Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Advances of MOEMS-based external cavity QCLs
Härtelt, Marko; Hugger, Stefan; Butschek, Lorenz; Schilling, Christian; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Grahmann, Jan; Rattunde, Marcel; Ostendorf, Ralf
Konferenzbeitrag
2019The annealing effect on memory state stability and interlayer coupling in perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Fidalgo, João; Leitão, Diana C.; Silva, Ana V.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Assessment of conduction mechanisms through MgO ultrathin barriers in CoFeB/MgO/CoFeB perpendicular magnetic tunnel junctions
Lv, Hua; Fidalgo, João; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Riedel, Stefan; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Freitas, Paolo P.; Cardoso, Susana
Zeitschriftenaufsatz
2019Ein Beitrag zum Entwurf vibrationsbelasteter Microscanner
Kiethe, Oliver
: Janschek, Klaus; Schroedter, Richard (Betreuer); Todt, Ulrich (Betreuer)
Diplomarbeit
2019Characterisation of ferroelectric thin films with scanning probe microscope methods
Norouzi Kalkani, Mahsa
: Kämpfe, Thomas (Betreuer); Ecke, Ramona (Betreuer); Schulz, Stefan E. (Gutachter)
Master Thesis
2019CMUT with mechanically coupled plate actuators for low frequencies
Krenkel, Marcel; Stolz, Michael; Koch, Sandro G.; Kupnik, Mario
Zeitschriftenaufsatz
2019Defects in oxidized p-type Si wafers observed by surface photovoltage spectroscopy
Kolkovsky, Vladimir
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrical and structural properties of direct current magnetron sputtered amorphous TiAl thin films
Kolkovsky, V.; Schmidt, Jan-Uwe; Döring, S.
Zeitschriftenaufsatz
2019Electrocaloric temperature change in ferroelectric Si-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, C.; Kämpfe, T.; Pätzold, B.; Rudolph, M.; Czernohorsky, M.; Müller, J.; Weinreich, W.
Vortrag
2019Entwurf eines analogen Hochgeschwindigkeits-Frontends für die optische drahtlose Kommunikation
Spundflasche, Martin
: Gärtner, Uwe (Prüfer); Noack, Alexander (Gutachter); Kirrbach, René (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Ferroelectric and pyroelectric properties of polycrystalline La-doped HfO2 thin films
Mart, Clemens; Kühnel, Kati; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2018
 
Jahresbericht
2019High-density energy storage in Si-doped hafnium oxide thin films on area-enhanced substrates
Kühnel, Kati; Czernohorsky, M.; Riedel, Steffen; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2019Hybrid assembled MEMS scanner array with large aperture for fast scanning LIDAR systems
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2019Kern für Echtzeit
Deicke, Frank; Beck, Monika
Elektronische Publikation
2019Konzeptentwicklung eines optischen Messplatzes zur präzisen und hochdynamischen Bestimmung des zweidimensionalen Kippwinkels von 2D-Mikrospiegeln als Referenzmesssystem einer Echtzeitregelung
Stolba, Friedrich
: Czarske, Jürgen (Gutachter); Büttner, Lars (Gutachter); Sandner, Thilo (Gutachter)
Diplomarbeit
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Konferenzbeitrag
2019Principles and Challenges for Binary Oxide Based Ferroelectric Memory FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Eng, L.M.; Seidel, K.
Poster
2019Quasi-statischer MOEMS-Gitterscanner zum spektralen Durchstimmen eines MIR-Quantenkaskadenlasers
Merten, André; Schroedter, Richard; Dreyhaupt, André; Graßhoff, Thomas; Schwarzenberg, Markus; Hugger, Stefan; Schilling, Christian; Grahmann, Jan; Ostendorf, Ralf
Zeitschriftenaufsatz
2019Reduced metal contamination from crucible and coating using a silicon nitride based diffusion barrier for the growth of cast quasi-single crystalline silicon ingots
Wolny, F.; Krause, A.; Müller, M.; Fischer, G.; Neuhaus, H.
Zeitschriftenaufsatz
2019Studentische Beschäftigungsverhältnisse als Quelle des Active Sourcings? Eine Analyse am Beispiel des Fraunhofer-Instituts für Photonische Mikrosysteme IPMS
Wendenburg, Anja
: Haubold, Anne-Katrin (Gutachter); Richter, Thorsten S. (Gutachter)
Bachelor Thesis
2019Study of sub-volume activation in CoFeB/MgO memory devices near spin reorientation transition
Fidalgo, João; Lv, Hua; Silva, Ana V.; Leitão, Diana C.; Kämpfe, Thomas; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy; Ocker, Berthold; Cardoso, Susana
Poster
201810 Gbit/s bidirectional transceiver with monolithic optic for rotary connector replacements
Faulwaßer, M.; Kirrbach, R.; Schneider, T.; Noack, A.
Konferenzbeitrag
201814nm Ferroelectric FinFET technology with steep subthreshold slope for ultra low power applications
Krivokapic, Z.; Rana, U.; Galatage, R.; Razavieh, A.; Aziz, A.; Liu, J.; Shi, J.; Kim, H.J.; Sporer, R.; Serrao, C.; Busquet, A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Kleemeier, W.; Jacob, A.; Brown, D.; Knorr, A.; Carter, R.; Banna, S.
Konferenzbeitrag
20183D Analysis of Thin Layers by ToF-SIMS
Mohammadian Kia, Alireza; Esmaeili, Sajjad; Mart, Clemens; Utriainen, Mikko; Haufe, Nora; Puurunen, Riikka L.; Weinreich, Wenke
Poster
2018Advances in MOEMS technologies for high quality imaging systems
Schenk, H.; Wagner, M.; Grahmann, J.; Merten, A.
Konferenzbeitrag
2018Aktoren auf Basis elektroaktiver Polymer/Nanopartikel Komposite und deren Anwendung in einer Mikrolinse mit variablem Fokus
Pawlik, Boscij
: Lakner, Hubert (Betreuer); Grabmaier, Anton (Betreuer)
Dissertation
2018Aspects of high aspect ratio silicon etching - capacitor application
Rudolph, Matthias; Pätzold, Björn; Czernohorsky, Malte
Vortrag
2018Automatic tracking of Li-Fi links for wireless industrial ethernet
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Schneider, Tobias; Ostermann, Robert; Noack, Alexander
Konferenzbeitrag
2018Automatic Tracking of Li-Fi Links for Wireless Industrial Ethernet
Kirrbach, René
Vortrag
2018Barrier breakdown mechanism in nano-scale perpendicular magnetic tunnel junctions with ultrathin MgO barrier
Lv, Hua; Leitao, Diana C.; Hou, Zhiwei; Freitas, Paulo P.; Cardoso, Susana; Kämpfe, Thomas; Müller, Johannes; Langer, Juergen; Wrona, Jerzy
Zeitschriftenaufsatz
2018Bringing NIR spectrometers into mobile phones
Reinig, P.; Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Carbon-hydrogen-related complexes in Si
Kolkovsky, V.; Stübner, Ronald; Gwozdz, K.; Weber, Jörg
Zeitschriftenaufsatz
2018Challenges and Progress on Carbon Nanotube Integration for BEOL Interconnects
Uhlig, B.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Lilienthal, K.; Liske, R.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Lee, J.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Koenemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Liang, J.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Charakterisierung und Bewertung von CuPc-basierten OFET's im Hinblick auf eine Anwendung als NO2-Sensor
Reichelt, Christoph
: Zipser, Stephan (Betreuer); Graf, Alexander (Betreuer)
Bachelor Thesis
2018Clamped-clamped in-plane electrostatic bending actuators in silicon-based microfluidic devices
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Vortrag
2018CMOS compatible pyroelectric applications enabled by doped HfO2 films on deep-trench structures
Mart, Clemens; Weinreich, Wenke; Czernohorsky, Malte; Riedel, Stefan; Zybell, Sabine; Kühnel, Kati
Konferenzbeitrag
2018CMOS design of Digital to Analog converters for active matrix Spatial Light Modulator applications
Paramesh, Vidwath
: Presberger, Thomas (Betr.); Horstmann, John Thomas (Betr.)
Master Thesis
2018CMOS-kompatibler MEMS-Lautsprecher für Im-Ohr-Anwendungen
Conrad, Holger; Ehrig, Lutz; Kaiser, Bert; Schenk, Hermann; Schuffenhauer, David; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2018CMUT with mechanically coupled plate actuators
Krenkel, Marcel; Kircher, Marco; Kupnik, Mario; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Cobalt integration solutions - integration (R&D accelerator)
Gerlich, Lukas; Wislicenus, Markus; Koch, Johannes; Dhavamani, Abitha; Esmaeili, Sajjad; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2018Copper electroplating with polyethylene Glycol. Pt.II. Experimental analysis and determination of model parameters
Yang, Hongliu; Krause, Robert; Scheunert, Christin; Liske, Romy; Uhlig, Benjamin; Preusse, Axel; Dianat, Arezoo; Bobeth, Manfred; Cuniberti, Gianaurelio
Zeitschriftenaufsatz
2018Design of on-chip RFID transponder antennas
Heinig, Andreas
Konferenzbeitrag
2018Design of On-Chip RFID Transponder Antennas
Heinig, Andreas
Vortrag
2018Development of titanium oxide conformal thin film by atomic layer deposition
Mohammadian Kia, Alireza
Poster
2018Drahtlose Datenübertragung für kurze und lange Strecken. Alternative Li-Fi
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Electrostatically Driven In-Plane Silicon Micropump for Modular Configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Enhancement of vertical integration density by engineered BSOI wafers
Kaden, C.; Langa, S.; Ludewig, T.; Schönberger, A.; Herrmann, A.; Göbel, A.; Kolkovsky, V.; Jeroch, W.; Pufe, W.
Zeitschriftenaufsatz
2018Entwicklung eines Beleuchtungsmoduls für stroboskopische, phasenschiebende Interferometrie
Medeiros Ventura, Luiz Guilherme de
: Heitmann, Johannes (Gutachter); Skupsch, Christoph (Gutachter); Wolschke, Steffen (Betreuer)
Master Thesis
2018Entwicklung eines Transmitters mit Hochleistungsleuchtdiode für die optische drahtlose Datenübertragung
Lei, Lei
: Ostermann, Robert (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018A FeFET based super-low-power ultra-fast embedded NVM technology for 22nm FDSOI and beyond
Dünkel, S.; Trentzsch, M.; Richter, R.; Moll, P.; Fuchs, C.; Gehring, O.; Majer, M.; Wittek, S.; Müller, B.; Melde, T.; Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Müller, S.; Ocker, J.; Noack, M.; Löhr, D.-A.; Polakowski, P.; Müller, J.; Mikolajick, T.; Höntschel, J.; Rice, B.; Pellerin, J.; Beyer, S.
Konferenzbeitrag
2018Flatness-based open-loop and closed-loop control for electrostatic quasi-static microscanners using jerk-limited trajectory design
Schroedter, Richard; Roth, Matthias; Janschek, Klaus; Sandner, Thilo
Zeitschriftenaufsatz
2018Fraunhofer Institute for Photonic Microsystems. Annual Report 2017
 
Jahresbericht
2018Frequency domain analysis of pyroelectric response in silicon-doped hafnium oxide (HfO2) thin films
Mart, Clemens; Czernohorsky, Malte; Zybell, Sabine; Kämpfe, Thomas; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Functional integration - structure-integrated wireless sensor technology targeting smart mechanical engineering applications
Rülke, Steffen; Beyer, Volkhard; Zorn, Wolfgang; Meinig, Marco; Wecker, Julia; Reuter, Danny; Deicke, Frank; Clausner, André; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2018The gateone-project: A digital innovation hub accelerating innovation through ecosystem design and product trajectory
Hamelin, R.; Andrieux, G.; Chartier, I.; Roustom, B.; Healy, T.; Ali, Z.; Legrand, B.; Mayora, K.; Scholles, M.; Guerre, R.
