Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2019Entwicklung eines BIOMEMS-Sensors für die Vor-Ort-Diagnose auf Basis der Detektion von Frequenzverschiebungen der Biegewellen von funktionalisierten Membranen
Walk, Christian; Wiemann, Matthias; Görtz, Michael; Weidenmüller, Jens; Jupe, Andreas; Seidl, Karsten
Konferenzbeitrag
2010Investigation of stress in AIN thin films for piezoelectric MEMS
Sah, R.E.; Kirste, Lutz; Baeumler, Martina; Hiesinger, P.; Cimalla, Volker; Lebedev, Vadim; Knöbber, F.; Bludau, O.; Röhlig, C.-C.; Baumann, H.
Konferenzbeitrag