Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Automatisierte Berechnung und Visualisierung von Komorbiditätsindizes für den Tumorboard-Entscheid
Wald, T.; Birnbaum, Klemens; Wiegand, S.; Dietz, A.; Zebralla, V.; Wichmann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2020Back-End-of-Line Compatible Low-Temperature Furnace Anneal for Ferroelectric Hafnium Zirconium Oxide Formation
Lehninger, D.; Olivo, R.; Ali, T.; Lederer, M.; Kämpfe, T.; Mart, C.; Biedermann, K.; Kühnel, K.; Roy, L.; Kalkani, M.; Seidel, K.
Zeitschriftenaufsatz
2020Bauelement und Verfahren zum Herstellen eines Bauelements
Kirbach, Sven; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Zybell, Sabine; Haufe, Nora
Patent
2020Entwicklung eines analogen 100MBIT / s-Transceiver-Frontends für die LI-FI-Kommunikation mit harten Echtzeitanforderungen
Jakob, Benjamin
: Kirrbach, René (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Entwicklung eines integrierten, digitalen Empfängers für echtzeitfähige, leitungsungebundene, optische Übertragungen
Steinbach, Hagen
: Fitz, R. (Betreuer); Ebberg, A. (Betreuer); Faulwaßer, M. (Betreuer)
Master Thesis
2020Kundenakquise öffentlicher Forschungseinrichtungen in Deutschland. Eine explorative Fallstudie zum Einfluss von Kommunikationskanälen bei der Vermarktung von F&E Dienstleistungen
Grebe, Steffen
: Schefczyk, Michael (Betreuer); Ernst, Cornelia (Betreuer); Titze, Stephan (Betreuer)
Diplomarbeit
2020Minimization of nonlinearities in nano electrostatic drive actuators using validated coupled-field simulation
Melnikov, Anton; Schenk, Hermann; Wall, Franziska; Spitz, B.; Ehrig, L.; Langa, S.; Stolz, M.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2020Monolitic Hybrid Transmitter-Receiver Lens for Rotary On-Axis Communications
Kirrbach, R.; Faulwaßer, M.; Schneider, T.; Meißner, P.; Noack, A.; Deicke, F.
Zeitschriftenaufsatz
2020Novel CMOS-integrated 512x320 tip-tilt micro mirror array and related technology platform
Gehner, Andreas; Döring, S.; Rudloff, D.; Kunze, D.; Dürr, P.; Francés, S.; Hänsel, L.; Torlee, H.; Elgner, A.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Heber, J.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2020Passiv arbeitender Transponder mit sensitiver Funktionalität
Holland, Hans-Jürgen
Patent
2020Schöne neue Welt?
Ruffert, Christine
Aufsatz in Buch
2020Structural and Electrical Comparison of Si and Zr Doped Hafnium Oxide Thin Films and Integrated FeFETs Utilizing Transmission Kikuchi Diffraction
Lederer, M.; Kämpfe, T.; Vogel, N.; Utess, D.; Volkmann, B.; Ali, T.; Olivo, R.; Müller, J.; Beyer, S.; Trentzsch, M.; Seidel, K.; Eng, L.M.
Zeitschriftenaufsatz
2020System integration of hybrid large aperture micro scanner array for fast scanning LiDAR sensors
Sandner, Thilo; Graßhoff, Thomas; Owe, Wolf-Dietrich; Herrmann, A.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Konferenzbeitrag
2020Vibration analysis of micro mirrors for LIDAR using on-chip piezo-resistive sensor
Grahmann, Jan; Schroedter, R.; Kiethe, Oliver; Todt, Ulrich
Konferenzbeitrag
2019Advances of MOEMS-based external cavity QCLs
Härtelt, Marko; Hugger, Stefan; Butschek, Lorenz; Schilling, Christian; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Grahmann, Jan; Rattunde, Marcel; Ostendorf, Ralf
Konferenzbeitrag
2019The annealing effect on memory state stability and interlayer coupling in perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Fidalgo, João; Leitão, Diana C.; Silva, Ana V.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Assessment of conduction mechanisms through MgO ultrathin barriers in CoFeB/MgO/CoFeB perpendicular magnetic tunnel junctions
Lv, Hua; Fidalgo, João; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Audio-Transducer für In-Ear Anwendungen auf der Basis CMOS-kompatibler, elektrostatischer Biegeaktoren
Spitz, Barbara; Wall, Franziska; Schenk, Hermann; Melnikov, Anton; Ehrig, Lutz; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Kaiser, Bert; Conrad, Holger; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2019Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner
Kiethe, Oliver
: Janschek, Klaus; Schroedter, Richard (Betreuer); Todt, Ulrich (Betreuer)
Diplomarbeit
2019Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Master Thesis
2019CMOS-compatible transition metal disilicide for integrated thermoelectric applications
Nichenametla, C.K.; Calvo, J.; Dhavamani, A.; Drescher, M.; Göhler, T.; Wagner-Reetz, M.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators - Linearized electrostatic modeling
Krenkel, Marcel; Koch, Sandro; Kupnik, M.
Konferenzbeitrag
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Co-MOCVD processed seed layer for through silicon via copper metallization
Esmaeili, S.; Lilienthal, K.; Nagy, N.; Gerlich, L.; Krause, R.; Uhlig, B.
Zeitschriftenaufsatz
2019Concept and proof for an all-silicon MEMS micro speaker utilizing air chambers
Kaisers, B.; Langa, S.; Ehrig, L.; Stolz, M.; Schenk, H.; Conrad, H.; Schenk, H.; Schimmanz, K.; Schuftenhauer, D.
Zeitschriftenaufsatz
2019Construction and Characterization of External Cavity Diode Lasers Based on a Microelectromechanical System Device
Hoppe, M.; Jiménez, A.; Rohling, H.; Schmidtmann, S.; Grahmann, J.; Tatenguem, H.; Milde, T.; Schanze, T.; Sacher, J.R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2019Defects in oxidized p-type Si wafers observed by surface photovoltage spectroscopy
Kolkovsky, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2019Design and fabrication of liquid crystal microring resonator-based tunable optical add-drop filters
Costache, Florenta; Hartwig, H.; Martin, A.; Blasl, M.; Rieck, A.; Namdari, M.
Konferenzbeitrag
2019Development of an illumination module for stroboscopic phase-shift interferometry on MEMS devices
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de; Wolschke, Steffen; Skupsch, Christoph; Berndt, D.
Konferenzbeitrag
2019Development of Rutile Titanium Oxide Thin Films as Battery Material Component Using Atomic Layer Deposition
Kia, A.M.; Bönhardt, S.; Zybell, S.; Kühnel, K.; Haufe, N.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrical and structural properties of direct current magnetron sputtered amorphous TiAl thin films
Kolkovsky, V.; Schmidt, Jan-Uwe; Döring, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Entwurf eines analogen Hochgeschwindigkeits-Frontends für die optische drahtlose Kommunikation
Spundflasche, Martin
: Gärtner, Uwe (Prüfer); Noack, Alexander (Gutachter); Kirrbach, René (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Epitaxial n++-InGaAs ultra-shallow junctions for highly scaled n-MOS devices
Tejedor, P.; Drescher, M.; Vázquez, L.; Wilde, L.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Formation of highly conformal spinel lithium titanate thin films based on a novel three-step atomic layer deposition process
Bönhardt, S.; Kühnel, K.; Kia, A.M.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019Glow discharge optical emission spectrometry for quantitative depth profiling of CIGS thin-films
Kodalle, T.; Greiner, D.; Brackmann, V.; Prietzel, K.; Scheu, A.; Bertram, T.; Reyes-Figueroa, P.; Unold, T.; Abou-Ras, D.; Schlatmann, R.; Kaufmann, C.A.; Hoffmann, V.
Zeitschriftenaufsatz
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, Thilo; Grasshoff, Thomas; Wildenhain, Michael; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Investigation of mechanical and optical properties of 3D printed materials serving as substrate for place and bend assembly
Grüger, H.; Knobbe, J.; Sabiha, M.H.
Konferenzbeitrag
2019Investigation of Pt-Salt-Doped-Standalone-Multiwall Carbon Nanotubes for On-Chip Interconnect Applications
Liang, J.; Chen, R.; Ramos, R.; Lee, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Berrada, S.; Sadi, T.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Asenov, A.; Dijon, J.; Todri-Sanial, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Ionenmobilitätsspektrometer mit FAIMS-Filter in MEMS-Technologie
Graf, Alexander; Hild, Olaf Rüdiger
Konferenzbeitrag
2019Kern für Echtzeit
Deicke, Frank; Beck, Monika
Elektronische Publikation
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2019Li-Fi for Augmented Reality Glasses: A Proof of Concept
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2019MEMS based NIR spectrometer with extended spectral range
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.
Konferenzbeitrag
2019MEMS piston mirror arrays with force-balanced single spring
Dürr, P.; Neudert, A.; Kunze, D.; Friedrichs, M.
Konferenzbeitrag
2019Non-rotationally Symmetric Freeform Fresnel-Lenses for Arbitrary Shaped Li-Fi Communication Channels
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Jakob, Benjamin
Konferenzbeitrag
2019Platinum-Copper Defects in Silicon
Kolkovsky, V.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Pyroelectric Energy Conversion in Doped Hafnium Oxide (HfO2) Thin Films on Area-Enhanced Substrates
Hanrahan, Brendan; Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Czernohorsky, M.; Weinreich, Wenke; Smith, A.
Zeitschriftenaufsatz
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2019Rasterscan mit ruckbegrenzten Trajektorien für quasi-statisch/resonante Mikroscanner
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Janschek, K.; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2019Reduced metal contamination from crucible and coating using a silicon nitride based diffusion barrier for the growth of cast quasi-single crystalline silicon ingots
Wolny, F.; Krause, A.; Müller, M.; Fischer, G.; Neuhaus, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Separation of Individual Thermal Double-Donor Levels by Laplace Deep-Level Transient Spectroscopy
Gwozdz, K.; Kolkovsky, V.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2019Silicone oil damping for quasi-static micro scanners with electrostatic vertical staggered comb drives
Schroedter, Richard; Grahmann, Jan; Janschek, Klaus
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag