Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
20163D simulation of light exposure and resist effects in laser direct write lithography
Onanuga, Temitope; Erdmann, Andreas
Konferenzbeitrag
2006A fast development simulation algorithm for discrete resist models
Schnattinger, T.; Bär, E.; Erdmann, A.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag