Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002Phi-scatterometry for integrated linewidth and process control in DRAM manufacturing
Hettwer, A.; Benesch, N.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1995Application of smoothing techniques to relief-type resist surfaces generated by direct write electron-beam lithography
Engel, H.; Wengelink, J.; Steingrüber, R.
Konferenzbeitrag