Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Off-axis machining of NURBS free-form surfaces by fast tool servo assisted turning
Brecher, C.; Lange, S.; Merz, M.; Niehaus, F.; Winterschladen, M.
Zeitschriftenaufsatz
2005Precision Manufacturing - Trends, Anwendungen und Beispiele
Brecher, C.; Lange, S.; Schug, R.; Wenzel, C.
Konferenzbeitrag
1992In-process image detecting technique for determination of overlay, and image quality for ASM-L wafer stepper
Pforr, R.; Wittekoek, S.; VanDenBosch, R.; VanDenHove, L.; Jonckheere, R.; Fahner, T.; Seltmann, R.
Konferenzbeitrag
1989Overlay precision between electron beam and optical lithography systems for a mix and match GaAs technology.
Patrick, W.; Glorer, K.; Schneider, J.
Zeitschriftenaufsatz