo, J.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Konferenzbeitrag
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, C.; Heber, J.; Berndt, D.
Abstract
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk
Vortrag
2018System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Towards a compact, portable, handheld device for contactless real-time standoff detection of hazardous substances
Carson, Christopher; Macarthur, John; Warden, Matthew; Stothard, David; Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Ostendorf, Ralf; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Ratajczyk, Marcin
Konferenzbeitrag
2018Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Grasshoff, Thomas; Auböck, Gerald; Kenda, Andreas; Gisler, Thomas; Langa, Sergiu; Herrmann, Andreas; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2018Tuning parameters and their impact on ferroelectric hafnium oxide
Polakowski, Patrick; Büttner, Teresa; Ali, Tarek Nadi Ismail; Riedel, Stefan; Kämpfe, Thomas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes; Pätzold, Björn
Vortrag
2018Ultrathin Lithium Ion Diffusion Barrier for On-Chip 3D All-Solid-State Batteries
Speulmanns, Jan; Zybell, Sabine; Mohammadian Kia, Alireza; Bönhardt, Sascha; Weinreich, Wenke; Liske, Romy
Poster
2018Understanding Electromigration in Cu-CNT Composite Interconnects
Lee, J.; Berrada, S.; Adamu-Lema, F.; Nagy, N.; Georgiev, V.P.; Sadi, T.; Liang, J.; Ramos, R.; Carrillo-Nunez, H.; Kalita, D.; Lilienthal, K.; Wislicenus, M.; Pandey, R.; Chen, B.; Teo, K.B.K.; Goncalves, G.; Okuno, H.; Uhlig, B.; Todri-Sanial, A.; Dijon, J.; Asenov, A.
Zeitschriftenaufsatz
2018Vertically aligned carbon nanotube films as absorption layers for IR applications
Kini, Mandar; Bonitz, Jens; Müller, Michael; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha
Konferenzbeitrag
2018Vertically integrated modeling of light-induced defects
Laine, H.S.; Vahlman, H.; Haarahiltunen, A.; Jensen, M.A.; Modanese, C.; Wagner, M.; Wolny, F.; Buonassisi, T.; Savin, H.
Konferenzbeitrag
2018Vollduplex-Transceiver für die optische drahtlose Hochgeschwindigkeitskommunikation
Faulwaßer, Michael
: Fischer, Wolf-Joachim; Jamshidi, Kambiz; Henker, Matthias
Dissertation
2018Wake-up effect of pyroelectric response in doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Abstract