Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Process and design optimization of SiC MOSFET for low on-state resistance
Sledziewski, Tomasz; Erlbacher, Tobias; Bauer, Anton
Vortrag
2018Confined electron and hole states in semiconducting carbon nanotube sub-10 nm artificial quantum dots
Buchs, G.; Bercioux, D.; Mayrhofer, L.; Gröning, O.
Zeitschriftenaufsatz
2018Extrusion foaming of thermoplastic cellulose acetate sheets with HFO-1234ze and co-blowing agents
Hendriks, Sven; Hopmann, Christian H.; Zepnik, Stefan
Zeitschriftenaufsatz
2018High-speed quantum efficiency determination of multijunction solar cells
Missbach, T.; Dengler, S.A.; Siefer, G.; Bett, A.W.
Zeitschriftenaufsatz
2018OLED-on-silicon microdisplays: Technology, devices, applications
Vogel, Uwe; Wartenberg, Philipp; Richter, Bernd; Brenner, Stephan; Fehse, Karsten; Schober, Matthias
Konferenzbeitrag
2018Selective silver sintering of semiconductor dies on PCB
Dresel, Fabian; Letz, Sebastian; Zischler, Sigrid; Schletz, Andreas; Novak, Michael
Konferenzbeitrag
2017High-speed broadband quantum efficiency determination of solar cells
Missbach, T.; Straub, R.S.L.; Benkhoff, T.M.; Siefer, G.
Zeitschriftenaufsatz
2017Multi-segment photovoltaic laser power converters and their electrical losses
Kimovec, R.; Helmers, H.; Bett, A.W.; Topic, M.
Konferenzbeitrag
2016Drill-down analysis with equipment health monitoring
Krauel, Christopher; Weishäupl, Laura; Pfeffer, Markus
Vortrag
2016Inhomogeneous growth of micrometer thick plasma polymerized films
Akhavan, Behnam; Menges, Bernhard; Förch, Renate
Zeitschriftenaufsatz
2015Energy level of the Si-related DX-center in (AlyGa1-y)1-xInxAs
Heckelmann, S.; Lackner, D.; Bett, A.W.
Zeitschriftenaufsatz
2015Enhanced pressure response in ZnO nanorods due to spontaneous polarization charge
Seifikar, M.; O'Reilly, E.P.; Christian, B.; Lebedev, V.; Volk, J.; Erdélyi, R.; Lukács, I.E.; Dauksevicious, R.; Gaidys, R.
Konferenzbeitrag
2015Imaging defect luminescence measurements of 4H-SiC by UV-PL
Kaminzky, Daniel; Roßhirt, Katharina; Kallinger, Birgit; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen; Oppel, Steffen; Schneider, Adrian; Schütz, Michael
Vortrag
2015Imaging defect luminescence of 4H-SiC by UV-photoluminescence
Kaminzky, Daniel; Roßhirt, Katharina; Kallinger, Birgit; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen; Oppel, Steffen; Schneider, Adrian; Schütz, Michael
Vortrag
2015Impact of Photon Recycling and Luminescence Coupling in III-V Photovoltaic Devices
Walker, A.; Höhn, O.; Micha, D.; Wagner, L.; Helmers, H.; Dimroth, F.; Bett, A.
Konferenzbeitrag
2015Influence of growth temperature on the defect density for 4H-SiC homoepitaxy
Kaminzky, Daniel; Roßhirt, Katharina; Kallinger, Birgit; Berwian, Patrick; Friedrich, Jochen
Poster
2014Focus on quantum efficiency. Editorial
Buchleitner, A.; Burghardt, I.; Cheng, Y.C.; Scholes, G.D.; Schwarz, U.T.; Weber-Bargioni, A.; Wellens, T.
Zeitschriftenaufsatz
2013Breve introdução à Tecnologia de Salas Limpas: Enfrentando os desafios futuros
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Zeitschriftenaufsatz
2013Opposites attract: An approach to collaborative supply chain management between semiconductor and automotive companies
Aelker, Judith; Meister, Verena; Forster, Christoph; Zapp, Matthias; Bauernhansl, Thomas
Zeitschriftenaufsatz
2012Future Demands and Challenges for Cleanroom Technology
Gommel, Udo
Vortrag
2012Im Spannungsfeld der Absatzmärkte
Forster, Christoph; Zapp, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2012A short introduction to cleanliness technology: Meeting the future challenges
Gommel, Udo; Kreck, Guido
Konferenzbeitrag
2012Traceable measurements of electrical conductivity and Seebeck coefficient of β-Fe0.95Co0.05Si2 and Ge in the temperature range from 300 K to 850 K
Lenz, E.; Haupt, S.; Edler, F.; Ziolkowski, P.; Pernau, H.-F.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2011(Bi,Sb)2Te3-PbTe chalcogenide alloys: Impact of the cooling rate and sintering parameters on the microstructures and thermoelectric performances
Jacquot, A.; Thomas, J.; Schumann, J.; Jägle, M.; Böttner, H.; Gemming, T.; Schmidt, J.; Ebling, D.
Zeitschriftenaufsatz
2011A more reliable supply of semiconductor components
Forster, Christoph; Zapp, Matthias
Zeitschriftenaufsatz
2011Reduzierung von Beschaffungsrisiken bei Halbleiterbauteilen
Zapp, Matthias; Forster, Christoph
Zeitschriftenaufsatz
2010Analysis of polar GaN surfaces with photoelectron and high resolution electron energy loss spectroscopy
Lorenz, P.; Haensel, T.; Gutt, R.; Koch, R.J.; Schaefer, J.A.; Krischok, S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2009Werkstofftrends: Werkstoffe der Mikrosystemtechnik
Weimert, B.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.; Grüne, M.
Zeitschriftenaufsatz
2008Optically pumped GaSb-based VECSELs
Schulz, N.; Rattunde, M.; Rösener, B.; Manz, C.; Köhler, K.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2008Werkstofftrends: Thermoelektrika
Reschke, S.; Grüne, M.; Kohlhoff, J.
Zeitschriftenaufsatz
2007Barrier- and in-well pumped GaSb-based 2.3 µm VECSELs
Wagner, J.; Schulz, N.; Rattunde, M.; Ritzenthaler, C.; Manz, C.; Wild, C.; Köhler, K.
Zeitschriftenaufsatz
2007High-speed asynchronous optical sampling for high-sensitivity detection of coherent phonons
Dekorsy, T.; Taubert, R.; Hudert, F.; Schrenk, G.; Bartels, A.; Cerna, R.; Kotaidis, A.; Plech, A.; Köhler, K.; Schmitz, J.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
2007InGaAs/AlAsSb quantum cascade detectors operating in the near infrared
Giorgetta, F.R.; Baumann, E.; Hofstetter, D.; Manz, C.; Yang, Q.K.; Köhler, K.; Graf, M.
Zeitschriftenaufsatz
2006Neue Halbleiter
Ruhlig, K.
Zeitschriftenaufsatz
2006Tool supported capability management for semiconductor high volume equipment integration
Erdmann, B.; Dreiss, P.
Konferenzbeitrag
2005Current gaps in production planning frameworks for real-time semiconductor enterprises
Fricke, P.; Fischmann, C.; Seidelmann, J.
Konferenzbeitrag
2005Grid system for solving computing bottlenecks in semiconductor industries at the example of an AMHS
Knoll, G.; Wesemann, M.; Sturm, R.
Konferenzbeitrag
2005High-power high-brightness tapered diode lasers and amplifiers
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Konferenzbeitrag
2005Requirements engineering für die Automatisierung
Reddig, K.
Konferenzbeitrag
2005Tutorial: The new specification template and procedures for writing SEMI information and control standards
Bricker, D.; Carrubba, M.; Crandell, B.; Dreiss, P.; Ghiselli, J.; Muckenhirn, R.; Rist, L.; Walsh, D.
Konferenzbeitrag
2004Architecture of a flexible scheduling component
Wiechers, O.; Zehtaban, M.
Konferenzbeitrag
2004Authorization and authentification standard (overview and status)
Dreiss, P.; Bichlmeier, J.
Konferenzbeitrag
2004Design of the core scheduling component for a flexible scheduling tool
Zehtaban, M.; Seidelmann, J.; Wiechers, O.
Konferenzbeitrag
2004Diagnostic data acquisition (DDA) data collection management standards (overview and status)
Dreiss, P.; Willmann, R.
Konferenzbeitrag
2004EDA demonstration
Dreiss, P.; Kender, E.
Konferenzbeitrag
2004FabSCORE
Janssen, D.; Peissner, M.; Schlegel, T.; Schuntermann, J.
Konferenzbeitrag
2004High-power, high-brightness GaInSb/AlGaAsSb quantum-well diode-lasers emitting at 1.9µm
Pfahler, C.; Manz, C.; Kaufel, G.; Kelemen, M.T.; Mikulla, M.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2004Influence of Mg doping profile on the electroluminescence properties of GaInN multiple quantum well light emitting diodes
Stephan, T.; Köhler, K.; Maier, M.; Kunzer, M.; Schlotter, P.; Wagner, J.
Konferenzbeitrag
2004Infrared semiconductor lasers for sensing and diagnostics
Wagner, J.; Mann, C.; Rattunde, M.; Weimann, G.
Zeitschriftenaufsatz
2004Linearisation issues in microwave amplifiers
O`Droma, M.S.; Portilla, J.; Bertran, E.; Donati, S.; Brazil, T.J.; Rupp, M.; Quay, R.
Konferenzbeitrag
2004Lot release planning for customer oriented manufacturing
Löffler, B.
Konferenzbeitrag
2004Using simulation as test tool in semiconductor industries
Wiechers, O.; Zehtaban, M.; Seidelmann, J.
Konferenzbeitrag
2003High-brightness 1040 nm tapered diode laser
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Rinner, F.; Rogg, J.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Konferenzbeitrag
20022K PL topography of silicon doped VGf-GaAs wafers
Baeumler, M.; Maier, M.; Herres, N.; Bünger, T.; Stenzenberger, J.; Jantz, W.
Zeitschriftenaufsatz
2002Beam quality and linewidth enhancement factor of ridge-waveguide tapered diode lasers
Kelemen, M.T.; Weber, J.; Rogg, J.; Rinner, F.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Konferenzbeitrag
2002High-power high-brightness ridge-waveguide tapered diode lasers at 940 nm
Kelemen, M.T.; Rinner, F.; Rogg, J.; Wiedmann, N.; Kiefer, R.; Walther, M.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Konferenzbeitrag
2002Nanoscopic measurements of surface recombination velocity and diffusion length in a semiconductor quantum well
Malyarchuk, V.; Tomm, J.; Lienau, C.; Rinner, F.; Baeumler, M.
Zeitschriftenaufsatz
2002Near-diffraction-limited high power diode laser tunable from 895 to 960 nm
Kelemen, M.T.; Rinner, F.; Rogg, J.; Kiefer, R.; Mikulla, M.; Weimann, G.
Konferenzbeitrag
2001Organic Contamination Workshop 2001. Proceedings
Pfitzner, L.; Bügler, J.; Frickinger, J.
Tagungsband
2001Werkstofftrends: Halbleitermaterialien
Kretschmer, T.; Reschke, S.; Kohlhoff, J.
Zeitschriftenaufsatz
2000Deposition and characterization of nanocrystalline diamond films prepared by ion bombardement-assisted method
Gu, C.Z.; Jiang, X.
Zeitschriftenaufsatz
2000Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Konferenzbeitrag
2000Medien in der Reinstproduktion - Reinstflüssigkeiten
Ernst, C.; Matuscheck, P.
Konferenzbeitrag
1999Chemically-assisted ion-beam etching of (AlGa)As/GaAs. Lattice damage and removal by in-situ Cl2 treatment
Daleiden, J.; Kiefer, R.; Klußmann, S.; Kunzer, M.; Manz, C.; Walther, M.; Braunstein, J.; Weimann, G.
Zeitschriftenaufsatz
1999Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gaugel, T.
Konferenzbeitrag
1999The Quality Chain for (U)HP Media and Joint Media in its Meaning
Dorner, J.; Matuscheck, P.; Ernst, C.
Konferenzbeitrag
1999A View to the Future - A Modular Simulation Kit for Cost-Efficient Fab-Wide Planning and the Simulation of Automated Material Handling Systems in the Semiconductor Industry
Bader, U.; Besler, A.; Schließer, J.; Dorner, J.
Konferenzbeitrag
1999X-ray Reflectivity Investigation of Thin P-Type Porous Silicon Layers
Buttard, D.; Dolino, G.; Bellet, D.; Baumbach, T.; Rieutord, F.
Zeitschriftenaufsatz
1998Coupled simulation of gas flow and heat transfer in an RTP-system with rotating wafer
Poscher, S.; Theiler, T.
Zeitschriftenaufsatz
1998Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Konferenzbeitrag
1997Grundlagen der Reinraumtechnik und Personalverhalten - Trends in der reinen Produktion
Gommel, U.
Konferenzbeitrag
1997A new approach for semiconductor models basing on SPICE model equations
Leitner, T.
Konferenzbeitrag
1997Progress in the layer thickness determination of AlGaAs/GaAs heterostructures using selective etching and AFM imaging of the (110) cleavage planes
Müller, S.; Weyher, J.L.; Dian, R.; Jantz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1996Dickschicht-Feuchtesensor auf der Basis halbleitenden MnWO4-Metalloxids. Teil 1. Aufbau und Charakterisierung des Feuchtesensors
Qu, W.; Meyer, J.-U.; Haeusler, A.
Zeitschriftenaufsatz
1995Analysis of contamination - a must for ultraclean technology
Ryssel, H.; Streckfuß, N.; Aderhold, W.; Berger, R.; Falter, T.; Frey, L.
Konferenzbeitrag
1995Electric-field effects on above-barrier states in GaAs/Al(x)Ga(1-x)As superlattice
Nakayama, M.; Ando, M.; Tanaka, I.; Nishimura, H.; Schneider, H.; Fujiwara, K.
Zeitschriftenaufsatz
1995On the role of interface properties in the degradation of metalorganic vapor phase epitaxially grown Fe profiles in InP
Roehle, H.; Schroeter-Janssen, H.; Harde, P.; Franke, D.
Konferenzbeitrag
1995Synthese von -FeSi2-Schichten durch PLD
Panzner, M.; Mai, H.; Schöneich, B.; Witke, T.; Lenk, A.; Selle, B.; Lange, H.; Henrion, W.; Grötzschel, R.; Theresiak, A.
Konferenzbeitrag
1994Applications of single-beam photothermal analysis
Schork, R.; Krügel, S.; Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1994Assessment of clustering induced internal strain in AlInAs on InP grown by molecular beam epitaxy
Hase, A.; Kunzel, H.; Zahn, D.R.T.; Richter, W.
Zeitschriftenaufsatz
1994Determination of band-edge offset by weak field hall measurement on MBE PbSe/PbEuSe multi-quantum well structures on KCl
Shi, Z.; Lambrecht, A.; Tacke, M.
Zeitschriftenaufsatz
1994Luminescence of a quantum-confined dense electron-hole plasma from PbSe nanostructures
Herrmann, K.H.; Tomm, J.W.; Haertel, S.; Hoerstel, W.; Möllmann, K.-P.; Heimbrodt, W.; Tacke, M.; Böttner, H.
Zeitschriftenaufsatz
1994Neue Keramische Werkstoffe
Krell, A.; Pippel, E.; Reetz, T.; Sorge, G.; Woltersdorf, J.
: Michalowsky, L.; Herrmann, M.
Buch
1994Nuclear microprobe application to semiconductor process development - silicide formation and multi-layered structure
Takai, M.; Katayama, Y.; Lohner, T.; Kinomura, A.; Ryssel, H.; Tsien, P.H.; Satou, M.; Chayahara, A.; Burte, E.P.
Zeitschriftenaufsatz
1994Practical aspects of ion beam analysis of semiconductor structures
Frey, L.; Pichler, P.; Kasko, I.; Thies, I.; Lipp, S.; Streckfuß, N.; Gong, L.
Zeitschriftenaufsatz
1994Valence band hybridizing in europium-alloyed lead selenide
Tomm, J.W.; Möllmann, K.-P.; Peuker, F.; Herrmann, K.H.; Böttner, H.; Tacke, M.
Zeitschriftenaufsatz
1993The electrical characteristics of Pb1-xEuxSe homojunctions.
Xu, J.; Halford, B.; Tacke, M.
Zeitschriftenaufsatz
1993Low-temperature MBE of AlGaInAs lattice-matched to InP
Künzel, H.; Böttcher, J.; Gibis, R.; Hoenow, H.; Heedt, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1993MBE growth and properties of high quality Al(Ga)InAs/GaInAs MQW structures
Kunzel, H.; Bottcher, J.; Hase, A.; Shramm, C.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1993Monolithic integrated wavelength duplexer-receiver on InP
Bornholdt, C.; Trommer, D.; Unterborsch, G.; Bach, H.-G.; Venghaus, H.; Weinert, C.M.
Zeitschriftenaufsatz
1993Optisches Prozessieren
Eyer, A.; Räuber, A.
Konferenzbeitrag
1992Chemical transport reactions during crystal growth of PbTe and PbSe via vapour phase influenced by AgI.
Stöber, D.; Hildmann, B.O.; Böttner, H.; Schelb, S.; Binnewies, M.; Bachem, K.H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Gold and platinum diffusion. The key to the understanding of intrinsic point defect behaviour in silicon
Zimmermann, H.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1992Information processing in semiconductor manufacturing
 
Tagungsband
1992Laser induced sputtering of insulators
Panzner, M.; Pompe, W.; Schöneich, B.; Völlmar, S.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
1992Shallow p-n junctions produced by laser doping with boron silicate glass
Bollmann, D.; Buchner, R.; Haberger, K.; Neumayer, G.
Konferenzbeitrag
1992Some band structure related optical and photoelectrical properties of Pb1-xEuxSe 0 < x < 0.2
Herrmann, K.H.; Möllmann, K.-P.; Tomm, J.W.; Böttner, H.; Lambrecht, A.; Tacke, M.
Zeitschriftenaufsatz
1992Temperature dependence of RoA product for PbSe photodiodes fabricated by MBE and diffusion.
Tacke, M.; Xu, J.
Zeitschriftenaufsatz
1992Ultrafast dephasing in GaAs and GaAs/AlGaAs quantum wells
Leo, K.; Haring Bolivar, P.; Maidorn, G.; Kurz, H.; Köhler, K.
Konferenzbeitrag
1992Ultrafast electron dynamics at semiconductor surfaces and interfaces studied with subpicosecond laser photoemission.
Haight, R.; Baeumler, M.; Silberman, J.A.; Kirchner, P.D.
Zeitschriftenaufsatz
1991Application of localized Zn diffusion across heterointerfaces for the realization of a compact high-speed bipolar driver circuit on InGaAsP/InP
Weber, R.; Paraskevopoulos, A.; Schroeter-Janssen, H.; Bach, H.G.
Zeitschriftenaufsatz
1991Hohes Automatisierungspotential in der Chip-Produktion. Kommunikation als Schwachstelle, Fertigungszellen sollen Automatisierungsgrad im Reinraum erhöhen
Schäfer, W.; Wohnhas, S.
Zeitschriftenaufsatz
1991In-situ measurement of planarization of wafer topography
Bollmann, D.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1991An integrated laser driver circuit based on implanted collector InGaAs/InAlAs HBTs
Su, L.M.; Kunzel, H.; Bach, H.G.; Schlaak, W.; Grote, N.
Konferenzbeitrag
1991Ist deutsches Halbleiterfertigungsequipment noch konkurrenzfähig
Frühauf, W.
Zeitschriftenaufsatz
1991Metallization of integrated circuits by laser evaporation of metal sandwich layers
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Konferenzbeitrag
1991Partikelmessungen in Gasen
Dorner, J.; Müller, B.
Konferenzbeitrag
1991Polarisation diversity waveguide network integrated on InP for a coherent optical receiver front-end
Heidrich, H.; Hamacher, M.; Albrecht, P.; Engel, H.; Hoffmann, D.; Imhof, D.; Nolting, H.-P.; Reier, F.; Weinert, C.M.
Konferenzbeitrag
1991Raman characterization of semiconducting materials and related structures.
Prevot, B.; Wagner, J.
Zeitschriftenaufsatz
1991Shallow p-n junctions produced by laser doping with Boron and Phosphorus Silicate glass
Bollmann, D.; Stock, G.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Den Gigachip im Visier
Dorner, J.; Geißinger, J.
Konferenzbeitrag
1990Doping and diffusion behaviour of Fe in MOVPE grown InP layers
Franke, D.; Harde, P.; Wolfram, P.; Grote, N.
Zeitschriftenaufsatz
1990Economical feasibility study of local cleanrooms as an alternative for conventional cleanrooms in semiconductor manufacturing
Kahlden, T. von
Konferenzbeitrag
1990In situ etching depth monitoring for reactive ion etching of InGaAs(P)/InP heterostructures by ellipsometry
Muller, R.
Zeitschriftenaufsatz
1990Incorporation behaviour of manganese in MBE grown Ga0.47In0.53As
Kunzel, H.; Bochnia, R.; Gibis, R.; Harde, P.; Passenberg, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990Influence of the BaF2 substrate preparation on the structural perfection of epitaxially grown IV-VI compounds.
Clemens, H.; Voiticek, A.; Holzinger, A.; Bauer, G.
Zeitschriftenaufsatz
1990Laser evaporation of metal sandwich layers for improved IC metallization
Bollmann, D.; Haberger, K.; Pielmeier, R.
Zeitschriftenaufsatz
1990Leitsysteme für die Halbleiterfertigung. Praxisnahe Forschungsförderung am IPA
Sauter, K.-D.
Zeitschriftenaufsatz
1990A luminescence study in the Pb(1-x)Eu(x)Se system
Böttner, H.; Herrmann, K.H.; Lambrecht, A.; Tacke, M.; Tomm, J.W.
Zeitschriftenaufsatz
1990New manufacturing concepts for the production of integrated circuits
Warnecke, H.-J.; Frühauf, W.; Schmutz, W.
Konferenzbeitrag
1990Nondestructive thickness mapping of epitaxial InGaAsP/InP layers
Sartorius, B.; Brandstattner, M.
Konferenzbeitrag
1990Optimization of extremely highly p-doped In0.53Ga0.47As:Be contact layers grown by MBE
Passenberg, W.; Harde, P.; Kunzel, H.; Trommer, D.
Konferenzbeitrag
1990Strong asymmetry of non-resonant optical four-wave mixing in PbSe and PbSnSe
Dorbath, K.; Häfele, H.G.; Tacke, M.
Zeitschriftenaufsatz
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Ultra flat P-N junctions formed by solid source laser doping
Stock, G.; Bollmann, D.; Buchner, R.; Neumayer, G.; Haberger, K.
Konferenzbeitrag
1990Untersuchungen über Regelparameter in einer Lithographiezelle
Pfitzner, L.; Ryssel, H.; Temmel, G.; Zielonka, G.
Konferenzbeitrag
1989Endpoint detection for CH4/H2 reactive ion etching of InGaAsP heterostructures by mass spectrometry
Schmid, H.; Fidorra, F.; Grutzmacher, D.
Konferenzbeitrag
1989Entwicklung von Prozessmodulen und in-situ-Meßmethoden für ein Flexibles Fotolithografisches Prozeßzentrum
Temmel, G.; Zielonka, G.; Olbrich, H.; Mann, R.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1989Origin and penetration depth of thermal degradation in InP
Sartorius, B.; Pfanner, K.
Zeitschriftenaufsatz
1988Partikelfrei handeln - Handhabungssysteme in reinen Räumen
Seitz, D.; Geissinger, J.
Zeitschriftenaufsatz
1987Dielectrics for passivation of planar InP/InGaAs diodes
Unterborsch, G.; Bach, H.G.; Schmitt, F.; Schmidt, R.; Schlaak, W.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1987Plasma mass spectrometric analysis and control of reactive ion etching of InP and related compounds
Schmid, H.
Konferenzbeitrag
1987Self-aligned low-loss totally reflecting waveguide mirrors in InGaAsP/InP
Niggebrugge, U.; Albrecht, P.; Doldissen, W.; Nolting, H.-P.; Schmid, H.
Konferenzbeitrag
1986Electro-optic modulators in GaInAsP/InP
Krauser, J.; Albrecht, P.; Bornholdt, C.; Doldissen, W.; Niggebrugge, U.; Nolting, H.-P.; Schlak, M.
Konferenzbeitrag
1986A novel process for reactive ion etching on InP, using CH4/H2
Niggebrugge, U.; Klug, M.; Garus, G.
Konferenzbeitrag
1986Reactive ion beam etching of InP with N2 and N2/O2 mixtures
Katzschner, W.; Niggebrügge, U.; Löffler, R.; Schroeter-Janssen, H.
Zeitschriftenaufsatz
1985A novel npn InGaAs bipolar transistor with a wide gap cadmium oxide (CdO) emitter
Su, L.M.; Grote, N.; Bach, H.G.; Doldissen, W.; Rosenzweig, M.
Konferenzbeitrag
1984Ion beam milling of InP with an Ar/O2-gas mixture
Katzchner, W.; Steckenborn, A.; Löffler, R.; Grote, N.
Zeitschriftenaufsatz