Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2004Bulk micro machined quasistatic torsional micro mirror
Kiessling, T.; Wolter, A.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag