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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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2012 | Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck Rogler, Daniela : Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter) | Dissertation |
2002 | Deposition of diamond/beta-SiC gradient composite films by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition Shi, Y.; Tan, M.; Jiang, X. | Zeitschriftenaufsatz |
1993 | The deposition and characterization of β-SiC and diamond/β-SiC composite films Jiang, X.; Klages, C.-P. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
1992 | Synthesis of diamond/beta-SiC composite films by microwave plasma assisted chemical vapor deposition Jiang, X.; Klages, C.-P. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |