Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
1993Application of porous silicon as a sacrificial layer
Lang, W.; Steiner, P.; Richter, A.; Marusczyk, K.; Weimann, G.; Sandmaier, H.
Konferenzbeitrag
1993Herstellung von beweglichen Elementen in der mym-Skala - Surface Micromachining
Kozlowski, F.; Kühl, K.; Lang, W.
Konferenzbeitrag
1993Using porous silicon as a sacrificial layer
Steiner, P.; Richter, A.; Lang, W.
Zeitschriftenaufsatz