Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2017High-resolution, high-speed inline optical topography measurement system for laser micro-machining process control
Folkersma, K.G.P.; Woldering, L.A.; Voss, K.H.J.; Pohl, R.; Resink, S.G.; Kunze, Rouwen; Schmitt, Robert; Klein, M.E.; Borreman, A.; de Hoon, C.J.A.
Konferenzbeitrag
2017Inline surface topography measurements of ultrashort laser pulsed manufactured micro structures based on low coherence interferometry
Kunze, Rouwen; Schmitt, Robert
Zeitschriftenaufsatz
2010Digitale Mehrwellenlängen-Holografie für makroskopische Topografien in mikroskopischer Genauigkeit
Carl, D.; Fratz, M.; Höfler, H.
Zeitschriftenaufsatz