Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019AlScN: A III-V semiconductor based ferroelectric
Fichtner, S.; Wolff, N.; Lofink, F.; Kienle, L.; Wagner, B.
Journal Article
2019Exploring the Causes of Power-Converter Failure in Wind Turbines based on Comprehensive Field-Data and Damage Analysis
Fischer, Katharina; Pelka, Karoline; Puls, Sebastian; Poech, Max-Hermann; Mertens, Axel; Bartschat, Arne; Tegtmeier, Bernd; Broer, Christian; Wenske, Jan
Journal Article
2019Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2018
 
Annual Report
2019Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources. Erratum
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Journal Article
2018Analyseeinrichtung
Janes, Joachim
Patent
2018Analysis of the mechanical vibration and acoustic behavior of a piezoelectric MEMS microspeaker
Männchen, A.; Beer, D.; Niekiel, F.; Nowak, J.; Stoppel, F.; Wagner, B.
Conference Paper
2018Antennenvorrichtung
Ebberg, Alfred; Hofmann, Ulrich; Schernus, Winfried; Senger, Frank
Patent
2018Bilderzeugungseinrichtung
Giese, Thorsten; Janes, Joachim
Patent
2018Coupling between vortices and antivortices in a cross-tie wall studied by time-resolved SEMPA
Kloodt-Twesten, F.; Kuhrau, S.; Staeck, P.; Cavicchia, D.R.; Lofink, F.; Oepen, H.P.; Frömter, R.
Journal Article
2018Energy harvesting and conversion - applications of piezoelectric transformer and transducer MEMS
Radecker, Matthias; Kunzmann, Jan; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Yang, Yujia
Presentation
2018Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2017
 
Annual Report
2018In-Ear Headphone System with Piezoelectric MEMs Driver
Männchen, Andreas; Stoppel, Fabian; Beer, Daniel; Niekiel, Florian; Wagner, Bernhard
Conference Paper
2018Investigations of copper wire bonding capability on plasma based additive copper metallizations
Hensel, A.; Kohlmann von Platen, K.; Franke, J.
Conference Paper
2018Magnetic films for electromagnetic actuation in MEMS switches
Oliveira Hansen, R. de; Matefi-Tempfli, M.; Safonovs, R.; Adam, J.; Chemnitz, S.; Reimer, T.; Wagner, B.; Benecke, W.; Matefi-Tempfli, S.
Journal Article
2018Micro-cantilevers for optical sensing of biogenic amines
Wang, Y.; Costa, C.A.B.; Sobolewska, E.K.; Fiutowski, J.; Brehm, R.; Albers, J.; Nebling, E.; Lofink, F.; Wagner, B.; Benecke, W.; Rubahn, H.-G.; Oliveira Hansen, R. de
Journal Article
2018Mundstück mit einem Kanal
Blohm, Lars; Knieling, Thomas; Nebling, Eric
Patent
2018New integrated full-range MEMS speaker for in-ear applications
Stoppel, Fabian; Männchen, Andreas; Niekiel, Florian; Beer, Daniel; Giese, Thorsten; Wagner, Bernhard
Conference Paper
2018Novel Type of MEMS Loudspeaker Featuring Membrane-Less Two-Way Sound Generation
Stoppel, F.; Niekiel, F.; Giese, T.; Gu-Stoppel, S.; Männchen, A.; Nowak, J.; Beer, D.; Wagner, B.
Conference Paper
2018Omnidirektionale Beleuchtungsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs
Janes, Joachim
Patent
2018Pixelated phosphors for high-resolution and high-contrast white light sources
Steudel, F.; Lisec, T.; Nolte, P.W.; Hofmann, U.; Wantoch, T. von; Lofink, F.; Schweizer, S.
Journal Article
2018Pizoelektrischer Stapelaktuator und Verfahren zur Herstellung desselben
Bandorf, Ralf; Kaden, Dirk; Ortner, Kai; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2018Projektionsvorrichtung und Verfahren zum Abtasten eines Raumwinkelbereichs mit einem Laserstrahl
Janes, Joachim
Patent
2018Silicon lens arrays for wafer level packaging of IR-sensors
Kulkarni, A.; Malaurie, P.; Stenchly, V.; Quenzer, H.J.; Laske, N.; Dudde, R.
Conference Paper
2018Technology and electrical characterization of MemFlash cells for neuromorphic applications
Winterfeld, H.; Ziegler, M.; Hanssen, H.; Friedrich, D.; Benecke, W.; Kohlstedt, H.
Journal Article
2018Ultra-thin TiO2 films by atomic layer deposition and surface functionalization with Au nanodots for sensing applications
Lupan, O.; Postica, V.; Ababii, N.; Reimer, T.; Shree, S.; Hoppe, M.; Polonskyi, O.; Sontea, V.; Chemnitz, S.; Faupel, F.; Adelung, R.
Journal Article
2018Verfahren zum Herstellen einer magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Verfahren zum Herstellen eines Hohlraums mit poröser Struktur
Lisec, Thomas; Lofink, Fabian
Patent
2018Wärmeisoliertes Mikrosystem
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans-Joachim
Patent
2017Additive copper metallization of semiconductors for enabling a copper wire bonding process
Hensel, A.; Mueller, M.; Franke, J.; Kohlmann von Platen, K.
Conference Paper
2017Domain Walls in Bent Nanowires
Lofink, F.; Philippi-Kobs, A.; Azad, M.R.R.; Hankemeier, S.; Hoffmann, G.; Frömter, R.; Oepen, H.P.
Journal Article
2017Fault detection for heating systems using tensor decompositions of multi-linear models
Sewe, E.; Pangalos, G.; Lichtenberg, G.
Conference Paper
2017Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2016
 
Annual Report
2017Herstellung neuartiger Mikrostrukturen für MEMS-Anwendungen durch Pulververfestigung mittels ALD
Chemnitz, S.; Reimer, T.; Lisec, T.
Conference Paper
2017High temperature investigation on a nickel-tin transient liquid-phase wafer bonding up to 600 °C
Budhiman, N.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Journal Article
2017Identifying and overcoming the interface originating c-axis instability in highly Sc enhanced AlN for piezoelectric micro-electromechanical systems
Fichtner, S.; Wolff, N.; Krishnamurthy, G.; Petraru, A.; Bohse, S.; Lofink, F.; Chemnitz, S.; Kohlstedt, H.; Kienle, L.; Wagner, B.
Journal Article
2017Magnetically driven energy-harvester with monolithically integrated high-energy-density magnets
Lofink, F.; Tolstrup, V.; Lisec, T.; Reimer, T.; Piorra, A.; Meyners, D.; Quandt, E.; Wagner, B.
Conference Paper
2017MEMS switch with prolonged lifetime under hot switching conditions based on gold as contact material
Lisec, T.; Stoppel, F.; Kaden, D.; Heinrich, F.; Neumann, A.; Wagner, B.
Conference Paper
2017Metallographische Untersuchung von Brandschäden in der Elektronik
Reiter, K.; Puls, S.
Journal Article
2017Mikromechanisches Bauteil und Verfahren zur Herstellung eines piezoelektrischen mikromechanischen Bauteils
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich; Kaden, Dirk
Patent
2017Miniaturization of power converters by piezoelectric transformers - chances and challenges
Radecker, Matthias; Quenzer, Hans-Joachim; Gu-Stoppel, Shan-Shan; Reich, Torsten; Buhl, René; Yang, Yujia
Presentation
2017Modular packaging concept for MEMS and MOEMS
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Conference Paper
2017MoniShirt - large area printed piezoelectric sensors for body motion tracking
Varman, Ram Kumar Raja Mahendra; Knieling, Thomas; Grunemann, Timo; Domann, Gerhard
Conference Paper
2017Nanodiamond resonators fabricated on 8'' Si substrates using adhesive wafer bonding
Lebedev, Vadim; Lisec, Thomas; Yoshikawa, Taro; Reusch, Markus; Iankov, Dimitre; Giese, Christian; Zukauskaite, Agne; Cimalla, Volker; Ambacher, Oliver
Journal Article
2017A Novel Fabrication Technique for MEMS Based on Agglomeration of Powder by ALD
Lisec, T.; Reimer, T.; Knez, M.; Chemnitz, S.; Schulz-Walsemann, A.V.; Kulkarni, A.
Journal Article
2017Novel membrane-less two-way MEMS loudspeaker based on piezoelectric dual-concentric actuators
Stoppel, F.; Eisermann, C.; Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Giese, T.; Wagner, B.
Conference Paper
2017A novel technology for MEMS based on the agglomeration of powder by atomic layer deposition
Lisec, T.; Chemnitz, S.; Lofink, F.; Reimer, T.; Kulkarni, A.; Piechotta, G.; Wagner, B.
Conference Paper
2017Online IGBT temperature measurement method using a greybox model
Pangalos, G.; Paesler, M.; Kapels, H.
Conference Paper
2017Piezoelectrically Driven and Sensed Micromirrors with Extremely Large Scan Angles and Precise Closed-Loop Control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2017Piezoelectrically driven and sensed micromirrors with large scan angles and precise closed-loop control
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2017PZT-actuated and -sensed resonant micromirrors with large scan angles applying mechanical leverage amplification for biaxial scanning
Gu-Stoppel, S.; Giese, T.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Journal Article
2017Silicon based electrical biosensor technology for mobile diagnostics
Blohm, L.; Albers, J.; Piechotta, G.; Nebling, E.
Conference Paper
2017Verfahren zur Herstellung optischer Komponenten unter Verwendung von Funktionselementen
Quenzer, Hans Joachim; Stenchly, Vanessa
Patent
2017Vorrichtung zur Erzeugung einer Wechselspannung, Schaltungsanordnung zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung, Verfahren zur Erzeugung einer Ausgangswechselspannung für eine Energiesenke, Wechselrichter zur Erzeugung einer Wechselspannung aus einer Gleichspannung, Energiespeicher-Vorrichtung zur Bereitstellung einer Wechselspannung unter Verwendung eines Gleichspannungsenergiespeichers, dreiphasige Wechselrichtervorrichtung, dreiphasige Wechselrichterschaltung, und Konzept zur Erzeugung einer Gleichspannung
Kapels, Holger; YU, Zhe
Patent
2016Applications of chemical mechanical planarization (CMP) to More than Moore devices
Zwicker, G.
Book Article
2016Einfluss des Lotpastendrucks auf die Zuverlässigkeit der Lötstellen kritischer keramischer SMD-Komponenten auf FR4-Leiterplatten. Schweissen und Schneiden
Gu-Stoppel, S.
Dissertation
2016Extreme high efficiency non-inverting buck-boost converter for energy storage systems
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Conference Paper
2016Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2015
 
Annual Report
2016Hermetic packaging concept for laser diodes on wafer level
Stenchly, V.; Reinert, W.; Quenzer, H.-J.
Conference Paper
2016Investigations on the C-rate and temperature dependence of manganese dissolution/deposition in LiMn2O4/Li4Ti5O12 lithium ion batteries
Börner, M.; Klamor, S.; Hoffmann, B.; Schroeder, M.; Nowak, S.; Würsing, A.; Winter, M.; Schappacher, F.M.
Journal Article
2016Low power and highly precise closed-loop driving circuits for piezoelectric micromirrors with embedded capacitive position sensors
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Conference Paper
2016Mikromechanische piezoelektrische Aktuatoren zur Realisierung hoher Kräfte und Auslenkungen
Stoppel, Fabian; Wagner, Bernhard
Patent
2016Modeling of biaxial gimbal-less MEMS scanning mirrors
Wantoch, T. von; Gu-Stoppel, S.; Senger, F.; Mallas, C.; Hofmann, U.; Meurer, T.; Benecke, W.
Conference Paper
2016Multimode delta-E effect magnetic field sensors with adapted electrodes
Zabel, S.; Reermann, J.; Fichtner, S.; Kirchhof, C.; Quandt, E.; Wagner, B.; Schmidt, G.; Faupel, F.
Journal Article
2016A novel control concept for high-efficiency power conversion with the bidirectional non-inverting buck-boost converter
Yu, Z.; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Conference Paper
2016Photocatalytic applications of doped zinc oxide porous films grown by magnetron sputtering
Ghimpu, L.; Reimer, T.; Smazna, D.; Hoppe, M.; Benecke, W.; Bejenari, A.; Cojocaru, A.; Lupan, O.; Adelung, R.; Tiginyanu, I.
Conference Paper
2016Piezoelektrischer Positionssensor für piezoelektrisch angetriebene resonante Mikrospiegel
Quenzer, Hans Joachim; Gu-Stoppel, Shanshan; Janes, Joachim; Heinrich, Felix
Patent
2016Sensing properties of ultra-thin TiO2 nanostructured films based sensors
Postica, V.; Reimer, T.; Lazari, E.; Ababii, N.; Shishiyanu, S.; Railean, S.; Kaidas, V.; Kaps, S.; Lupan, O.; Benecke, W.; Adelung, R.
Conference Paper
2016TAIKO wafer ball attach
Schröder, S.; Schröder, M.; Reinert, W.; Priewasser, K.H.
Conference Paper
2016Temperature-stable NdFeB micromagnets with high-energy density compatible with CMOS back end of line technology
Reimer, T.; Lofink, F.; Lisec, T.; Thede, C.; Chemnitz, S.; Wagner, B.
Journal Article
2016Transmission electron microscopy study for investigating high-temperature reliability of Ti10W90-based and Ta-based diffusion barriers up to 600°C
Budhiman, N.; Schürmann, U.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Kienle, L.; Wagner, B.
Journal Article
2016Verfahren zum Herstellen einer Vorrichtung mit einer dreidimensionalen magnetischen Struktur
Lisec, Thomas; Quenzer, Hans Joachim; Reimer, Tim
Patent
20152D MEMS scanning for LIDAR with sub-Nyquist sampling, electronics, and measurement procedure
Giese, T.; Janes, J.
Conference Paper
20152D MEMS scanning LIDAR with sub-Nyquist sampling, set-up and functionality
Janes, J.; Giese, T.
Conference Paper
2015Akustische Gang-und Laufanalyse für Sport- und Medizinanwendungen
Knieling, T.; Kurylo, A.; Sethu-Madhavan, V.S.; Bremes, H.-G.; Colsman, M.; Schillo, B.; Struchholz, H.; Schaffert, N.; Goetze, I.; Mattes, K.; Stephan, K.-M.
Conference Paper
2015Assembly and packaging of micro systems by using reactive bonding processes
Schumacher, Axel; Gaiß, Ulrike; Knappmann, Stefan; Dietrich, Georg; Braun, Stefan; Pflug, Erik; Roscher, Frank; Vogel, Klaus; Hertel, Silvia; Kähler, Dirk; Reinert, Wolfgang
Conference Paper
2015Bidirectionally actuated ohmic switches allowing sequential dual-contact operation for improved reliability
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2015Bildgebender Strahlungssensor
Hofmann, Ulrich; Weiß, Manfred; Janes, Joachim; Senger, Frank
Patent
2015Bottom up research and development for a low-voltage three level NPC converter
Benkendorff, B.; Fuchs, F.W.; Friedrich, D.; Hinz, J.; Poech, M.; Kohlmann, K.; Reese, H.; Letas, H.-H.; Weber, C.; Eisele, R.; Mueller, Z.; Berger, M.; Rudzki, J.; Osterwald, F.; Mono, T.
Conference Paper
2015Centimeter-scale MEMS scanning mirrors for high power laser application
Senger, Frank; Hofmann, Ulrich G.; Wantoch, T. von; Mallas, Christian; Janes, Joachim; Benecke, Wolfgang; Herwig, Patrick; Gawlitza, Peter; Ortega Delgado, Moises Alberto; Gruhne, Christoph; Hannweber, Jan; Wetzig, Andreas
Conference Paper
2015Design, fabrication and characterization of piezoelectrically actuated gimbal-mounted 2D micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Conference Paper
2015Design, Fabrikation und Charakterisierung piezoelektrisch angetriebener 2D Mikrospiegel für Rasterscanner
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Benecke, W.
Conference Paper
2015Direct growth of freestanding ZnO tetrapod networks for multifunctional applications in photocatalysis, UV photodetection, and gas sensing
Mishra, Y.K.; Modi, G.; Cretu, V.; Postica, V.; Lupan, O.; Reimer, T.; Paulowicz, I.; Hrkac, V.; Benecke, W.; Kienle, L.; Adelung, R.
Journal Article
2015Einfluss des Lotpastendrucks auf die Zuverlässigkeit der Lötstellen kritischer keramischer SMD-Komponenten auf FR4-Leiterplatten
Schimanski, H.
Journal Article
2015Empfänger und Verfahren zur Bestimmung einer Phaseninformation eines empfangenen Signals und System und Verfahren zur Messung einer Information über eine Entfernung zu einem Objekt
Giese, Thorsten
Patent
2015Entwicklung eines mikromechanischen Strahlablenksystems für Laser-Projektions-Displays
Hofmann, U.
Dissertation
2015Entwicklung und Integration von in-situ Sputterprozessen für PZT zum Einsatz in MEMS Aktuatoren
Kaden, D.
Dissertation
2015Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2014
 
Annual Report
2015Gas flow sputtered thick layers of columnar lead zirconate titanate on silicon wafers for high frequency ultrasound transducers
Tiefensee, F.; Kaden, D.; Jakob, A.; Quenzer, H.-J.; Jung, T.
Journal Article, Conference Paper
2015Gleichspannungswandler
YU, Zhe; Hoffmann, Klaus F.; Kapels, Holger
Patent
2015Handheld imaging photonic crystal biosensor for multiplexed, label-free protein detection
Jahns, S.; Bräu, M.; Meyer, B.O.; Karrock, T.; Gutekunst, S.B.; Blohm, L.; Selhuber-Unkel, C.; Buhmann, R.; Nazirizadeh, Y.; Gerken, M.
Journal Article
2015Hermeticity Tests
Lohfink, F.; Kähler, D.; Reinert, W.
Book Article
2015Herstellung und Integration von piezoelektrischen Pb(ZrxTi1-x)O3-Schichten außerordentlicher Schichtdicke für die Erschließung neuer Anwendungsgebiete
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Kößler, D.; Sichelschmidt, J.; Jakob, A.; Jung, T.; Tiefensee, F.
Conference Paper
2015High efficiency bidirectional DC-DC converter with wide input and output voltage ranges for battery systems
Yu, Zhe; Kapels, H.; Hoffmann, K.F.
Conference Paper
2015High temperature reliability of Ta-based and TiW-based diffusion barriers
Budhiman, N.; Schürmann, U.; Jensen, B.; Chemnitz, S.; Kienle, L.; Wagner, B.
Conference Paper
2015Hochauflösende Magnetfeld-Positionssensoren
Paul, J.; Knoll, H.; Lenkl, A.; Tide, R.; Theis, M.; Saumer, M.; Vetter, C.; Piorra, A.; Meyners, D.; Lofink, F.; Fichtner, S.; Wagner, B.; Zoschke, K.
Conference Paper
2015Low power closed-loop driving circuit for piezoelectric microscanners based on tuneable capacitive position sensors
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Journal Article, Conference Paper
2015Low-Power Elektronik für MEMS Mikrospiegel
Rombach, S.; Marx, M.; Gu-Stoppel, S.; Manoli, Y.
Conference Paper
2015MEMS Spiegel für die Hochleistungs-Lasermaterialbearbeitung
Senger, F.; Herwig, P.; Gawlitzka, P.; Ortega-Delgado, M.A.; Wantoch, T. von; Mallas, C.; Wetzig, A.; Hofmann, U.