Konferenzbeitrag
2018Grundlegende Untersuchungen zur Phasenmodulation von Licht im Subnanometer-Bereich mittels diffraktiver Mikrospiegelarrays
Sicker, Cornelius
: Schenk, Harald; Reif, Jürgen
Dissertation
2018High Endurance Ferroelectric Hafnium Oxide-Based FeFET Memory Without Retention Penalty
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Steinke, P.; Calvo, J.; Zimmermann, K.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018High-Speed, Cellular Li-Fi HotSpot for Real-Time Applications
Kirrbach, René; Faulwaßer, Michael; Ostermann, Robert; Jakob, Benjamin; Noack, Alexander
Vortrag
2018Hydrogen-related defects in Al2O3 layers grown on n-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Stübner, Ronald
Zeitschriftenaufsatz
2018Interaction of hydrogen with hafnium dioxide grown on silicon dioxide by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, Vladimir; Scholz, Sebastian; Kolkovsky, Valery; Schmidt, Jan-Uwe; Heller, Rene
Zeitschriftenaufsatz
2018Kanalkodierungen in der optisch-drahtlosen Übertragung
Audi, Maher
: Faulwaßer, Michael (Betreuer); Noack, Alexander (Betreuer); Tutsch, Dietmar (Gutachter); Möller, Reinhard (Gutachter)
Master Thesis
2018Knickbares Substrat mit Bauelement
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Konzeption und Herstellung von Systemdemonstratoren für miniaturisierte Im-Ohr-Lautsprecher mit drahtlosen Kommunikationsschnittstellen
Horky, Steve
: Kaiser, Bert (Betreuer); Bauer, Reinhard (Betreuer)
Diplomarbeit
2018Konzipierung und Umsetzung eines Automotive Ethernet-MAC IP-Cores
Zhu, Hailong
: Hildebrandt, Ralf (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Diplomarbeit
2018Layer thickness scaling and wake-up effect of pyroelectric response in Si-doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Zeitschriftenaufsatz
2018Li-Fi für Kurzstrecken. Drahtlose Industriekommunikation
Noack, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Liquid pumping induced by transverse forced vibrations of an elastic beam: A lubrication approach
Borcia, Rodica; Bestehorn, Michael; Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald
Vortrag
2018Lithium Detection and Tracking for Solid State Battery Test Stacks
Mohammadian Kia, Alireza; Haufe, Nora; Zybell, Sabine; Bönhardt, Sascha; Kühnel, Kati; Speulmanns, Jan K.; Weinreich, Wenke
Poster
2018LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, Jesús; Drescher, Maximilian; Kühnel, Kati; Sauer, Bodo; Müller, Michael; Schmidt, Christian; Boui, Fatima; Völklein, Friedemann; Wagner-Reetz, Maik
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2018Mechanically coupled capacitive ultrasonic transducer
Krenkel, Marcel; Lange, Nicolas; Koch, Sandro; Kircher, Marco
Konferenzbeitrag
2018MEMS basierte Ultraschallwandler für die Anwendung in flüssigen und gasförmigen Umgebungen und Möglichkeiten der CMOS Integration
Lange, Nicolas; Grafe, Mario; Koch, Sandro; Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018MEMS integration on foundry-fabricated CMOS backplanes
Hohle, Christoph; Schulze, Matthias
Aufsatz in Buch
2018MEMS-Tunable VCSELs-Driven Terahertz Emitters Based on Conventional and Nanoelectrode Photomixers
Haidar, M.T.
Dissertation
2018Microoptoelectromechanical systems-based external cavity quantum cascade lasers for real-time spectroscopy
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Stothard, David; Warden, Matthew; Carson, Christoph; Macarthur, John; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Wagner, Joachim
Zeitschriftenaufsatz
2018Mikromechanische Bauelemente mit mechanischen Aktuatoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schenk, Harald; Uhlig, Sebastian
Patent
2018MMS, MMS-Array, MEMS-Aktuator und Verfahren zum Bereitstellen eines MMS
Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef
Patent
2018Modellbasierter Systementwurf zur Steuerung und Regelung quasi-statischer Mikroscannerspiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Schroedter, Richard
: Hofmann, Wilfried; Janschek, Klaus
Dissertation
2018Modulating complex beams in amplitude and phase using fast tilt-micromirror arrays and phase masks
Roth, M.; Heber, J.; Janschek, K.
Zeitschriftenaufsatz
2018Monolithic integration for photonic applications: MEMS on CMOS and functional BSOI
Kaden, Christiane; Schulze, Matthias
Vortrag
2018New way to realize miniaturized complex optical systems in high volume
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Reinig, Peter; Meyer, Sebastian
Konferenzbeitrag
2018Novel 512 × 320 Tip-Tilt Micro Mirror Array in a CMOS-Integrated, Scalable Process Technology
Gehner, A.; Dürr, P.; Kunze, D.; Rudloff, D.; Elgner, A.; Heber, J.; Francés, S.; Skupsch, C.; Torlee, H.; Eckert, M.; Friedrichs, M.; Schmidt, J.; Pufe, W.; Döring, S.; Hohle, C.; Schulze, M.; Wagner, M.
Konferenzbeitrag
2018A novel electrostatic actuator, the Nano-E-Drive, and its integration in a micropump design
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2018Optische Anordnung für ein Spektralanalysesystem, Verfahren zu dessen Herstellung und Spektralanalysesystem
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Optische Anordnung zur Erzeugung von Lichtfeldverteilungen und Verfahren zum Betrieb einer optischen Anordnung
Heber, Jörg; Janschek, Klaus; Roth, Matthias
Patent
2018Passive RFID sensors - battery-free, wireless pressure measurements
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Grätz, Hagen; Kircher, Marco
Vortrag
2018Passive sensor transponders - wireless, battery-free sensing with RFID technology
Weder, Andreas
Vortrag
2018A physics-based investigation of Pt-salt doped carbon nanotubes for local interconnects
Liang, J.; Ramos, R.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Renaud, D.; Lee, J.; Georgiev, V.P.; Berrada, S.; Sadi, T.; Asenov, A.; Uhlig, B.; Lilienthal, K.; Dhavamani, A.; Könemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Teo, K.; Pandey, R.R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Plagiatschutz mittels RFID
Holland, Hans-Jürgen
Vortrag
2018Progress on carbon nanotube BEOL interconnects
Uhlig, B.; Liang, J.; Lee, J.; Ramos, R.; Dhavamani, A.; Nagy, N.; Dijon, J.; Okuno, H.; Kalita, D.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Wang, L.; Millar, C.; Konemann, F.; Gotsmann, B.; Goncalves, G.; Chen, B.; Pandey, R.R.; Chen, R.; Todri-Sanial, A.
Konferenzbeitrag
2018Rapid Synthesis of Sub‐10 nm Hexagonal NaYF4‐Based Upconverting Nanoparticles using Therminol® 66
Hesse, J.; Klier, D.T.; Sgarzi, M.; Nsubuga, A.; Bauer, C.; Grenzer, J.; Hübner, R.; Wislicenus, M.; Joshi, T.; Kumke, M.U.; Stephan, H.
Zeitschriftenaufsatz
2018Reliable high-density energy storage in Si-doped HfO2 thin films on 3D-structures
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Mart, Clemens; Weinreich, Wenke
Vortrag
2018Repetitive nonlinear control for linear scanning micro mirrors
Schroedter, R.; Schwarzenberg, M.; Grahmann, J.; Sandner, T.; Janschek, K.
Konferenzbeitrag
2018A review of acoustic impedance matching methods to validate additive manufactured metamaterial for capacitive micromachined ultrasonic transducers
Schweiger, Severin; Koch, Sandro
Konferenzbeitrag
2018Silicon doped hafnium oxide (HSO) and hafnium zirconium oxide (HZO) based FeFET
Ali, T.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Büttner, T.; Kämpfe, T.; Rudolph, M.; Pätzold, B.; Seidel, K.; Löhr, D.; Hoffmann, R.; Czernohorsky, M.; Kühnel, K.; Thrun, X.; Hanisch, N.; Steinke, P.; Calvo, J.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2018Smart and efficient optimization of NED actuators
Schuffenhauer, David; Gaudet, Matthieu; Conrad, Holger
Konferenzbeitrag
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, C.; Heber, J.; Berndt, D.
Abstract
2018Subnanometer calibration of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk
Vortrag
2018System zur Analyse von elektromagnetischer Strahlung und Bauelement zur Herstellung desselben
Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Patent
2018Towards a compact, portable, handheld device for contactless real-time standoff detection of hazardous substances
Carson, Christopher; Macarthur, John; Warden, Mattew; Stothard, David; Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Ostendorf, Ralf; Merten, André; Schwarzenberg, Markus; Grahmann, Jan; Ratajczyk, Marcin
Konferenzbeitrag
2018Translatory MEMS actuator with wafer level vacuum package for miniaturized NIR Fourier transform spectrometers
Sandner, Thilo; Gaumont, Eric; Grasshoff, Thomas; Auböck, Gerald; Kenda, Andreas; Gisler, Thomas; Langa, Sergiu; Herrmann, Andreas; Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2018Tuning parameters and their impact on ferroelectric hafnium oxide
Polakowski, Patrick; Büttner, Teresa; Ali, Tarek Nadi Ismail; Riedel, Stefan; Kämpfe, Thomas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes; Pätzold, Björn
Vortrag
2018Ultrathin Lithium Ion Diffusion Barrier for On-Chip 3D All-Solid-State Batteries
Speulmanns, Jan; Zybell, Sabine; Mohammadian Kia, Alireza; Bönhardt, Sascha; Weinreich, Wenke; Liske, Romy
Poster
2018Understanding Electromigration in Cu-CNT Composite Interconnects
Lee, J.; Berrada, S.; Adamu-Lema, F.; Nagy, N.; Georgiev, V.P.; Sadi, T.; Liang, J.; Ramos, R.; Carrillo-Nunez, H.; Kalita, D.; Lilienthal, K.; Wislicenus, M.; Pandey, R.; Chen, B.; Teo, K.B.K.; Goncalves, G.; Okuno, H.; Uhlig, B.; Todri-Sanial, A.; Dijon, J.; Asenov, A.
Zeitschriftenaufsatz
2018Vertically aligned carbon nanotube films as absorption layers for IR applications
Kini, Mandar; Bonitz, Jens; Müller, Michael; Schulz, Stefan E.; Hermann, Sascha
Konferenzbeitrag
2018Vertically integrated modeling of light-induced defects
Laine, H.S.; Vahlman, H.; Haarahiltunen, A.; Jensen, M.A.; Modanese, C.; Wagner, M.; Wolny, F.; Buonassisi, T.; Savin, H.
Konferenzbeitrag
2018Vollduplex-Transceiver für die optische drahtlose Hochgeschwindigkeitskommunikation
Faulwaßer, Michael
: Fischer, Wolf-Joachim; Jamshidi, Kambiz; Henker, Matthias
Dissertation
2018Wake-up effect of pyroelectric response in doped HfO2
Mart, Clemens; Kämpfe, Thomas; Zybell, Sabine; Weinreich, Wenke
Abstract
2017Acoustic simulation and characterization of capacitive micromachined ultrasonic transducers
Klemm, Markus
: Gerlach, Gerald (Gutachter); Kupnik, Mario
Dissertation
2017Adsorptionsuntersuchungen in einem Mehrkomponenten-Additiv-System bei der elektrochemischen Kupferabscheidung im Bereich Halbleitermetallisierung
Scheunert, Christin
: Krause, Robert (Betreuer); Kalies, Grit (Betreuer)
Bachelor Thesis
2017ASIC zur Ansteuerung und Signalerfassung eines CMUT
Pietzsch, Marcus; Weder, Andreas; Heinig, Andreas; Amelung, Jörg; Koch, Sandro; Kircher, Marco
Konferenzbeitrag
2017Atomic Layer Deposition (ALD) and characterization of Ti- and Co-based films for Lithium-Ion Batteries (LIB)
Hoßbach, C.; Neumann, V.; Reddy, K.D.S.; Bönhardt, S.; Stoeck, A.; Fischer, D.; Reif, J.; Shukla, S.; Zybell, S.; Albert, M.; Giebeler, L.; Bartha, J.W.
Poster
2017Atomic layer deposition of functional films for all-solid-state lithium-ion microbatteries
Zybell, Sabine
Vortrag
2017Atomic layer deposition of lithium titanate on planar and 3D-structured 200 mm silicon substrates
Bönhardt, Sascha
Vortrag
2017Ein Beitrag zur Simulation und Realisierung repetitiver Regelungsalgorithmen für elektrostatische quasi-statische Mikrospiegel
Che, Xingqi
: Schroedter, Richard (Betreuer); Janschek, Klaus (Betreuer)
Diplomarbeit
2017BEoL post CMP cleaning challenges for 22 nm FD-SOI and beyond
Koch, Johannes; Rehschuh, Stephan; Gerlich, Lukas; Dhavamani, Abitha; Steinke, Philipp; Krause, Robert; Naue, Johannes; Bott, Sascha; Vasilev, Boris; Breuer, Dirk; Seidel, Robert; Preusse, Axel; Bartha, Johann Wolfgang; Uhlig, Benjamin
Konferenzbeitrag
2017Capacitance maximization of ultra-thin Si-capacitors by atomic layer deposition of anti-ferroelectric HfO2 in high aspect ratio structures
Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Mart, Clemens; Müller, Johannes
Vortrag
2017Carbon-hydrogen related defects in SiGe observed after dc H plasma treatment
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Weber, Jörg; Abrosimov, Nikolay V.
