Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2013Integration of multi-level MOEMS structure on CMOS for spatial light modulators
Friedrichs, Martin; List, Matthias; Müller, Michael
Konferenzbeitrag
2012Monolithic integration of MOEMS on CMOS backplanes using surface micromachining techniques
List, Matthias; Friedrichs, Martin; Müller, Michael
Konferenzbeitrag
2003Improved vision by eye abberation correction using an active-matrix addressed micromirror array
Gehner, A.; Wildenhain, M.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2001Active-matrix addressed micromirror array for wavefront correction in adaptive optics
Gehner, A.; Doleschal, W.; Elgner, A.; Kauert, R.; Kunze, D.; Wildenhain, M.
Konferenzbeitrag
2000Monolithic integrated surface micromachined absolute pressure sensors with programmable linearization and temperature compensation
Köster, O.; Trieu, H.-K.; Knier, M.; Kappert, H.; Schmidt, M.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
2000Monolithic integrated surface micromachined pressure sensors with analog on-chip linearization and temperature compensation
Trieu, H.-K.; Knier, M.; Köster, O.; Kappert, H.; Schmidt, M.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1999An absolute air pressure smart sensor family with 2 dimensional calibration
Weiler, D.; Machul, O.; Amelung, J.; Hammerschmidt, D.; Hosticka, B.J.
Konferenzbeitrag
1999Surface micromachined high temperature pressure sensors on SIMOX-substrates
Kasten, K.; Amelung, J.; Mokwa, W.
Konferenzbeitrag
1995A fully integrated surface micromachined pressure sensor with low temperature dependency
Dudaicevs, H.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Schmidt, W.; Spiegel, E.
Konferenzbeitrag
1994Surface micromachined pressure sensors with integrated CMOS read-out electronics
Dudaicevs, H.; Kandler, M.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E.
Konferenzbeitrag
1993Application of porous silicon as a sacrificial layer
Lang, W.; Steiner, P.; Richter, A.; Marusczyk, K.; Weimann, G.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1993Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W.
Konferenzbeitrag
1993Surface micromachined pressure sensors with integrated CMOS read-out electronics
Dudaicevs, H.; Kandler, M.; Manoli, Y.; Mokwa, W.; Spiegel, E.
Konferenzbeitrag
1993Using porous silicon as a sacrificial layer
Steiner, P.; Richter, A.; Lang, W.
Zeitschriftenaufsatz
1991Spezifische Prozeßtechniken der Mikromechanik
Csepregi, L.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag