Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Entwicklung einer lichtbogengestützten PECVD-Technologie für die Synthese siliziumbasierter Schichtsysteme unter Atmosphärendruck
Rogler, Daniela
: Beyer, Eckhard (Betreuer); Neidhardt, Andreas (Gutachter); Kaskel, Stefan (Gutachter)
Dissertation
2002Deposition of diamond/beta-SiC gradient composite films by microwave plasma-assisted chemical vapor deposition
Shi, Y.; Tan, M.; Jiang, X.
Zeitschriftenaufsatz
1993The deposition and characterization of β-SiC and diamond/β-SiC composite films
Jiang, X.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1992Synthesis of diamond/beta-SiC composite films by microwave plasma assisted chemical vapor deposition
Jiang, X.; Klages, C.-P.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag