Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Magnetron sputtering. Determining scaling relations towards real power discharges using 3D particle-in-cell Monte Carlo models
Tonneau, Romain; Pflug, Andreas; Lucas, Stéphane
Zeitschriftenaufsatz
2015Simulation in thin film technology
Turowski, M.; Jupe, M.; Ehlers, H.; Melzig, T.; Pflug, A.; Ristau, D.
Konferenzbeitrag
20143D PIC-MC simulation of anode effects in dual magnetron discharges
Melzig, T.; Siemers, M.; Pflug, A.; Rank, R.
Zeitschriftenaufsatz
2014Model based investigation of Ar+ ion damage in DC magnetron sputtering
Siemers, M.; Pflug, A.; Melzig, T.; Gehrke, K.; Weimar, A.; Szyszka, B.
Zeitschriftenaufsatz
2014Simulation of linear magnetron discharges in 2D and 3D
Pflug, A.; Siemers, M.; Melzig, T.; Schäfer, L.; Bräuer, G.
Zeitschriftenaufsatz