Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Spatially resolved cross-linking characterization by imaging low-coherence interferometry
Taudt, Christopher; Nelsen, Bryan; Rossegger, Elisabeth; Schlögl, Sandra; Koch, Edmund; Hartmann, Peter
Zeitschriftenaufsatz
2018Fast cross-linking-characterization of waveguide-polymers on wafers by imaging low-coherence interferometry
Taudt, Christopher; Nelsen, Bryan; Schlögl, Sandra; Koch, Edmund; Hartmann, Peter
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2016Production scheduling in complex job shops from an industrie 4.0 perspective: A review and challenges in the semiconductor industry
Waschneck, Bernd; Altenmüller, Thomas; Bauernhansl, Thomas; Kyek, Andreas
Konferenzbeitrag
2014Examples and case studies
Asbach, Christoph; Aguerre, Olivier; Bressot, Christophe; Brouwer, Derk H.; Gommel, Udo; Gorbunov, Boris; Bihan, Olivier le; Jensen, Keld Alstrup; Kaminski, Heinz; Keller, Markus; Koponen, Ismo Kalevi; Kuhlbusch, Thomas A.J.; Lecloux, Andre; Morgeneyer, Martin; Muir, Ian; Shandilya, Neeraj; Stahlmecke, Burkhard; Todea, Ana María
Aufsatz in Buch
2006Modellbasiertes Verfahren zur Online-Leistungsbewertung von automatisierten Transportsystemen in der Halbleiterfertigung
Sturm, R.
Dissertation
2005Grid system for solving computing bottlenecks in semiconductor industries at the example of an AMHS
Knoll, G.; Wesemann, M.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
2003Framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
2003A simulation framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Zeitschriftenaufsatz
2003Transition and developments of 300mm-AMHS simulation models
Reddig, K.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
2002EuSIC: An information network for innovation and standardization in APC and factory integration
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
2002Framework for the performance assessment of shop-floor control systems
Mönch, L.; Rose, O.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
2002Simulation von transienten Szenarien an einem automatisierten Wafertransportsystem
Sturm, R.; Reddig, K.
Konferenzbeitrag
2001ASMC 2001. CD-ROM
: Kaufmann, T.
Tagungsband
2000Order management for semiconductor manufacturing
Schmidt, T.; Wiendahl, H.-H.; Westkämper, E.
Konferenzbeitrag
2000Order Management for Semiconductor Manufacturing - a new Approach Realized with Artificial Neural Networks
Pirron, J.; Schmidt, T.; Wiendahl, H.-H.
Konferenzbeitrag
2000Simulation Based Decision Support for Future 300mm Automated Material Handling
Schulz, M.; Stanley, T.D.; Renelt, B.; Sturm, R.; Schwertschlager, O.
Konferenzbeitrag
1999Das Informationstechnik-Konzept der Flexiblen Fab
Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Frauenhoffer, F.; Sturm, R.; Aron, J.
Konferenzbeitrag
1999Die Organisation der Flexiblen Fab
Frauenhoffer, F.; Mönch, G.; Schmalfuß, V.; Silvi, T.; Sturm, R.; Podewils, M. von
Konferenzbeitrag
1999Transferring Established Technologies for a Clean Production
Schüle, A.; Kaufmann, T.
Konferenzbeitrag
1998Oxide layer thickness measurement
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
1998The Paradigm Shift for Manufacturing Execution Systems in European Projects and SEMI Activities
Kaufmann, T.
Zeitschriftenaufsatz
1998Productronica 97. Proceedings HLF. Semiconductor equipment and materials contamination control and defect reduction
Ryssel, H.; Pfitzner, L.; Trunk, R.
Buch
1998SEMI CIM Framework Status, SEMI Task Force CIM Framework
Hodges, B.; Kaufmann, T.
Konferenzbeitrag
1997Modular metrology tools for productivity enhancement in wafer fabs
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1993Simulationsgestützte Planungsmethodik zur Integration von Materialdistributionssystemen
Bader, U.
Konferenzbeitrag
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Tagungsband
1991Partikelkontamination und Medienversorgung
Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1991Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B.
Konferenzbeitrag
1990Meßtechnik und Analytik für Halbleiterfertigungsgeräte
Eichinger, P.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag
1989Internal process control and automation for semiconductor manufacturing equipment
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Schneider, C.
Konferenzbeitrag