Conference Paper
2015Metallic Alloy Seal Bonding
Reinert, W.; Kulkarin, A.; Vuorinen, V.; Merz, P.
Book Article
2015Mikro-Elektro-Mechanisches System und Verfahren zum Herstellen desselben
Lisec, Thomas; Stoppel, Fabian
Patent
2015Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank; Wantoch, Thomas; Mallas, Christian; Janes, Joachim
Patent
2015Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Senger, Frank
Patent
2015New IGBT power module concept for wind power application in NPC topology with extended reliability
Lenz, K.; Rudzki, J.; Osterwald, F.; Pandey, U.; Poech, M.
Conference Paper
2015Novel piezoelectric ohmic switches featuring fast switching and high contact forces
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.
Conference Paper
2015Piezoelectrically driven translatory optical MEMS Actuator with 7 mm apertures and large displacements
Quenzer, H.J.; Gu-Stoppel, S.; Stoppel, F.; Janes, J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2015Piezoelektrische ohmsche MEMS-Schalter mit bidirektionalem Antrieb und geringen Schaltzeiten
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2015Recent development and investigation of printed polymer based BaTiOa pressure sensors for gait analysis
Sethu-Madhavan, V.-S.; Knieling, T.; Mitra, K.Y.; Bauman, R.R.
Conference Paper
2015Stress controlled pulsed direct current co-sputtered Al1-xScxN as piezoelectric phase for micromechanical sensor applications
Fichtner, S.; Reimer, T.; Chemnitz, S.; Lofink, F.; Wagner, B.
Journal Article
2015Structural study of growth, orientation and defects characteristics in the functional microelectromechanical system material aluminium nitride
Hrkac, V.; Kobler, A.; Marauska, S.; Petraru, A.; Schürmann, U.; Chakravadhanula, V.S.K.; Duppel, V.; Kohlstedt, H.; Wagner, B.; Lotsch, B.V.; Kübel, C.; Kienle, L.
Journal Article
2015A study of integrated position sensors for PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.J.; Heinrich, F.; Janes, J.; Benecke, W.
Conference Paper
2015Substrate mit gut haftenden metallischen Oberflächenstrukturen, drucktechnisches Verfahren zu deren Herstellung sowie Verwendung der Substrate im Rahmen verschiedener Verbindungstechniken
Knieling, Thomas; Kontek, Magdalena
Patent
2015System technology for dynamic beam shaping
Hauptmann, Jan; Herwig, Patrick; Wetzig, Andreas; Dittrich, Dirk; Beyer, Eckhard; Hofmann, Ulrich; Senger, Frank
Conference Paper
2015Tastatur und System mit einer Tastatur
Eichholz, Jörg; Giese, Thorsten
Patent
2015Verschiedene Kraftsensorprinzipien für flexible Schuheinlagen in der akustischen Ganganalyse
Knieling, T.; Kurylo, A.; Beeck, F.; Sethu-Madhavan, V.S.
Conference Paper
2014Adaptive phasor control of a Duffing oscillator with unknown parameters
Wantoch, T. von; Röck, H.; Koschmieder, F.; Benecke, W.
Conference Paper
2014Analysis of capacitive sensing for 2D-MEMS scanner laser projection
Wantoch, T. von; Mallas, C.; Hofmann, U.; Janes, J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2014AR-concepts for hermetic wafer level packaging of uncooled FIR bolometer arrays
Stenchly, V.; Lofink, F.; Reinert, W.
Conference Paper
2014Characteristics of a micro-mechanical thermal flow sensor based on a two hot wires principle with constant temperature operation in a small channel
Lange, P.; Weiss, M.; Warnat, S.
Journal Article
2014Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2013
 
Annual Report
2014High frequency 1D piezoelectric resonant microscanners with large displacements
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Eisermann, C.; Heinrich, F.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2014Improved AlGaN p-i-n photodetectors for monitoring of ultraviolet radiation
Albrecht, B.; Kopta, S.; John, O.; Rütters, Martin; Kunzer, M.; Driad, R.; Marenco, N.; Köhler, K.; Walther, M.; Ambacher, O.
Journal Article
2014Kleine Ursache - große Wirkung. Schadensanalyse an elektronischen Bauteilen
 
Journal Article
2014Microelectromechanical magnetic field sensor based on ΔE effect
Jahns, R.; Zabel, S.; Marauska, S.; Gojdka, B.; Wagner, B.; Knöchel, R.; Adelung, R.; Faupel, F.
Journal Article
2014Mikroaktuatoranordnung zur Ablenkung elektromagnetischer Strahlung
Hofmann, Ulrich
Patent
2014Mikromechanische Resonatorandordnung
Hofmann, Ulrich; Janes, Joachim
Patent
2014Novel design concepts for piezoelectrically driven ohmic switches
Stoppel, F.; Lisec, T.; Wagner, B.
Journal Article, Conference Paper
2014Novel methode of state-of-charge estimation using in-situ impedance measurement
Rathmann, H.; Weber, C.; Benecke, W.; Eichholz, J.; Kaehler, D.
Conference Paper
2014Power Modules with Increased Power Density and Reliability Using Cu Wire Bonds on Sintered Metal Buffer Layers
Rudzki, J.; Osterwald, F.; Becker, M.; Eisele, R.; Poech, M.H.
Conference Paper
2014Precision micro-optical elements for manufacturing of gas sensors using IR-absorption
Quenzer, H.-J.; Stenchly, V.; Schwarzelbach, S.; Kampmann, M.; Wagner, B.; Dudde, R.
Conference Paper
2014Rapid detection of different human anti-HCV immunoglobulins on electrical biochips
Blohm, L.; Püttmann, C.; Holz, S.; Piechotta, G.; Albers, J.; Dammers, C.; Kleines, M.; Krüttgen, A.; Melmer, G.; Nähring, J.; Barth, S.; Nebling, E.
Journal Article
2014Reliable electronic assemblies
Schimanski, H.
Journal Article
2014Resonant biaxial 7-mm MEMS mirror for omnidirectional scanning
Hofmann, U.; Aikio, M.; Janes, J.; Senger, F.; Stenchly, V.; Hagge, J.; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.; Wantoch, T. von; Mallas, C.; Wagner, B.; Benecke, W.
Journal Article
2014Selbstaktivierender Dünnschichtgetter in reaktiven Mehrschichtsystemen
Reinert, Wolfgang
Patent
2014Single step integration of ZnO nano- and microneedles in Si trenches by novel flame transport approach: Whispering gallery modes and photocatalytic properties
Reimer, T.; Paulowicz, I.; Röder, R.; Kaps, S.; Lupan, O.; Chemnitz, S.; Benecke, W.; Ronning, C.; Adelung, R.; Mishra, Y.K.
Journal Article
2014Studies on the dynamics of vacuum encapsulated 2D MEMS scanners by laser Doppler vibrometry
Janes, J.; Hofmann, U.
Conference Paper
2014Thin glass characterization in the radio frequency range
Ebberg, A.; Meggers, J.; Rathjen, K.; Fotheringham, G.; Ndip, I.; Ohnimus, F.; Tschoban, C.; Pieper, I.; Kilian, A.; Methfessel, S.; Letz, M.; Fotheringham, U.
Conference Paper
2014Two-dimensional scanning using two single-axis low-voltage PZT resonant micromirrors
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2014Ungefüllte und gefüllte Gussmasse, insbesondere zur Herstellung beschichteter Metallfolien, und deren Verwendung für Elektroden oder Separatoren in Akkumulatoren
Thönnessen, Torge; Pfeifer, Verena
Patent
2014Verfahren zum Befüllen elektrochemischer Zellen
Thönnessen, Torge; Neumann, Gerold
Patent
2014Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Janes, Joachim
Patent
2014Vorrichtung mit einem schwingfähig aufgehängten optischen Element und Verfahren zum Auslenken desselben
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Hofmann, Ulrich
Patent
2014Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten Element und Verfahren zum Herstellen desselben
Gu-Stoppel, Shanshan; Quenzer, Hans Joachim; Hofmann, Ulrich
Patent
2014Vorrichtung mit einer Feder und einem daran aufgehängten optischen Element
Gu-Stoppel, Shanshan; Kaden, Dirk; Eisermann, Christian
Patent
2014Vorrichtung zur Zündung und Reaktionsübertragung in reaktiven Mehrschichtsystemen
Reinert, Wolfgang
Patent
2014Wafer-level vacuum-packaged two-axis MEMS scanning mirror for pico-projector application
Hofmann, U.; Senger, F.; Janes, J.; Mallas, C.; Stenchly, V.; Wantoch, T. von; Quenzer, H.-J.; Weiss, M.
Conference Paper
2013Ablenkvorrichtung für einen Scanner mit Lissajous-Abtastung
Hofmann, Ulrich; Weiss, Manfred
Patent
2013Comparable measurements and modeling of piezoelectric thin films for MEMS application
Schmitz-Kempen, T.; Tiedke, S.; Mardilovich, P.; Sivaramakrishnan, S.; Lisec, T.; Stoppel, F.; Trolier-Mckinstry, S.; Muralt, P.
Conference Paper
2013Copper ribbon bonding for power electronics applications
Marenco, N.; Kontek, M.; Reinert, W.; Lingner, J.; Poech, M.-H.
Conference Paper
2013Design, fabrication and characterization of low-voltage piezoelectric two-axis gimbal-less microscanners
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Kaden, D.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2012
 
Annual Report
2013Fully electrical test procedure for inertial MEMS characterization at wafer-level
Sisto, A.; Schwarzelbach, O.; Fanucci, L.
Conference Paper
2013Giant magnetoelectric effect in vacuum
Kirchhof, C.; Krantz, M.; Teliban, I.; Jahns, R.; Marauska, S.; Wagner, B.; Knöchel, R.; Gerken, M.; Meyners, D.; Quandt, E.
Journal Article
2013Highly sensitive wafer-level packaged MEMS magnetic field sensor based on magnetoelectric composites
Marauska, S.; Jahns, R.; Kirchhof, C.; Claus, M.; Quandt, E.; Knöchel, R.; Wagner, B.
Journal Article
2013Lorentzkraft-basierter MEMS-3D-Magnetfeldsensor für die Integration zu einer 1-Chip 9D IMU
Behmüller, M.; Weiss, M.; Claus, M.; Bohse, S.; Schwarzelbach, O.; Schröder, C.; Reimer, K.
Conference Paper
2013Low temperature transient liquid phase bonding of Au/Sn and Cu/Sn electroplated material systems for MEMS wafer-level packaging
Marauska, S.; Claus, M.; Lisec, T.; Wagner, B.
Journal Article
2013Mehrachsiger piezoelektrischer Aktuator für optische Komponenten
Kampmann, M.; Stoppel, F.; Quenzer, H.-J.; Kaden, D.; Janes, J.; Wagner, B.
Conference Paper
2013MEMS based magnetoelectric field sensor characteristics under vacuum and after heat treatment
Lofink, F.; Marauska, S.; Jahns, R.; Kirchhof, C.; Claus, M.; Knöchel, R.; Quandt, E.; Wagner, B.
Conference Paper
2013Mikroskopische Untersuchungen bei der Prozessentwicklung einer Kupferband Hochstrom-Kontaktierung von Silber-gesinterten Leistungshalbleitern
Reiter, K.; Kontek, M.; Reinert, W.
Conference Paper
2013MMP-7-Bestimmung im Urin basierend auf Siliziumchiptechnologie
Jäger, T.; Tschirdewahn, S.; Dorp, F. vom; Piechotta, G.; Rübben, H.; Szarvas, T.
Journal Article
2013Mobiles Analysesystem für die Point-of-Care-Diagnostik
Blohm, L.; Nebling, E.; Melmer, G.
Journal Article
2013New fabrication method of glass packages with inclined optical windows for micromirrors on wafer level
Stenchly, V.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Janes, J.; Jensen, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Piezoelectric resonant micromirror with high frequency and large deflection applying mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Janes, J.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Prozessentwicklung der Kupferband-Hochstrom-Kontaktierung von Ag-gesinterten Leistungshalbleitern
Reinert, W.; Kontek, M.; Lausen, N.; Hindel, A.; Eisele, R.; Rudolf, F.
Book Article
2013Reflowprofiloptimierung unter Beachtung vorhandener Standards - durch Einsatz qualifizierter Messtechnik zu belastbaren Messergebnissen
Schimanski, H.
Conference Paper
2013Resonant biaxial 7-mm MEMSm mirror for omnidirectional scanning
Hoffmann, U.; Aikio, M.; Janes, J.; Senger, F.; Stenchly, V.; Weiss, M.; Quenzer, H.-J.; Wagner, B.; Benecke, W.
Conference Paper
2013Sophisticated estimation of hardly measurable conditions of lithium-ion batteries
Rathmann, H.; Weber, C.; Benecke, W.; Kahler, D.
Conference Paper
2013Ultra-high aspect ratio Ni nanowires in single-crystalline InP membranes as multiferroic composite
Gerngross, M.-D.; Chemnitz, S.; Wagner, B.; Carstensen, J.; Föll, H.
Journal Article
2012"How exactly does this work?"
Reiter, K.; Schnarr, H.
Journal Article
2012Advantages of double-sided cooling concepts for power semiconductors
Poech, M.
Journal Article
2012Application of an abrasive-free Cu slurry for MEMS devices
Steible, B.; Stoldt, M.; Tack, M.; Zwicker, G.
Conference Paper
2012Biaxial resonant 7mm-MEMS mirror for automotive LIDAR application
Hofmann, U.; Senger, F.; Soerensen, F.; Stenchly, V.; Jensen, B.; Janes, J.
Conference Paper
2012Biaxial tripod MEMS mirror and omnidirectional lens for a low cost wide angle laser range sensor
Hofmann, U.; Aikio, M.
Conference Paper
2012Competence center for power electronics, development of an advanced, modular frequency converter for traction control
Dudde, R.; Friedrich, D.; Kohlmann, K.; Taube, S.; Eggert, N.; Solmecke, H.; Zitzelsberger, J.; Osterwald, F.; Isernhagen, R.; Fuchs, F.W.; Eisele, R.; Weber, C.; Berger, M.
Conference Paper
2012ELECTROMAGNETIC RADIATION MICRO DEVICE, WAFER ELEMENT AND METHOD FOR MANUFACTURING SUCH A MICRO DEVICE
Reinert, Wolfgang
Patent
2012Fraunhofer-Institut für Siliziumtechnologie. Achievements and Results. Annual Report 2011
 
Annual Report
2012High speed piezoelectric microscanners with large deflection using mechanical leverage amplification
Gu-Stoppel, S.; Kaden, D.; Quenzer, H.J.; Hofmann, U.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper
2012High-Q MEMS resonators for laser beam scanning displays
Hofmann, U.; Janes, J.; Quenzer, H.-J.
Journal Article
2012Highly-integrated lab-on-chip system for point-of-care multiparameter analysis
Schumacher, Soeren; Nestler, Jörg; Otto, Thomas; Wegener, Michael; Ehrentreich-Förster, Eva; Michel, Dirk; Wunderlich, Kai; Palzer, Silke; Sohn, Kai; Weber, Achim; Burgard, Matthias; Grzesiak, Andrzej; Teichert, Andreas; Brandenburg, Albrecht; Koger, Birgit; Albers, Jörg; Nebling, Eric; Bier, Frank F.
Journal Article
2012ICPT 2012, International Conference on Planarization/CMP Technology. Proceedings
: Zwicker, G. (Conference Chair)
Conference Proceedings
2012In einem Kunststoffkörper eingebettetes Funktionselement und Verfahren zur elektrischen Kontaktierung eines in einem Kunstoffkörper eingebetteten Funktionselements
Marenco, N.
Patent
2012Influence of platinum bottom electrodes on the piezoelectric performance of PZT thin films hot sputtered in a high volume production tool
Kaden, D.; Quenzer, H.-J.; Kratzer, M.; Castaldi, L.; Wagner, B.; Heinz, B.; Mamazza, R.
Conference Paper
2012M(H) shape reconstruction using magnetic spectroscopy
Teliban, I.; Chemnitz, S.; Thede, C.; Bechtold, C.; Mozooni, B.; Krause, H.-J.; Quandt, E.
Journal Article
2012MEMS magnetic field sensor based on magnetoelectric composites
Marauska, S.; Jahns, R.; Greve, H.; Quandt, E.; Knöchel, R.; Wagner, B.
Journal Article
2012Microlens array production in a microtechnological dry etch and reflow process for display applications
Knieling, T.; Shafi, M.; Lang, W.; Benecke, W.
Journal Article
2012Mikrospiegelanordnung und Verfahren zur Herstellung einer Mikrospiegelanordnung
Hofmann, Ulrich; Quenzer, Hans Joachim; Janes, J.; Jensen, B.
Patent
2012Non-contact temperature determination of embedded magnetic phases of hard coatings by exploitation of the magnetic hysteresis
Thede, C.; Chemnitz, S.; Teliban, I.; Bechtold, C.; Klever, C.; Stüber, M.; Quandt, E.
Journal Article
2012Note: Micro-cantilevers with AlN actuators and PtSi tips for multi-frequency atomic force microscopy
Sebastian, A.; Shamsudhin, N.; Rothuizen, H.; Drechsler, U.; Koelmans, W.W.; Bhaskaran, H.; Quenzer, H.J.; Wagner, B.; Despont, M.
Journal Article
2012Omnidirectional lens and 2D-MEMS scanning mirror for a low cost automotive laser range sensor
Hoffmann, U.; Aikio, M.
Conference Paper
2012Optimised piezoelectric PZT thin film production on 8 silicon wafers for micromechanical applications
Kaden, D.; Gu-Stoppel, S.; Quenzer, H.-J.; Kaltenbacher, D.; Wagner, B.; Dudde, R.
Conference Paper
2012Packaging technology of multi deflection arrays for multi-shaped beam lithography
Burkhardt, T.; Mohaupt, M.; Hornaff, M.; Zaage, B.; Beckert, E.; Döring, H.-J.; Slodowski, M.; Reimer, K.; Witt, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Conference Paper
2012POCT-Plattform auf Basis der Siliziumchiptechnologie
Blohm, L.
Journal Article
2012Prozessoptimierung beim Selektivlöten für Anwendungen in der Leistungselektronik
Schimanski, H.
Book Article
2012Quality evaluation for silver sintering layers in power electronic modules
Rudzki, J.; Jensen, L.; Poech, M.; Schmidt, L.; Osterwald, F.
Conference Paper
2012Schnell lenkbare Mikroscanner-Spiegel
Janes, J.; Hofmann, U.
Journal Article
2012Sichere manuelle Lötprozesse an bleifreien elektronischen Baugruppen
Schimanski, H.
Conference Paper
2012Smart skin for tactile prosthetics
Knieling, T.; Gulde, P.; Farserotu, J.; Baborowski, J.; Decotignie, J.-D.; Dallemagne, P.; Enz, C.; Sebelius, F.; Rosen, B.; Antfolk, C.; Lundborg, G.; Björkman, A.
Conference Paper
2012Sputtered thin film piezoelectric aluminum nitride as a functional MEMS material
Marauska, S.; Hrkac, V.; Dankwort, T.; Jahns, R.; Quenzer, H.J.; Knöchel, R.; Kienle, L.; Wagner, B.
Journal Article
2012Viscous hot glass forming for optical wafer level packaging of micro mirrors
Stenchly, V.; Quenzer, H.-J.; Hofmann, U.; Eisermann, C.; Benecke, W.
Journal Article, Conference Paper