Zeitschriftenaufsatz
2017Carbon-related defects in microelectronics
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Charakterisierung der Zuverlässigkeit in der High-k Metal Gate Technologie
Drescher, Maximilian; Erben, Elke; Grass, Carsten; Trentzsch, Martin; Lazarevic, Florian; Leitsmann, Roman; Plaenitz, Philipp; Mchedlidze, Teimuraz; Seidel, Konrad; Liske, Romy; Bartha, Johann Wolfgang
Konferenzbeitrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Konferenzbeitrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for capacitive micromachined ultrasonic transducer (CMUT) arrays
Weder, Andreas; Koch, Sandro; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Vortrag
2017CMOS-design of a cascadable front-end ASIC for CMUT arrays
Koch, Sandro G.; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Kircher, Marco; Grafe, Mario; Lange, Nicolas; Amelung, Jörg
Vortrag
2017CMOS-kompatible elektrostatische Biegeaktoren
Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Concept for a new approach to realize complex optical systems in high volume
Grüger, H.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Leuckefeld, M.; Reinig, P.; Meyer, S.
Konferenzbeitrag
2017Concept for the fast modulation of light in amplitude and phase using analog tilt-mirror arrays
Roth, M.; Heber, J.; Janschek, K.
Konferenzbeitrag
2017Concept for the fast modulation of light in amplitude and phase using analog tilt-mirror arrays
Roth, Matthias; Heber, Jörg; Janschek, Klaus
Vortrag
2017A contribution to the expansion of the applicability of electrostatic forces in micro transducers
Schenk, H.; Conrad, H.; Gaudet, M.; Uhlig, S.; Kaiser, B.; Langa, S.; Stolz, M.; Schimmanz, K.
Konferenzbeitrag
2017Customized BSOI wafers integration of additional interconnects into the handle wafer
Kaden, Christiane; Langa, Sergiu
Vortrag
2017Customized micro mirror array for highly parallel industrial laser direct processing on the micro- and nanoscale
Schmidt, Jan-Uwe; Dürr, Peter; Wagner, Michael
Konferenzbeitrag
2017Development of CMOS-compatible materials for thermoelectric and sensor applications in semiconductor industry
Wagner-Reetz, M.; Calvo, J.; Nichenametla, C.K.; Kühnel, K.; Göhler, T.; Schulz, S.; Burkov, A.; Uhlig, B.
Vortrag
2017Development of MEMS-based capacitive ultrasonic transducers - technology, applications and perspectives for ultrasonic sensing
Kircher, Marco
Vortrag
2017Development of metal oxide processes for highly conformal thin layers by plasma enhanced atomic layer deposition
Kia, Alireza Mohammadian
: Hiller, Karla (Betreuer); Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis
2017Development of transition metal silicides as thinfilm materials for thermoelectric applications
Nichenametla, Charan Krishna
: Wagner-Reetz, Maik; Schulz, Stefan E.
Master Thesis
2017Druckvorrichtung zum Drucken einer dreidimensionalen Struktur
Unamuno-Eguren, Anartz; Klemm, Markus
Patent
2017Electrically tunable micro-lens with a strain-enhanced polymer nanocomposite actuator
Costache, Florenta; Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas
Konferenzbeitrag
2017Electrochemical characterization of lithium containing thin films
Dorai Swamy Reddy, Keerthi
: Zybell, Sabine (Betreuer); Neumann, Volker (Betreuer); Bartha, Johann Wolfgang (Gutachter); Albert, Matthias (Gutachter)
Master Thesis
2017Electrostactically in-plane driven silicon micropump for modular configuration
Uhlig, Sebastian; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Schimmanz, Klaus; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Electrostatic bending actuators with a liquid filled nanometer scale gap
Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Stolz, Michael; Arscott, Steve; Conrad, Holger; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Elektrooptisch induzierte Wellenleiter in paranematischen Flüssigkeitskristallen
Blasl, Martin
: Schenk, Harald (Gutachter); Seibold, Götz (Gutachter); Schröder, Thomas (Gutachter); Küppers, Franko (Gutachter)
Dissertation
2017Enhanced reliability and capacitance stability of ZrO2-based decoupling capacitors by interface doping with Al2O3
Mart, C.; Zybell, S.; Riedel, S.; Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Weinreich, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017Entwicklung und Simulation einer Kollimator- und Fokusoptik für die optische drahtlose Datenübertragung
Kirrbach, René
: Noack, Alexander (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter); Marschner, Uwe (Gutachter)
Diplomarbeit
2017Entwicklung von Mechanismen für die unbeaufsichtigte Windows-10-Installation im Fraunhofer IPMS unter Berücksichtigung spezifischer Datenschutzrichtlinien
Keller, Denni
: Richter, Felix (Betreuer); Baumgartl, Robert (Betreuer)
Diplomarbeit
2017Entwurf und Analyse einer Forward-Error-Correction (FEC) für optische Übertragungssysteme mit Intensitätsmodulation, limitierenden Verstärkern und begrenzten Decoder-Ressourcen
Müller, Franz
: Henker, M. (Betreuer); Faulwaßer, M. (Betreuer)
Master Thesis
2017Erarbeitung eines Lösungsvorschlages zur Erstellung einer TestBench mittels der "Universal Vertification Methodology" (UVM)
Miersch, Matthias
: Hildebrandt, Ralf (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter); Marschner, Uwe (Gutachter)
Diplomarbeit
2017Erarbeitung von Lösungsvorschlägen für integrierte Temperatursensoren in RFID-Transponder
Li, Bo
: Landwehr, Matthias; Fischer, Wolf-Joachim
Diplomarbeit
2017Erarbeitung von Lösungsvorschlägen zur Optimierung einer vorhandenen UHF-RFID-Frontend-Schaltung
Gottfried, Tobias
: Landwehr, Matthias; Klix, Wilfried
Diplomarbeit
2017Erhöhte Sicherheit durch RFID-Sensorik für Predictive Maintenance Anwendungen
Weder, A.
Zeitschriftenaufsatz
2017Erhöhung der Zuverlässigkeit von High-k Dielektrika für integrierte hochkapazitive Kondensatoren
Mart, Clemens
: Weber, Jörg (Gutachter); Lakner, Hubert (Gutachter); Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis
2017Evaluation of an electrochemical corrosion technique for the determination of static etch rates of post CMP cleaning chemicals
Krause, Robert; Koch, Johannes; Rehschuh, Stephan; Naue, Johannes; Bott, Sascha; Uhlig, Benjamin; Vasilev, Boris
Vortrag
2017The fabrication of copper-carbon nanotube composites for global interconnects
Nagy, Nicole; Lilienthal, Katharina; Uhlig, Benjamin
Poster
2017Ferroelectric HfO2 thin film testing and whole wafer mapping with non-contact corona-Kelvin metrology
Marinskiy, D.; Polakowski, P.; Edelman, P.; Wilson, M.; Lagowski, J.; Metzger, J.; Binder, R.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2016
 
Jahresbericht
2017From machine data to forecast model: How data-driven new maintenance concepts are created for the production
Reichelt, Dirk
Vortrag
2017Gewitter im Chip - Resistive Speicher für low-power Anwendungen
Seidel, Konrad; Riedel, Stefan; Kalishettyhalli Ma, Mamathamba; Polakowski, Patrick; Müller, Johannes
Konferenzbeitrag
2017Herstellung und Charakterisierung von LiPON als Feststoffelektrolyt für integrierbare Lithium-Ionen-Batterien auf Siliziumbasis
Krämer, Vincent
: Zybell, Sabine (Betr.); Ingebrandt, Sven (Betr.); Saumer, Monika (Betr.)
Master Thesis
2017Herstellung und Messung von elektrischen Teststrukturen zur Untersuchung von Elektromigration in Kupfer-CNT-Kompositen
Makus, Steffen
: Lilienthal, Katharina (Betreuer)
Master Thesis
2017High-K metal gate stacks with ultra-thin interfacial layers formed by low temperature microwave-based plasma oxidation
Czernohorsky, M.; Seidel, K.; Kühnel, K.; Niess, J.; Sacher, N.; Kegel, W.; Lerch, W.
Zeitschriftenaufsatz
2017How to analyze food and future requirements for NIR spectroscopy
Reinig, Peter; Grüger, Heinrich; Hintschich, Susanne; Knobbe, Jens; Pügner, Tino
Konferenzbeitrag
2017How to integrate MEMS on foundry-fabricated CMOS backplanes
Schulze, Matthias; Hohle, Christoph; Friedrichs, Martin
Konferenzbeitrag
2017Interface traps in 28 nm node field effect transistors detected by capacitance transient spectroscopy
Mchedlidze, T.; Drescher, M.; Erben, E.; Weber, J.
Zeitschriftenaufsatz
2017Josephson effects at iron pnictide superconductors: Approaching phase-sensitive experiments
Schmidt, S.; Döring, S.; Hasan, N.; Schmidl, F.; Tympel, V.; Kurth, F.; Iida, K.; Ikuta, H.; Wolf, T.; Seidel, P.
Zeitschriftenaufsatz
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Materialcharakterisierung und -überwachung
Koch, Sandro G.; Kircher, Marco; Grafe, Mario
Vortrag
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallsysteme (CMUT) für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Koch, Sandro G.; Lange, Nicolas; Kircher, Marco; Krenkel, Marcel; Grafe, Mario; Rudloff, Dirk; Amelung, Jörg
Konferenzbeitrag
2017Kapazitive mikromechanische Ultraschallwandler für die zerstörungsfreie Prüfung und Überwachung
Koch, Sandro G.; Lange, Nicolas; Kircher, Marco; Krenkel, Marcel; Grafe, Mario; Rudloff, Dirk; Amelung, Jörg
Poster
2017Lebensmittellabor im Handy. Dem Food Scanner einen Schritt näher
Grüger, Heinrich
Bericht
2017Li-Fi - Optical Wireless Communication
Deicke, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2017Li-Fi roadshow trail. For the smart systems hub
Noack, Alexander
Vortrag
2017MEMS-based ultrasonic sensor systems for applications in fluid environment
Grafe, Mario
Vortrag
2017MiBot-Einsatz in der Gruppe MESYS
Schimmanz, Klaus
Vortrag
2017Microcontroller based closed-loop control of a 2D quasi-static/resonant microscanner with on-chip piezo-resistive sensor feedback
Schroedter, Richard; Schwarzenberg, Markus; Dreyhaupt, André; Barth, Robert; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Mikrochip mit einer RFID-Transponder-Schaltung und einer ON-Chip-Schlitzantenne
Heiß, Michael
Patent
2017Miniature photonic system for next generation food quality authentication
Hintschich, Susanne; Reinig, Peter
Poster
2017Miniaturisierte Laserlichtquelle für Infrarotspektroskopie
Merten, A.; Dreyhaupt, A.; Hugger, S.; Butschek, L.; Grahmann, J.; Schwarzenberg, M.; Ostendorf, R.; Jarvis, J.; Härtelt, M.
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized NIR spectrometers - state of the art & recent developments
Reinig, Peter; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Hintschich, Susanne; Meyer, Sebastian; Grüger, Heinrich
Vortrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2017Miniaturized sensor for the detection of environmental pollutants
Graf, Alexander; Stübner, Ronald; Kunath, Christian; Meyer, Sebastian; Schenk, Harald
Poster
2017Modeling the effects of lanthanum, nitrogen, and fluorine treatments of Si-SiON-HfO2-TiN gate stacks in 28 nm high-k-metal gate technology
Leitsmann, R.; Lazarevic, F.; Drescher, M.; Erben, E.
Zeitschriftenaufsatz
2017Modellierung und Simulation des Chemisch-mechanischen Planarisierens unter besonderer Berücksichtigung langreichweitiger Wechselwirkungen auf der Chipskala
Bott, Sascha
: Gerlach, G.; Bartha, J.W.; Heitmann, J.
Dissertation
2017Morphology-driven control of metabolite selectivity using nanostructure-initiator mass spectrometry
Gao, Jian; Louie, Katherine B.; Steinke, Philipp; Bowen, Benjamin P.; Raad, Markus de; Zuckermann, Ronald N.; Siuzdak, Gary; Northen, Trent R.
Zeitschriftenaufsatz
2017Nano-powerplant for on-chip autonomous systems
Weinreich, Wenke
Vortrag
2017Nitrogen Engineering in the Ultrathin SiO2 Interface Layer of High- k CMOS Devices: A First-Principles Investigation of Fluorine, Oxygen, and Boron Defect Migration
Lazarevic, F.; Leitsmann, R.; Drescher, M.; Erben, E.; Plänitz, P.; Schreiber, M.
Zeitschriftenaufsatz
2017A novel electrostatic actuator technology for integrated RF MEMS and optical switches
Shashank; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Poster
2017Novel ferroelectric FET based synapse for neuromorphic systems
Mulaosmanovic, H.; Ocker, J.; Müller, S.; Noack, M.; Müller, J.; Polakowski, P.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.
Konferenzbeitrag
2017Novel TSV metallization and simplified ECD processes for ultra-large scale integration (ULSI) technology
Esmaeili Dehkalani, M. Sajjad
: Lilienthal, Katharina (Betreuer); Adelung, Rainer (Betreuer)
Master Thesis
2017Numerische Optimierung von Mikroaktoren
Schuffenhauer, David
: Gaudet, Matthieu (Betreuer); Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2017PEALD and pulsed CVD of Cobalt thin films using the precursor cyclopentadienylcobalt dicarbonyl
Hossbach, Christoph; Shukla, Shashank; Fischer, Dustin; Reif, Johanna; Bönhardt, Sascha; Geidel, Marion; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.
Poster
2017A photonic smart system for food quality and safety sensing: First integration and measurement results
Bertani, Francesca Romana; Bourgos, Paraskevas; Businaro, Luca; Gambacorta, Lucia; Gerardino, Annamaria; Hintschich, Susanne; Koutalieris, Georgios; Logothesis, Marios; Martinelli, Eugenio; Nychas, George John; Solfrizzo, Michele; Tosic, Milenko; Wunder, Gerhard
Poster
2017Properties of ALD ferroelectric Si-doped HfO2 characterized with noncontact Corona-Kelvin metrology
Polakowski, Patrick; Müller, Johannes; Marinskiy, Dmitriy; Findlay, Andrew; Edelman, Piotr; Wilson, Marshall; Lagowski, Jacek; Metzger, Joachim; Binder, Robert
Vortrag
2017PVD and ALD process development of advanced oxide-based RRAM-stacks
Kalishetthyhalli Mahadevaiah, Mamathamba
: Müller, Johannes (Gutachter); Lakner, Hubert (Gutachter); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Master Thesis
2017Real-time spectroscopy enabled by external cavity QCLs with MOEMS diffraction gratings
Butschek, Lorenz; Hugger, Stefan; Jarvis, Jan-Philip; Härtelt, Marko; Merten, André; Grahmann, Jan; Boskovic, Dusan; Fuchs, Frank; Ostendorf, Ralf; Schilling, Christian; Rattunde, Marcel; Wagner, Joachim
Konferenzbeitrag
2017Regelung nicht-resonanter Mikrospiegel mit elektrostatischem Kammantrieb
Schroedter, Richard; Janschek, Klaus
Vortrag
2017Reliability improvements of TiN/Al2O3/TiN for linear high voltage metal-insulator-metal capacitors using an optimized thermal treatment
Lefevre, A.; Ferreira, D.; Veillerot, M.; Barnes, J.-P.; Parat, G.; Czernohorsky, M.; Lallemand, F.
Zeitschriftenaufsatz
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2017Repetitive flachheitsbasierte Folgeregelung von quasi-statischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Che, Xingqi; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Poster
2017RFID meets OPC-UA - transparent and secure integration of sensor nodes into industrial and cloud environments
Weder, Andreas; Grätz, Hagen; Voß, Kim; Deicke, Frank; Reichelt, Dirk
Konferenzbeitrag
2017RFID-Sensoren für das Internet der Dinge
Deicke, Frank
Zeitschriftenaufsatz
2017Seed-layer resistance and its impact on the electrochemical copper deposition
Wislicenus, Marcus; Gerlich, Lukas; Koch, Johannes; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2017Sicherheitsmerkmal, Verfahren zum Herstellen eines Sicherheitsmerkmals und Verfahren zum Authentifizieren eines Benutzers unter Verwendung eines Sicherheitsmerkmals
Reinig, Peter; Knobbe, Jens; Hohle, Christoph
Patent
2017Silicon-doped hafnium oxide anti-ferroelectric thin films for energy storage
Ali, F.; Liu, X.; Zhou, D.; Yang, X.; Xu, J.; Schenk, T.; Müller, J.; Schroeder, U.; Cao, F.; Dong, X.
Zeitschriftenaufsatz
2017Smart hip prosthesis - an overview
Deicke, Frank
Vortrag
2017Spatially aware connectivity for wearables using Li-Fi technology
Noack, Alexander
Vortrag
2017A survey of carbon nanotube interconnects for energy efficient integrated circuits
Todri-Sanial, A.; Ramos, R.; Okuno, H.; Dijon, J.; Dhavamani, A.; Wislicenus, M.; Lilienthal, K.; Uhlig, B.; Sadi, T.; Georgiev, V.; Asenov, A.; Amoroso, S.; Pender, A.; Brown, A.; Millar, C.; Motzfeld, F.; Gotsmann, B.; Liang, J.; Goncalves, G.; Rupesinghe, N.; Teo, K.
Zeitschriftenaufsatz
2017Switching kinetics in nanoscale hafnium oxide based ferroelectric field-effect transistors
Mulaosmanovic, Halid; Ocker, Johannes; Müller, Stefan; Schroeder, Uwe; Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Flachowsky, Stefan; Bentum, Ralf van; Mikolajick, Thomas; Slesazeck, Stefan
Zeitschriftenaufsatz
2017Technological aspects of a new micro‑electro‑mechanical actuation principle: Nano‑e‑drive
Langa, Sergiu; Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Stolz, Michael; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz
2017Tragbare Vorrichtung zur Übermittlung von personenbezogenen Daten an ein Verarbeitungssystem und das Verarbeitungssystem zum Ausgeben eines Steuersignals in Abhängigkeit der personenbezogenen Daten
Amelung, Jörg; Grüger, Heinrich
Patent
2017Trench filling with a-Si using a PE-CVD process and back etch sequence
Elsäßer, Linus; Naumann, A.
Konferenzbeitrag
2017A user-friendly guide to the optimum ultraviolet photolithographic exposure and greyscale dose of SU-8 photoresist on common MEMS, microsystems, and microelectronics coatings and materials
Gaudet, Matthieu; Arscott, Steve
Zeitschriftenaufsatz
2017Valence EELS below the limit of inelastic delocalization using conical dark field EFTEM or Bessel beams
Stöger-Pollach, M.; Schachinger, T.; Biedermann, K.; Beyer, V.
Zeitschriftenaufsatz
2017Vorrichtung und Verfahren zur Erzeugung eines optischen Musters aus Bildpunkten in einer Bildebene
Dürr, Peter; Mai, Alexander
Patent
2017Wireless industrial real-time networks with Li-Fi
Faulwaßer, Michael; Noack, Alexander; Ostermann, Robert; Schneider, Tobias; Zschorn, Christopher
Konferenzbeitrag
2016A 28nm HKMG super low power embedded NVM technology based on ferroelectric FETs
Trentzsch, M.; Flachowsky, S.; Richter, R.; Paul, J.; Reimer, B.; Utess, D.; Jansen, S.; Mulaosmanovic, H.; Müller, S.; Slesazeck, S.; Ocker, J.; Noack, M.; Müller, J.; Polakowski, P.; Schreiter, J.; Beyer, S.; Mikolajick, T.; Rice, B.
Konferenzbeitrag
2016Adaptives Prothesensystem - Entwicklung eines Prothesensystems zur Optimierung und adaptiven Anpassung der ossären Verankerung von Gelenkendoprothesen
Rotsch, Christian; Grätz, Hagen; Kluess, Daniel; Gille, Katarina; Heinig, Andreas; Schulze, Christian; Bader, Rainer; Hunger, Sandra; Töppel, Thomas; Drossel, Welf-Guntram
Konferenzbeitrag
2016Antenna design for a 24 GHz RFID tag with an on-chip-antenna
Heiss, Michael; Lischer, Sascha
Poster
2016Atomic layer deposition system for fast precursor screening
Shukla, Shashank; Hossbach, Christoph; Sundqvist, Jonas; Bönhardt, Sascha; Feddersen-Clausen, Oliver; Sharma, Varun; Albert, Matthias; Bartha, Johann W.
Poster
2016Aufbau und Inbetriebnahme eines Messplatzes für die Charakterisierung von gegeneinander rotierenden optisch-drahtlosen Transceiver-Modulen
Kunz, Julian Elias
: Noack, Alexander (Betr.); Ostermann, Robert (Betr.); Fischer, Wolf-Joachim (Betr.)
Diplomarbeit
2016Back-end-of-line integration technology of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)
Amelung, Jörg; Klemm, Markus; Elsäßer, Linus; Kircher, Marco; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Müller, Michael; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2016Back-End-of-Line integration technology of capacitive micromachined ultrasonic transducers (CMUT)
Koch, Sandro; Amelung, Jörg; Elsäßer, Linus; Kircher, Marco; Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas; Müller, Michael
Vortrag
2016Capacitance transient spectroscopy measurements on high-k metal gate field effect transistors fabricated using 28nm technology node
Mchedlidze, T.; Drescher, M.; Erben, E.; Weber, J.
Konferenzbeitrag
2016Carbon-hydrogen complexes in n- and p-type SiGe-alloys studied by Laplace deep level transient spectroscopy
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Weber, Jörg; Abrosimov, N.V.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Catalytic ALD of SiO2 as spacer for an E-Beam direct write self-aligned double patterning process on 300 mm wafers
Kühnel, Kati; Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Thrun, Xaver; Czernohorsky, Malte; Pätzold, Björn; Rudolph, Matthias
Vortrag
2016Characterization of low temperature plasma generated oxides on germanium based substrates
Poduval, Geedhika Kallidil
: Czernohorsky, Malte (Betreuer); Lakner, Hubert (Gutachter); Fischer, Wolf-Joachim (Gutachter)
Master Thesis
2016Charge-trapping phenomena in HfO2-based FeFET-type nonvolatile memories
Yurchuk, Ekaterina; Müller, Johannes; Müller, Stefan; Paul, Jan; Pesic, Milan; Benthum, Ralf van; Schroeder, Uwe; Mikolajick, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2016Correlation between the macroscopic ferroelectric material properties of Si:HfO2 and the statistics of 28nm FeFET memory arrays
Mueller, S.; Slesazeck, S.; Henker, S.; Flachowsky, S.; Polakowski, P.; Paul, J.; Smith, E.; Müller, J.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016CVD-CoXN for advanced semiconductor metallization
Dhavamani, Abitha; Wislicenus, Marcus; Gerlich, Lukas; Uhlig, Benjamin
Vortrag
2016Development and electrical characterization of a metal-ferroelectric-insulator semiconductor FET test structure
Ali, Tarek
: Müller, Johannes (Betreuer); Lakner, Hubert (Betreuer); Heyns, Marc
Master Thesis
2016Enhanced dielectric properties of thin Ta2O5 films grown on 65 nm SiO2/Si
Kolkovsky, V.; Kurth, E.; Kunath, C.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Evaluation of water based intelligent fluids for resist stripping in single wafer cleaning tools
Rudolph, Matthias; Esche, Silvio; Hohle, Christoph; Schumann, Dirk; Steinke, Philipp; Thrun, Xaver; Sonntag, Justus von
Konferenzbeitrag
2016Experimentalaufbau zur Messung vertikaler Oberflächen von mikromechanischen Aktoren am DHM
Lemcke, Klaus Benjamin
Bachelor Thesis
2016Experimentelle Untersuchungen an lateralen elektrostatischen Nanoaktoren
Stolz, Michael
: Schenk, Harald (Betr.); Seibold, Götz (Betr.)
Master Thesis
2016Eye safety analysis for non-uniform retinal scanning laser trajectories
Schelinski, Uwe; Dallmann, Hans-Georg; Grüger, Heinrich; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Reinig, Peter; Woittennek, Franziska
Konferenzbeitrag
2016Fabrication and characterization of a novel electrostatic actuator
Gaudet, Matthieu
Vortrag
2016FAST LIGHT: Möglichkeiten der Li-Fi Kommunikation aus technischer Sicht
Noack, Alexander
Vortrag
2016Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2015
 
Jahresbericht
2016Geometric and chemical components of the giant piezoresistance in silicon nanowires
McClarty, M.M.; Jegenyes, N.; Gaudet, M.; Toccafondi, C.; Ossikovski, R.; Vaurette, F.; Arscott, S.; Rowe, A.C.H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Hardware-Software-System zum ambulanten EKG-Monitoring unter Routinebedingungen
Noack, Alexander
Dissertation
2016HF-release of sacrificial layers in CMOS-integrated MOEMS structures
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Pufe, Wolfram; Schulze, Matthias
Poster
2016HF-release of sacrificial layers in CMOS-integrated MOEMS structures
Döring, Sebastian; Friedrichs, Martin; Pufe, Wolfram; Schulze, Matthias
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016High endurance strategies for hafnium oxide based ferroelectric field effect transistor
Müller, J.; Polakowski, P.; Müller, S.; Mulaosmanovic, H.; Ocker, J.; Mikolajick, T.; Slesazeck, S.; Flachowsky, S.; Trentzsch, T.
Konferenzbeitrag
2016Hyperspectral image analysis for standoff trace detection using IR laser spectroscopy
Jarvis, J.P.; Fuchs, F.; Hugger, S.; Ostendorf, R.; Butschek, L.; Yang, Q.; Dreyhaupt, A.; Grahmann, J.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2016Identification of carbon-hydrogen complexes in n- and p-type silicon
Stübner, Ronald; Kolkovsky, Vladimir; Scheffler, Leopold; Weber, Jörg
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Impact of field cycling on HfO2 based non-volatile memory devices
Schroeder, U.; Pesic, M.; Schenk, T.; Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Ocker, J.; Richter, C.; Yurchuk, E.; Khullar, K.; Müller, J.; Polakowski, P.; Grimley, E.D.; LeBeau, J.M.; Flachowsky, S.; Jansen, S.; Kolodinski, S.; Bentum, R. van; Kersch, A.; Künneth, C.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2016Implementation und Konfiguration eines Linux-Systems auf ein Xilinx Zynq-SoC-System
Lehl, Dmitrij
: Grafe, Mario (Betreuer); Schönherr, J. (Betreuer)
Diplomarbeit
2016In situ bow change of Al-alloy MEMS micromirrors during 248-nm laser irradiation
Mai, Alexander; Bunce, Christopher; Hübner, René; Pahner, Daniel; Dauderstädt, Ulrike
Zeitschriftenaufsatz
2016The influence of adsorption kinetics on copper superfilling for dual damascene
Liske, Romy; Krause, Robert; Uhlig, Benjamin; Gerlich, Lukas; Bott, Sascha; Wislicenus, Marcus; Preusse, Axel
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of annealing in H atmosphere on the electrical properties of Al2O3 layers grown on p-type Si by the atomic layer deposition technique
Kolkovsky, V.; Stübner, R.; Langa, S.; Wende, U.; Kaiser, B.; Conrad, H.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Influence of the applied charge on the electro-chemical degradation in green phosphorescent organic light emitting diodes
de Moraes, I.R.; Scholz, S.; Leo, K.
Zeitschriftenaufsatz
2016Innovative Energieoptimierung. Forschungsprojekt soll Energiemanagement revolutionieren
Hörschelmann, L.; Reichelt, D.
Zeitschriftenaufsatz
2016Integration von Maschinendaten in eine Big-Data-Lösung am Beispiel von Halbleiter-Frontendtools
Schmidt, Martin
: Reichelt, Dirk (Betreuer); Gehrhardt, Ingolf (Betreuer)
Master Thesis
2016Der intelligente Mobilitätsassistent - Unterstützung der autonomen Mobilität älterer Menschen
Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas
Vortrag
2016Investigation of the influence of the sample topography on the measurement uncertainty of a scanning white light interferometer
Adapa, Bharath Reddy
: Skupsch, Christoph (Betr.); Lemmer, Uli (Betr.)
Master Thesis
2016IoT Future: Visible Light Communication/Light Fidelity
Noack, Alexander
Vortrag
2016La-doped ZrO2 based Back End of Line (BEoL) decoupling capacitors
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Drescher, Maximilian; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Poster
2016La-doped ZrO2 based BEoL decoupling capacitors
Weinreich, W.; Seidel, K.; Polakowski, P.; Drescher, M.; Gummenscheimer, A.; Nolan, M.G.; Cheng, L.; Triyoso, D.H.
Konferenzbeitrag
2016Laser-induced periodic surface structures of thin, complex multi-component films
Reif, J.; Varlamova, O.; Ratzke, M.; Uhlig, S.
Zeitschriftenaufsatz
2016Li-Fi communication for industrial real-time data links
Faulwaßer, Michael
Vortrag
2016Li-Fi interconnects for embedded designs in industry 4.0
Faulwaßer, Michael; Deicke, Frank; Ostermann, Robert; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2016Licht - eine Alternative zu Funk?
Deicke, Frank; Faulwaßer, Michael
Zeitschriftenaufsatz
2016Lichtausbreitung in einstellbaren Mikroringresonatoren
Martin, Anja
: Costache, Florenta (Betr.); Hartmann, Peter (Betr.)
Master Thesis
2016Liquid crystal waveguide switch for fast fiber optic sensor monitoring
Blasl, M.; Costache, F.
Konferenzbeitrag
2016Lithographische Techniken für die hochauflösende Zell-Mikroskopie: Strahlformung in der Biologie mit strukturierten UV-Schichten
Heber, Jörg; Rückerl, F.; Berndt, Dirk; Schmidt, Jan; Bellow, S.; Tivenez, J.-Y.; Knobbe, Jens; Shorte, S.L.; Wagner, Michael
Vortrag
2016Low-temperature microwave-based plasma oxidation of Ge and oxidation of silicon followed by plasma nitridation
Lerch, W.; Schick, T.; Sacher, N.; Kegel, W.; Niess, J.; Czernohorsky, M.; Riedel, S.
Konferenzbeitrag
2016LPCVD in-situ doped silicon for thermoelectric applications
Calvo, J.; Müller, M.; Sauer, B.; Drescher, M.; Schmidt, C.; Völklein, F.; Wagner-Reetz, M.
Vortrag
2016MEMS-mirror based trajectory resolution and precision enabled by two different piezoresistive sensor technologies
Grahmann, Jan; Dreyhaupt, André; Drabe, Christian; Schroedter, Richard; Kamenz, Jörg; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016MEMS-Wandler zum Interagieren mit einem Volumenstrom eines Fluids und Verfahren zum Herstellen desselben
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Langa, Sergiu
Patent
2016Micro scanning mirrors and enabling technology for applied optics
Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2016Migration from CAN to CAN FD - how to boost network performance
Hildebrandt, Ralf; Deicke, Frank
Konferenzbeitrag
2016Mikromechanische Vorrichtung mit einem aktiv biegbaren Element
Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Langa, Sergiu; Kaiser, Bert
Patent
2016Miniaturized NIR scanning grating spectrometer for use in mobile phones
Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2016Mobilitätsassistent "MOVEAS" - Unterstützung der Mobilität älterer Menschen
Weder, Andreas; Pietzsch, Marcus; Heinig, Andreas
Vortrag
2016MOEMS based scanning grating facilitates miniaturization and tuning speed enhancement of an EC-QCL towards a µEC-QCL for real time spectroscopic sensing
Grahmann, Jan
Konferenzbeitrag
2016Near-infrared grating spectrometer for mobile phone applications
Pügner, T.; Knobbe, J.; Grüger, H.
Zeitschriftenaufsatz
2016Novel applications of photonic micro sensor systems: Real-world examples from plastics recycling to burglary monitoring
Reinig, Peter
Vortrag
2016A novel electrostatic actuator class
Conrad, Holger; Kaiser, Bert; Gaudet, Matthieu; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Uhlig, Sebastian; Schimmanz, Klaus; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016A novel electrostatic micro-actuator class and its application potential for optical MEMS
Schenk, Harald; Conrad, Holger; Gaudet, Matthieu; Uhlig, Sebastian; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Stolz, Michael; Schimmanz, Klaus
Konferenzbeitrag
2016Patterning and Imaging with Electrons: Assessing Multi-Beam SEM for e-Beam Structured CMOS Samples
Garbowski, Tomasz; Panteleit, Friedhelm; Dellemann, Gregor; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Reich, Elke; Rudolph, Matthias; Steidel, Katja; Thrun, Xaver; Zeidler, Dirk
Konferenzbeitrag
2016Plano-convex variable focal length micro-lens with a polymer nanocomposite actuator
Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas; Costache, Florenta
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Predictive Maintenance mittels Big Data
Reichelt, Dirk
Vortrag
2016Prozessanalyse der Tetramethylammoniumhydroxid-Ätzung von Silizium zur Qualitätsverbesserung optischer Gitter
Benter, Sandra
: Schnabel, Hans-Dieter (Betr.); Kaden, Christiane (Betr.)
Bachelor Thesis
2016Raman tensor elements of β-Ga2O3
Kranert, C.; Sturm, C.; Schmidt-Grund, R.; Grundmann, M.
Zeitschriftenaufsatz
2016Reaktives Ionenätzen zur Mehrfachstrukturierung und Elektrodentrennung für Kondensatoranwendungen in der Halbleiterindustrie
Pätzold, Björn
: Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Rennekamp, Reinhold
Master Thesis
2016Real-time closed-loop control for micro mirrors with quasistatic comb drives
Schroedter, Richard; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus; Roth, Matthias; Hruschka, Clemens
Konferenzbeitrag
2016Recent advances and applications of external Cavity-QCLs towards hyperspectral imaging for standoff detection and real-time spectroscopic sensing of chemicals
Ostendorf, R.; Butschek, L.; Hugger, S.; Fuchs, F.; Yang, Q.; Jarvis, J.; Schilling, C.; Rattunde, M.; Merten, A.; Grahmann, J.; Boskovic, D.; Tybussek, T.; Rieblinger, K.; Wagner, J.
Zeitschriftenaufsatz
2016Requirements and challenges for MEMS on CMOS
Schulze, Matthias
Vortrag
2016RF simulation of the transmission path of a RFID backscatter transponder between reader and transponder antenna with ANSYS HFSS
Zhai, Wenqian
: Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer); Heiß, Michael (Betreuer)
Master Thesis
2016RFID meets OPC UA - wie man mittels Standardisierung Integrations-Aufwand verringert
Reichelt, Dirk
Vortrag
2016RFID-Sensor Transponder - "smarte" Integration mittels OPC-UA
Weder, Andreas; Reichelt, Dirk
Vortrag
2016RFID-Transponder mit einer integrierten Antennenanordnung
Heiß, Michael
Patent
2016RTLS based services by APP based indoor localization and navigation
Scheibner, Christian; Voß, Kim
Vortrag
2016Scanning optical MEMS with very high frequencies
Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Todt, Ulrich; Flemming, André; Sandner, Thilo; Grahmann, Jan
Vortrag
2016Schallwandlerarray mit gekoppelten Wandlern
Klemm, Markus; Elsäßer, Linus; Unamuno-Eguren, Anartz; Kupnik, Mario; Unger, Alexander
Patent
2016Simulation und Charakterisierung eines neuartigen mikromechanischen elektrostatischen Aktors
Kaiser, Bert
: Schenk, Harald (Betreuer); Bestehorn, Michael (Betreuer); Kupnik, Mario (Betreuer)
Dissertation
2016Size reduction of RFID tags by using an on-chip antenna
Heiß, Michael; Lischer, Sascha
Konferenzbeitrag
2016Smart walls with wireless humidity measurement
Heiß, Michael; Hildebrandt, Ralf; Scheibner, Christian
Konferenzbeitrag
2016Spatially resolved scatter measurement of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk
Zeitschriftenaufsatz
2016Spatio-angular illumination control using diffractive micromirror arrays
Heber, Jörg; Rückerl, Florian; Berndt, Dirk; Schmidt, Jan; Bellow, Sebastien; Tinevez, Jean-Yves; Knobbe, Jens; Shorte, Spencer; Wagner, Michael
Konferenzbeitrag
2016Status of ferroelectric HfO2 based 1T FeFET memories
Mikolajick, T.; Schroeder, U.; Slesazeck, S.; Müller, S.; Schenk, T.; Müller, J.
Vortrag
2016System design of programmable 4f phase modulation techniques for rapid intensity shaping - a conceptual comparison
Roth, Matthias; Heber, Jörg; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2016A thermally robust and thickness independent ferroelectric phase in laminated hafnium zirconium oxide
Riedel, S.; Polakowski, P.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2016Track & trace scenarios to increase shop floor flexibility and productivity
Reichelt, Dirk
Vortrag
2015A 24 GHz RFID system-on-a-chip with on-chip antenna, compatible to ISO 18000-6C / EPC C1G2
Lischer, Sascha; Heiß, Michael; Landwehr, Matthias; Fischer, Wolf-Joachim
Konferenzbeitrag
2015About stress in filled DRIE-trenches
Kaiser, Bert; Drabe, Christian; Graßhoff, Thomas; Conrad, Holger; Schenk, Harald; Grahmann, Jan
Zeitschriftenaufsatz
2015Advanced Wet-Etch-Only Process for Complete Tri-Layer Rework
Steinke, Philipp; Calvo, Jesús; Uhlig, Benjamin
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015All-reflective optical power zoom objectives
Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2015Alternative ULK integration approach using a sacrificial layer in a standard dual damascene flow
Uhlig, B.; Calvo, J.; Koch, J.; Thrun, X.; Liske, R.
Konferenzbeitrag
2015Analyses of boundary conditions for process integration of sensor elements in complex fibre-reinforced thermoplastic spacer structures
Möbius, T.; Krahl, M.; Helwig, M.; Adam, F.; Modler, N.; Starke, E.; Sauer, S.; Fischer, W.J.
Konferenzbeitrag
2015Ansteuerung eines MEMS-basierten Laserprojektionssystems mittels einer Xilinx Zynq-SoC Plattform
Nibio, Vincent
: Grafe, Mario (Betreuer)
Master Thesis
2015Antennenentwurf für Radio-Frequency Identification (RFID)-Sensor-Transponder
Heiß, Michael
Dissertation
2015Characterisation of environmental influences on a new class of nano-actuators
Gerntrup, Marie-Louise
: Conrad, Holger (Betreuer)
Bachelor Thesis
2015Co-evaporant induced crystallization of zinc phthalocyanine: C60 blends for solar cells
Holzmueller, Felix; Wilde, Lutz; Wölzl, Florian; Koerner, Christian; Vandewal, Koen; Leo, Karl
Zeitschriftenaufsatz
2015Cobalt advanced barrier metallization: A resistivity composition analysis
Wislicenus, M.; Liske, R.; Gerlich, L.; Vasilev, B.; Preusse, A.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Degradation mechanisms and reactions in organic light-emitting devices
Scholz, Sebastian; Kondakov, Denis; Lüssem, Björn; Leo, Karl
Zeitschriftenaufsatz
2015Development and characterization of a novel CoXN barrier film for future semiconductor technology nodes
Dhavamani, Abitha
: Uhlig, Benjamin (Betr.); Bartha, Johann Wolfgang (Gutachter)
Master Thesis
2015Development of a MEMS-based confocal laser scanning microscope for fluorescence imaging
Bechtel, Christin
Dissertation
2015Electric field and temperature scaling of polarization reversal in silicon doped hafnium oxide ferroelectric thin films
Zhou, D.Y.; Guan, Y.; Vopson, M.M.; Xu, J.; Liang, H.L.; Cao, F.; Dong, X.L.; Mueller, J.; Schenk, T.; Schroeder, U.
Zeitschriftenaufsatz
2015Entwicklung eines hybrid-integrierten Gitterspektrometers basierend auf einem mikro-opto-elektro-mechanischen Bauelement
Pügner, Tino
Dissertation
2015Entwicklung eines miniaturisierten Ionenfilters und Detektors für die potentielle Anwendung in Ionenmobilitätsspektrometern
Graf, Alexander
Dissertation
2015Entwicklung eines Systems und Optimierung von Treibersignalen zur Ansteuerung von Kapazitiven Mikromechanischen Ultraschallwandlern (CMUT)
Söberdt, Toni
: Budzier, Helmut (Betreuer); Klemm, Markus (Betreuer)
Diplomarbeit
2015Entwicklung von chipangepassten RFID-Transponder-Antennen
Reum, Thomas
: Michelfeit, Reinhold (Betr.); Heiß, Michael (Betr.)
Bachelor Thesis
2015Entwurf einer Mehrgrößenregelung zur hochdynamischen und präzisen zweidimensionalen Positionierung eines mikromechanischen Vektorscanners
Volkmann, Stefan
: Sandner, Thilo (Betreuer); Janschek, Klaus (Betreuer)
Diplomarbeit
2015Evidence of single domain switching in hafnium oxide based FeFETs: Enabler for multi-level FeFET memory cells
Mulaosmanovic, H.; Slesazeck, S.; Ocker, J.; Pesic, M.; Müller, S.; Flachowsky, S.; Müller, J.; Polakowski, J.; Paul, J.; Jansen, S.; Kolodinski, S.; Richter, C.; Piontek, S.; Schenk, T.; Kersch, A.; Künneth, C.; Bentum, R. van; Schröder, U.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2015Ferroelectric hafnium oxide based materials and devices: Assessment of current status and future prospects
Müller, J.; Polakowski, P.; Mueller, S.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2015Ferroelectricity and antiferroelectricity of doped thin HfO2-based films
Park, M.H.; Lee, Y.H.; Kim, H.J.; Kim, Y.J.; Moon, T.; Do Kim, K.; Müller, J.; Kersch, A.; Schroeder, U.; Mikolajick, T.; Hwang, C.S.
Zeitschriftenaufsatz
2015Ferroelectricity in undoped hafnium oxide
Polakowski, P.; Müller, J.
Zeitschriftenaufsatz
2015Ferroelektrizität in Hafniumdioxid und deren Anwendung in nicht-flüchtigen Halbleiterspeichern
Müller, Johannes
Dissertation
2015Fluorine interface treatments within the gate stack for defect passivation in 28 nm high-k metal gate technology
Drescher, M.; Naumann, A.; Sundqvist, J.; Erben, E.; Grass, C.; Trentzsch, M.; Lazarevic, F.; Leitsmann, R.; Plaenitz, P.
Zeitschriftenaufsatz
2015Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2014
 
Jahresbericht
2015Hybrid assembled micro scanner array with large aperture and their system integration for a 3D ToF laser camera
Sandner, T.; Baulig, C.; Grasshoff, T.; Wildenhain, M.; Schwarzenberg, M.; Dahlmann, H.-G.; Schwarzer, S.
Konferenzbeitrag
2015Impact of temperature on the efficiency of organic light emitting diodes
Moraes, I.R. de; Scholz, S.; Hermenau, M.; Tietze, M.L.; Schwab, T.; Hofmann, S.; Gather, M.C.; Leo, K.
Zeitschriftenaufsatz
2015Improved electrical behavior of ZrO2-based MIM structures by optimizing the O3 oxidation pulse time
Paskaleva, A.; Weinreich, W.; Bauer, A.J.; Lemberger, M.; Frey, L.
Zeitschriftenaufsatz
2015Integration challenges of ferroelectric hafnium oxide based embedded memory (Invited)
Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Paul, Jan; Riedel, Stefan; Hoffmann, Raik; Drescher, Maximilian; Slesazeck, Stefan; Müller, Stefan; Mulaosmanovic, Halid; Schröder, Uwe; Mikolajick, Thomas; Flachowsky, Stefan; Erben, Elke; Smith, Elliot; Binder, Robert; Triyoso, Dina H.; Metzger, Joachim; Kolodinski, Sabine
Konferenzbeitrag
2015Investigation of the reliability degradation of scaled SONOS memory transistors
Ocker, J.; Slesazeck, S.; Hoffmann, R.; Beyer, V.; Skouris, A.; Srowik, R.; Buschbeck, S.; Günther, S.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2015Ein ISO 18000-6C / EPC C1G2 kompatibles 24-GHz-RFID-Ein-Chip-System mit integrierter Antenne
Lischer, Sascha; Heiß, Michael
Konferenzbeitrag
2015Konzeption eines High-Density-Interconnect (HDI) Verdrahtungsträgers zur hochparallelen Signalübertragung und dessen Optimierung anhand von Simulationen
Müller, Franz
: Torlee, Hannes (Betr.); Binner, A. (Betr.); Michalke, N. (Betr.)
Diplomarbeit
2015Low temperature deposition of silicon nitride using Si3Cl8
Riedel, S.; Sundqvist, J.; Gumprecht, T.
Zeitschriftenaufsatz
2015MEMS scanner mirror based system for retina scanning and in eye projection
Woittennek, F.; Knobbe, J.; Pügner, T.; Dallmann, H.G.; Schelinski, U.; Grüger, H.
Konferenzbeitrag
2015Mikroelektromechanisches System zum Durchstimmen von Lasern
Schenk, Harald; Grahmann, Jan; Wagner, Joachim; Ostendorf, Ralf; Rattunde, Marcel
Patent
2015Modellgestützte flachheitsbasierte Folgeregelung von quasistatischen Mikroscannern
Schroedter, Richard; Roth, Matthias; Sandner, Thilo; Janschek, Klaus
Konferenzbeitrag
2015A Movement Resilient, Mobile, 24-Bit, Long-term ECG-Monitoring Platform
Weder, A.; Kircher, Marco; Noack, Alexander
Vortrag
2015Multi-Channel Beat Detector for a mobile ECG Monitoring Device
Noack, Alexander
Vortrag
2015Nano patterning at Fraunhofer IPMS-CNT: Fabrication of silicon master for NIL via e-beam direct write
Thrun, Xaver; Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Hohle, Christoph; Rudolph, Matthias; Seidel, Konrad
Poster
2015Next-generation ferroelectric memories based on FE-HfO2
Müller, S.; Slesazeck, S.; Mikolajick, T.; Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Flachowsky, S.
Konferenzbeitrag
2015On the voltage scaling potential of SONOS non-volatile memory transistors
Ocker, J.; Slesazeck, S.; Mikolajick, T.; Buschbeck, S.; Günther, S.; Yurchuk, E.; Hoffmann, R.; Beyer, V.
Konferenzbeitrag
2015On treatment of ultra-low-k SiCOH in CF4 plasmas: Correlation between the concentration of etching products and etching rate
Lang, N.; Zimmermann, S.; Zimmermann, H.; Macherius, U.; Uhlig, B.; Schaller, M.; Schulz, S.E.; Röpcke, J.
Zeitschriftenaufsatz
2015Optischer Empfänger für eine optische drahtlose Kommunikation
Deicke, Frank; Schneider, Tobias
Patent
2015Optischer Schweißelektroden-Überwachungssensor
Grüger, H.; Reinig, P.
Zeitschriftenaufsatz
2015Organosilane Downstream Plasma On Ultra Low-k Dielectrics: Comparing Repair With Post Etch Treatment
Calvo, J.; Steinke, P.; Wislicenus, M.; Gerlich, L.; Seidel, R.; Clauss, E.; Uhlig, B.
Konferenzbeitrag
2015Performance assessment of CMUT arrays based on electrical impedance test results
Klemm, Markus; Unamuno, Anartz; Elsäßer, Linus; Jeroch, Werner
Zeitschriftenaufsatz
2015Planare Mehrfrequenzantenne
Heiß, Michael
Patent
2015Polarization independent electro-optical waveguides with liquid crystals in isotropic phase
Costache, Florenta; Blasl, Martin; Bornhorst, Kirstin
Konferenzbeitrag
2015Polarization insensitive variable optical attenuator based on field induced waveguides with a liquid crystal core
Blasl, M.; Bornhorst, K.; Costache, F.
Konferenzbeitrag
2015Polymer energy harvester for powering wireless communication systems
Costache, Florenta; Schirrmann, Christian; Seifert, Ruben; Bornhorst, Kirstin; Pawlik, Boscij; Despang, Hans-Günter; Heinig, Andreas
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Preface
Boulmer-Leborgne, C.; Bulgakova, N.M.; Costache, F.; Pervolaraki, M.; Serna, R.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2015Pulse plating of manganese oxide nanoparticles on aligned MWCNT
Schneider, Michael; Weiser, Mathias; Schrötke, Carl; Meißner, Frank; Endler, Ingolf; Michaelis, Alexander
Zeitschriftenaufsatz
2015The Rayleigh law in silicon doped hafnium oxide ferroelectric thin films
Guan, Yan; Zhou, Dayu; Xu, Jin; Liu, Xiaohua; Cao, Fei; Dong, Xianlin; Müller, Johannes; Schenk, Tony; Schroeder, Uwe
Zeitschriftenaufsatz
2015Reactively sputtered hafnium oxide on silicon dioxide: Structural and electrical properties
Kolkovsky, V.; Lukat, K.; Kurth, E.; Kunath, C.
Zeitschriftenaufsatz
2015Recent trends in developments of MEMS and nanoelectronic sensors
Scholles, Michael
Konferenzbeitrag
2015Removable Identification Technology to Differentiate Food Contact PET in Mixed Waste Streams: Interim Report
Pilon, Laura; Stewart, Angela; Bahia, Raminder; Hintschich, Susanne; Willner, Claudia; Eder, Hans
Bericht
2015Resonant enhancement of damping within the free layer of a microscale magnetic tunnel valve
Keatley, P.S.; Kruglyak, V.V.; Neudert, A.; Hicken, R.J.; Poimanov, V.D.; Childress, J.R.; Katine, J.A.
Zeitschriftenaufsatz
2015Scaling and optimization of ferroelectric hafnium oxide for memory applications and beyond
Müller, Johannes; Riedel, Stefan; Polakowski, Patrick
Vortrag
2015Self-organized surface structures with ultrafast white-light: First investigation of LIPSS with supercontinuum
Uhlig, S.
Master Thesis
2015Self-Organizing Mobile Multi-Sensor Surveillance Platform for Emergency Management Situations
Noack, Alexander; Weder, Andreas; Heinig, Andreas
Vortrag
2015Sensitivity analysis for high accuracy proximity effect correction
Thrun, Xaver; Browning, Clyde; Choi, Kang-Hoon; Figueiro, Thiago; Hohle, Christoph; Saib, Mohamed; Schiavone, Patrick; Bartha, Johann W.
Konferenzbeitrag
2015A small-gap electrostatic micro-actuator for large deflections
Conrad, Holger; Schenk, Harald; Kaiser, Bert; Langa, Sergiu; Gaudet, Matthieu; Schimmanz, Klaus; Stolz, Michael; Lenz, Miriam
Zeitschriftenaufsatz
2015Spatially resolved contrast measurement of diffractive micromirror arrays
Sicker, Cornelius; Heber, Jörg; Berndt, Dirk; Rückerl, Florian; Tinevez, Jean-Yves; Shorte, Spencer; Wagner, Michael; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2015Spatio-angular light control in microscopes using micro mirror arrays
Rückerl, F.; Bellow, S.; Berndt, Dirk; Tinevez, J.-Y.; Heber, Jörg; Wagner, Michael; Shorte, S.
Konferenzbeitrag
2015Stabilizing the ferroelectric phase in doped hafnium oxide
Hoffmann, M.; Schroeder, U.; Schenk, T.; Shimizu, T.; Funakubo, H.; Sakata, O.; Pohl, D.; Drescher, M.; Adelmann, C.; Materlik, R.; Kersch, A.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2015Steerable patterned OLED backlight for autostereoscopic display application
Vogel, U.; Fehse, K.; Wartenberg, P.; Knobbe, J.; Scholles, M.; Richter, B.; Hild, O.
Konferenzbeitrag
2015Stress controlled CMUT fabrication based on a CMOS compatible sacrificial release process
Elsäßer, Linus; Friedrichs, Martin; Klemm, Markus; Unamuno, Anartz
Konferenzbeitrag
2015Structural and Dielectric Properties of Subnanometric Laminates of Binary Oxides
Kahouli, A.; Lebedev, O.; Ben Elbahri, M.; Mercey, B.; Prellier, W.; Riedel, S.; Czernohorsky, M.; Lallemand, F.; Bunel, C.; Lüders, U.
Zeitschriftenaufsatz
2015Theory of co-adsorption and its application to copper superfilling
Liske, Romy; Krause, Robert; Uhlig, Benjamin; Gerlich, Lukas; Bott, Sascha; Wislicenus, Marcus; Preusse, Axel
Vortrag
2015Ultra-Thin high density capacitors for advanced packaging solutions
Seidel, K.; Böttcher, M.; Dobritz, S.; Czernohorsky, M.; Riedel, S.; Weinreich, W.
Konferenzbeitrag
2015Untersuchung des Korrosionsverhaltens von kobalthaltigen Dünnschichten für den Einsatz in der Halbleitertechnologie
Nagy, Nicole
: Kalies, Grit (Betr.); Uhlig, Benjamin (Betr.)
Master Thesis
2015Untersuchungen an Hard- und Firmware für ein fehlertolerantes Sensornetzwerk, welches in faserverstärkte Verbundwerkstoffe integrierbar ist
Bartl, Clemens
: Heinig, Andreas (Betr.); Fischer, Wolf-Joachim (Betr.)
Diplomarbeit
2015Verfahren zum Herstellen eines kapazitiven Ultraschallwandlers und Anordnung einer Mehrzahl von kapazitiven Ultraschallwandlern
Unamuno-Eguren, Anartz; Friedrichs, Martin
Patent
2015Verfahren, Vorrichtung und Computerprogrammprodukt zum Bestimmen eines isoelektrischen Punkts
Noack, Alexander; Poll, Rüdiger
Patent
2015Verification of E-Beam direct write integration into 28nm BEOL SRAM technology
Hohle, Christoph; Choi, Kang-Hoon; Gutsch, Manuela; Hanisch, Norbert; Seidel, Robert; Steidel, Katja; Thrun, Xaver; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2015Vorrichtung mit einem mikromechanischen Bauelement
Pügner, Tino; Knobbe, Jens
Patent
2015Wafer level vacuum packaging of micro-mirrors with buried signal lines
Langa, S.; Drabe, C.; Herrmann, A.; Ludewig, T.; Rieck, A.; Flemming, A.; Kaden, C.
Zeitschriftenaufsatz
2015Widely tuneable quantum cascade lasers for spectroscopic sensing
Wagner, J.; Ostendorf, R.; Grahmann, Jan; Merten, André; Hugger, S.; Jarvis, J.P.; Fuchs, F.; Boskovic, D.; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2015Zuverlässige Zugangskontrolle durch Authentifizierung mittels MEMS basiertem Retinascanner mit zusätzlicher Projektionsoption
Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Dallmann, Hans-Georg; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
201410 Gbit/s bidirectional optical wireless communication module for docking devices
Faulwaßer, M.; Deicke, F.; Schneider, T.
Konferenzbeitrag
2014ALD Ta2O5 and Hf-doped Ta2O5 for BEOL compatible MIM
Triyoso, D.H.; Weinreich, W.; Seidel, K.; Nolan, M.G.; Polakowski, P.; Utess, D.; Ohsiek, S.; Dittmar, K.; Weisheit, M.; Liebau, M.; Fox, R.
Konferenzbeitrag
2014ALD ZrO2 processes for BEoL device applications
Weinreich, Wenke; Seidel, Konrad; Polakowski, Patrick; Riedel, Stefan; Wilde, Lutz; Sundqvist, Jonas; Triyoso, Dina H.; Nolan, Mark G.
Konferenzbeitrag
2014Aluminium based micro mirrors exposed to UV laser light - in situ performance and degradation
Mai, Alexander
Dissertation
2014Benefits and limitations by replacing high-speed data links with a modern optical wireless solution
Faulwaßer, Michael; Deicke, Frank; Schneider, Tobias
Konferenzbeitrag
2014Characterization of a chloride-based titanium nitride atomic layer deposition process for back-end-of-line devices
Neuber, Markus
: Weinreich, Wenke (Betreuer)
Master Thesis
2014Charakterisierung eines Digitalen Holographischen Mikroskops zur Analyse mikro-mechanischer Aktoren
Epperlein, Nadja
: Schenk, Harald (Betreuer)
Master Thesis
2014Chewing after stress: Psychosocial stress influences chewing frequency, chewing efficacy, and appetite
Petrowski, Katja; Wintermann, Gloria-Beatrice; Joraschky, Peter; Päßler, Sebastian
Zeitschriftenaufsatz
2014Claritas™ - a unique and robust endpoint technology for silicon drie processes with open area down to 0.05%
Ansell, O.; Barnett, R.; Haase, T.; Xie, L.; Vargo, S.; Thomas, D.
Konferenzbeitrag
2014CMP process development for Cobalt liner integration at the 28-nm-node
Koch, J.; Bott, S.; Wislicenus, M.; Krause, R.; Gerlich, L.; Uhlig, B.; Liske, R.; Vasilev, B.; Preusse, A.
Konferenzbeitrag
2014Cobalt advanced barrier metallization: A resist composition analysis
Wislicenus, Marcus; Liske, Romy; Gerlich, Lukas; Vasilev, Boris; Preusse, Axel
Konferenzbeitrag
2014Combining external cavity quantum cascade lasers and MOEMS technology: An approach for miniaturization and fast wavelength scanning
Ambacher, O.; Ostendorf, R.; Bleh, D.; Merten, A.; Grahmann, J.; Schmidt, R.; Kunzer, M.; Hugger, S.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2014Compact optical position feedback scheme for MOEMS mirrors
Tortschanoff, A.; Baumgart, M.; Holzmann, D.; Lenzhofer, M.; Sandner, T.; Kenda, A.
Zeitschriftenaufsatz
2014Deeper insight with MEMS based illumination
Skupsch, Christoph; Heber, Jörg; Berndt, Dirk; Wagner, Michael; Rückerl, Florian; Tinevez, Jean-Yves; Shorte, Spencer
Vortrag
2014Depth-resolved transport measurements and atom-probe tomography of heterogeneous, superconducting Ge:Ga films
Heera, V.; Fiedler, J.; Naumann, M.; Skrotzki, R.; Kölling, S.; Wilde, L.; Herrmannsdörfer, T.; Skorupa, W.; Wosnitza, J.; Helm, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Design and fabrication of a tunable two-fluid micro-lens device with a large deflection polymer actuator
Schirrmann, Christian; Costache, Florenta; Bornhorst, Kirstin; Pawlik, Boscij; Rieck, Andreas; Schenk, Harald
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Design of a MEMS-based retina scanning system for biometric authentication
Woittennek, Franziska; Knobbe, Jens; Pügner, Tino; Schelinski, Uwe; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2014Designoptimierung und Charakterisierung eines mittels Elektronenstrahldirektschreibens hergestellten Siliziumstempels zur Fertigung von plasmonisch aktiven Nanostrukturen
Kaiser, Michael
: Hohle, Christoph (Betreuer); Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer)
Diplomarbeit
2014Development, characterization and application of compact spectrometers based on MEMS with in-plane capacitive drives
Kenda, A.; Kraft, M.; Tortschanoff, A.; Scherf, W.; Sandner, T.; Schenk, H.; Lüttjohann, S.; Simon, A.
Konferenzbeitrag
2014Direct UV-imprinting of hybrid-polymer photonic microring resonators and their characterization
Kirchner, R.; Finn, A.; Landgraf, R.; Nueske, L.; Teng, L.C.; Vogler, M.; Fischer, W.-J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Doped hafnium oxide - an enabler for ferroelectric field effect transistors
Mikolajick, T.; Müller, S.; Schenk, T.; Yurchuk, E.; Slesazeck, S.; Schröder, U.; Flachowsky, S.; Bentum, R. van; Kolodinski, S.; Polakowski, P.; Müller, J.
Konferenzbeitrag
2014Drahtlos messen ohne Batterie
Fischer, Wolf-Joachim
Zeitschriftenaufsatz
2014ECG-Home Project
Noack, Alexander; Göricke, Rico
Poster
2014Effective corner rounding correction in the data preparation of electron beam lithography
Choi, Kang-Hoon; Browning, Clyde; Figueiro, Thiago; Hohle, Christoph; Kaiser, Michael; Schiavone, Patrick
Konferenzbeitrag
2014Engineering blue fluorescent bulk emitters for OLEDs: Triplet harvesting by green phosphors
Hofmann, S.; Hummert, M.; Scholz, R.; Luschtinetz, R.; Murawski, C.; Will, P.-A.; Hintschich, S.I.; Alex, J.; Jankus, V.; Monkman, A.P.; Lüssem, B.; Leo, K.; Gather, M.C.
Zeitschriftenaufsatz
2014Entwicklung eines VHDL-Moduls für die Ansteuerung und Regelung quasistatischer Scanner
Schütz, Sandra
: Schwarzenberg, Markus (Betreuer)
Diplomarbeit
2014Entwicklung und Charakterisierung von Ansteuerprinzipien für Capactive Micromachined Ultrasonic Transducers (CMUT)
Blocher, Philipp
: Unamuno, Anartz (Betreuer)
Master Thesis
2014Entwicklung von Bildaufnahme und -verarbeitung für eine multispektrale Kamera
Grafe, Mario
: Pügner, Tino (Betr.); Knobbe, Jens (Betr.)
Master Thesis
2014Entwicklung von Bildverarbeitungsalgorithmen zur Bewertung der Fitness von Banknoten
Kleinschmidt, Sebastian
: Grafe, Mario (Betreuer)
Diplomarbeit
2014Entwicklung von Hafniumoxid ALD-Prozessen mit alternativen Oxidationsmitteln
Paulack, Stephan
: Naumann, Andreas (Betreuer)
Bachelor Thesis
2014Entwurf, Systemkonzeptionierung und Realisierung einer Ansteuerung für 2D-Mikroscannerspiegel
Barth, Robert
: Schwarzenberg, Markus (Betreuer)
Master Thesis
2014Extension of frequency modulated Doppler global velocimetry for the investigation of unsteady spray flows
Fischer, A.; Wilke, U.; Schlüßler, R.; Haufe, D.; Sandner, T.; Czarske, J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Fast Nonlinear CMUT Simulation Model for Pull-In and Dynamic Fluid Coupled Deflection Analysis
Klemm, Markus; Unamuno, Anartz
Vortrag
2014Ferroelectric and antiferroelectric properties of Si-doped HfO2 thin films
Zhou, D.Y.; Xu, J.; Müller, J.; Schröder, U.
Zeitschriftenaufsatz
2014Ferroelectric deep trench capacitors based on Al:HfO2 for 3D nonvolatile memory applications
Polakowski, Patrick; Riedel, Stefan; Weinreich, Wenke; Rudolf, M.; Sundqvist, Jonas; Seidel, Konrad; Müller, Johannes
Konferenzbeitrag
2014Ferroelectric hafnium oxide based materials and devices
Müller, Johannes; Polakowski, Patrick; Müller, Stefan; Mikolajick, Thomas
Konferenzbeitrag
2014Ferroelectric hafnium oxide: A game changer to FRAM?
Müller, J.; Polakowski, P.; Riedel, S.; Mueller, S.; Yurchuk, E.; Mikolajick, T.
Konferenzbeitrag
2014Ferroelectricity in Si-doped HfO2 revealed: A binary lead-free ferroelectric
Martin, D.; Müller, J.; Schenk, T.; Arruda, T.M.; Kumar, A.; Strelcov, E.; Yurchuk, E.; Müller, S.; Pohl, D.; Schröder, U.; Kalinin, S.V.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2014First-principles study of oxygen and aluminum defects in beta-Si3N4: Compensation and charge trapping
Grillo, M.E.; Elliott, S.D.; Rodríguez, J.; Añez, R.; Coll, D.S.; Suhane, A.; Breuil, L.; Arreghini, A.; Degraeve, R.; Shariq, A.; Beyer, V.; Czernohorsky, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Food intake monitoring: Automated chew event detection in chewing sounds
Päßler, S.; Fischer, W.-J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Fraunhofer-Institut für Photonische Mikrosysteme. Jahresbericht 2013
 
Jahresbericht
2014Graphen - Eigenschaften und mögliche Anwendungen
Beyer, Beatrice
Konferenzbeitrag
2014Herstellungsverfahren
Langa, Sergiu; Drabe, Christian; Sandner, Thilo
Patent
2014High-speed one-dimensional spatial light modulator for Laser Direct Imaging and other patterning applications
Schmidt, Jan-Uwe; Dauderstädt, Ulrike; Dürr, Peter; Friedrichs, Martin; Hughes, Thomas; Ludewig, Thomas; Rudloff, Dirk; Schwaten, Tino; Trenkler, Daniela; Wagner, Michael; Wullinger, Ingo; Bergström, Andreas; Björnängen, Peter; Jonsson, Fredrik; Karlin, Tord; Rönnholm, Peter; Sandström, Torbjörn
Konferenzbeitrag
2014Impact of different dopants on the switching properties of ferroelectric hafniumoxide
Schroeder, U.; Yurchuk, E.; Müller, J.; Martin, D.; Schenk, T.; Polakowski, P.; Adelmann, C.; Popovici, M.I.; Kalinin, S.V.; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2014Impact of scaling on the performance of HfO2-based ferroelectric field effect transistors
Yurchuk, E.; Müller, J.; Paul, J.; Schlösser, T.; Martin, D.; Hoffmann, R.; Müller, S.; Slesazeck, S.; Schroeder, U.; Boschke, R.; Bentum, R. van; Mikolajick, T.
Zeitschriftenaufsatz
2014Impact of the apex of an elongated dielectric tip upon its light absorption properties
Bogdanowicz, J.; Gilbert, M.; Koelling, S.; Vandervorst, W.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Influence of nitrogen trap states on the electronic properties of high-k metal gate transistors
Ocker, J.; Kupke, S.; Slesazeck, S.; Mikolajick, T.; Erben, E.; Drescher, M.; Naumann, A.; Lazarevic, F.; Leitsmann, R.
Konferenzbeitrag
2014Innovative and water based stripping approach for thick and bulk photoresists
Rudolph, M.; Schumann, D.; Thrun, X.; Esche, S.; Hohle, C.
Konferenzbeitrag
2014Integration of e-beam direct write in BEOL processes of 28nm SRAM technology node using mix and match
Gutsch, Manuela; Choi, Kang-Hoon; Hanisch, Norbert; Hohle, Christoph; Steidel, Katja; Thrun, Xaver; Seidel, Robert; Werner, Thomas
Konferenzbeitrag
2014Introduction of an innovative water based photoresist stripping process using intelligent fluids
Rudolph, Matthias; Felten, Peter; Thrun, Xaver; Schumann, Dirk; Esche, Silvio; Hohle, Christoph
Konferenzbeitrag
2014Jerk and current limited flatness-based open loop control of foveation scanning electrostatic micromirrors
Schroedter, Richard; Janschek, Klaus; Sandner, Thilo
Konferenzbeitrag
2014Large field of view MEMS-based confocal laser scanning microscope for fluorescence imaging
Bechtel, Christin; Knobbe, Jens; Grüger, Heinrich; Lakner, Hubert
Zeitschriftenaufsatz
2014MEMS-based miniature near-infrared spectrometer for application in environmental and food monitoring
Hintschich, Susanne; Pügner, Tino; Knobbe, Jens; Schröder, Julia; Reinig, Peter; Grüger, Heinrich; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Metasurfaces for colour printing
Zapata-Rodríguez, C.J.; Miret, J.J.; Rodríguez-Cantó, P.; Muñoz-Matutano, G.; Martínez-Pastor, J.P.; Abargues, R.; Pastor, D.; Kaiser, M.; Hohle, C.
Konferenzbeitrag
2014Micro mirrors for high-speed laser deflection and patterning
Schenk, Harald; Grahmann, Jan; Sandner, Thilo; Wagner, Michael; Dauderstädt, Ulrike; Schmidt, Jan-Uwe
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2014Micro-scanning mirrors for high-power laser applications in laser surgery
Sandner, Thilo; Kimme, Simon; Grasshoff, Thomas; Todt, Ulrich; Graf, Alexander; Tulea, Christian; Schenk, Harald
Konferenzbeitrag
2014Multi-Level MOEMS structures for spatial light modulators
Mirabella, Simone; Friedrichs, Martin; Pufe, Wolfram; List, Matthias
Konferenzbeitrag
2014OFETs with sub-100 nm channel length fabricated by wafer-scale NIL and comprehensive DC and AC characterizations
Teng, L.; Finn, A.; Plötner, M.; Shi, H.; Fischer, W.-J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Optical design of MOEMS-based micro-mechatronic modules for applications in spectroscopy
Tortschanoff, A.; Kremer, M.; Sandner, T.; Kenda, A.
Konferenzbeitrag
2014Optical position detection for MOEMS scanner mirrors with arbitrary trajectories
Tortschanoff, Andreas; Baumgart, Marcus; Holzmann, Dominik; Mayer, Christoph; Sandner, Thilo; Kenda, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Origin of the endurance degradation in the novel HfO2-based 1T ferroelectric non-volatile memories
Yurchuk, E.; Mueller, S.; Martin, D.; Slesazeck, S.; Schroeder, U.; Mikolajick, T.; Müller, J.; Paul, J.; Hoffmann, R.; Sundqvist, J.; Schlösser, T.; Boschke, R.; Bentum, R. van; Trentzsch, M.
Konferenzbeitrag
2014Phase separation in Zr56-xGdxCo 28Al16 metallic glasses (0 ⩽ x ⩽ 20)
Han, J.H.; Mattern, N.; Vainio, U.; Shariq, A.; Sohn, S.W.; Kim, D.H.; Eckert, J.
Zeitschriftenaufsatz
2014Photoactivation and optogenetics with micro mirror enhanced illumination
Rückerl, Florian; Berndt, Dirk; Heber, Jörg; Shorte, Spencer
Konferenzbeitrag
2014Post etch wet clean processes for advanced technology nodes
Uhlig, Benjamin; Steinke, Philipp; Liske, Romy; Ott, Andreas; Mieth, Oliver
Konferenzbeitrag
2014Quasi-static microscanner with linearized scanning for an adaptive 3D laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Konferenzbeitrag
2014Quasistatic microscanner with linearized scanning for an adaptive three-dimensional laser camera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schwarzenberg, M.; Schroedter, R.; Schenk, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014Quasistatisch-resonanter Mikroscanner zur adaptiven Auflösungssteuerung einer 3D ToF-Kamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schrödter, R.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Quasistatisch-resonanter Mikroscanner zur adaptiven Auflösungssteuerung einer 3D ToF-Kamera
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Schrödter, R.; Schwarzenberg, M.
Zeitschriftenaufsatz
2014Realization of CMUT based ultrasonic sensor systems
Unamuno, Anartz; Klemm, Markus; Grüger, Heinrich
Konferenzbeitrag
2014RFID-Transponder, der passiv betreibbar ist
Holland, Hans-Jürgen; Heiß, Michael; Fischer, Wolf-Joachim
Patent
2014Role of the dielectric for the charging dynamics of the dielectric/barrier interface in AlGaN/GaN based metal-insulator-semiconductor structures under forward gate bias stress
Lagger, Peter; Steinschifter, P.; Reiner, M.; Stadtmüller, M.; Denifl, G.; Naumann, Andreas; Müller, Johannes; Wilde, Lutz; Sundqvist, Jonas; Pogany, D.
Zeitschriftenaufsatz
2014Rolle-zu-Rolle Fertigung von TCM auf flexiblen Substraten - Chancen und Herausforderungen
Brückner, Jacqueline
Konferenzbeitrag
2014Simulation model for CMUT with rapid structure fluid interaction in time domain
Klemm, Markus; Unamuno, Anartz
Konferenzbeitrag
2014Strain-enhanced nanocomposites of electrostrictive polymers and high-k nanofillers for micro-actuation applications
Pawlik, Boscij; Schirrmann, Christian; Bornhorst, Kirstin; Costache, Florenta
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2014Thin film growth of Fe-based superconductors: From fundamental properties to functional devices
Haindl, S.; Kidszun, M.; Oswald, S.; Hess, C.; Büchner, B.; Kölling, S.; Wilde, L.; Thersleff, T.; Yurchenko, V.V.; Jourdan, M.; Hiramatsu, H.; Hosono, H.
Zeitschriftenaufsatz
2014Time domain resonance frequency measurement of inductively coupled resonant sensors using the matrix pencil method
Sauer, S.; Fischer, W.-J.
Konferenzbeitrag
2014Translatory MOEMS actuator and system integration for miniaturized Fourier transform spectrometers
Sandner, T.; Grasshoff, T.; Gaumont, E.; Schenk, H.; Kenda, A.
Zeitschriftenaufsatz
2014Tunable external cavity quantum cascade lasers (EC-QCL): An application field for MOEMS based scanning gratings
Grahmann, Jan; Merten, André; Ostendorf, Ralf; Fontenot, Michael; Bleh, Daniela; Schenk, Harald; Wagner, Hans-Joachim
Konferenzbeitrag
2014Understanding the materials, electrical and reliability impact of Al-addition to ZrO2 for BEOL compatible MIM capacitors
Triyoso, D.H.; Chu, S.; Seidel, K.; Weinreich, W.; Yiang, K.-Y.; Nolan, M.G.; Brunco, D.P.; Rinderknecht, J.; Utess, D.; Kyono, C.; Miller, R.; Park, J.; Cheng, L.; Liebau, M.; Lomtscher, P.; Fox, R.
Konferenzbeitrag
2014Variable Optical Power Splitter with Field-Induced Waveguides in Liquid Crystals Paranematic Phase
Costache, Florenta; Hartwig, Haldor; Bornhorst, Kirstin; Blasl, Martin
Konferenzbeitrag
2014Ein Verfahren für die Synthese von Pass-Transistor-Schaltungen mit niedrigem Energieverbrauch
Zimmerling, Martin
: Fischer, Wolf-Joachim (Betreuer)
Dissertation
2014Wave sequence based identification of sinus rhythm beats on a microcontroller
Noack, Alexander; Poll, Rüdiger; Fischer, Wolf-Joachim
Konferenzbeitrag
2014A wireless passive humidity threshold monitoring solution based on a permanent resistance change
Sauer, S.; Fischer, W.-J.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag