Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2012 | Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Rogler, Daniela
: Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter) | Dissertation |
| 2002 | Deposition of diamond/beta-SiC gradient composite films by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition
Shi, Y.; Tan, M.; Jiang, X. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1993 | The deposition and characterization of β-SiC and diamond/β-SiC composite films
Jiang, X.; Klages, C.-P. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 1992 | Synthesis of diamond/beta-SiC composite films by microwave plasma assisted chemical vapor deposition
Jiang, X.; Klages, C.-P. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |