Fraunhofer-Gesellschaft

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Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Optical performance of LPP multilayer collector mirrors
Feigl, Torsten; Perske, Marco; Pauer, Hagen; Fiedler, Tobias; Yulin, Sergiy; Trost, Marcus; Schroeder, Sven; Duparré, Angela; Kaiser, Norbert; Tünnermann, Andreas; Böwering, Norbert; Ershov, Alex; Hoffmann, Kay; La Fontaine, Bruno; Cummings, Kevin D.
Konferenzbeitrag
2011Optics contamination studies in support of high-throughput EUV lithography tools
Hill, S.B.; Faradzhev, N.S.; Richter, L.J.; Grantham, S.; Tarrio, C.; Lucatorto, T.B.; Yulin, S.; Schürmann, M.; Nesterenko, V.; Feigl, T.
Konferenzbeitrag
2011Study on the lifetime of Mo/Si multilayer optics with pulsed EUV-source at the ETS
Schürmann, M.; Yulin, S.; Nesterenko, V.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Tkachenko, B.; Schürmann, M.C.
Konferenzbeitrag
2008Enhanced reflectivity and stability of high-temperature LPP collector mirrors
Feigl, T.; Yulin, S.; Perske, M.; Pauer, H.; Schürmann, M.; Kaiser, N.; Böwering, N.R.; Khodykin, O.V.; Fomenkov, I.V.; Brandt, D.C.
Konferenzbeitrag
2008High-performance EUV multilayer optics
Kaiser, N.; Yulin, S.; Perske, M.; Feigl, T.
Konferenzbeitrag
2008Mo/Si multilayers with enhanced TiO2- and RuO2-capping layers
Yulin, S.; Benoit, N.; Feigl, T.; Kaiser, N.; Fang, M.; Chandhok, M.
Konferenzbeitrag
2006High-temperature LPP collector mirror
Feigl, T.; Yulin, S.; Benoit, N.; Kaiser, N.; Böwering, N.; Ershov, A.; Khodykin, O.; Viatella, J.; Bruzzone, K.; Fomenkov, I.; Myers, D.; Brandt, D.
Konferenzbeitrag