Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020High-throughput direct laser interference patterning: New configurations and applications
Lang, Valentin; Madelung, Aleksander; Alamri, Sabri; Steege, Tobias; Krupop, Benjamin; Aguilar Morales, Alfredo Ismael; Kunze, Tim; Lasagni, Andrés-Fabián
Konferenzbeitrag
2011Computational algorithms for optimizing mask layouts in proximity printing
Motzek, K.; Vogler, U.; Hennemeyer, M.; Hornung, M.; Voelkel, R.; Erdmann, A.; Meliorisz, B.
Zeitschriftenaufsatz
2010Optimization of illumination pupils and mask structures for proximity printing
Motzek, K.; Bich, A.; Erdmann, A.; Hornung, M.; Hennemeyer, M.; Meliorisz, B.; Hofmann, U.; Ünal, N.; Völkel, R.; Partel, S.; Hudek, P.
Konferenzbeitrag, Zeitschriftenaufsatz
1995New system for fast submicron laser direct writing
Kück, Heinz; Bollerott, Michael; Doleschal, