Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
20013D-electromagnetic field simulation for Low-k1 lithography applications
Erdmann, A.; Gordon, R.; McCallum, M.; Rosenbusch, A.
Zeitschriftenaufsatz
1989Overlay precision between electron beam and optical lithography systems for a mix and match GaAs technology.
Patrick, W.; Glorer, K.; Schneider, J.
Zeitschriftenaufsatz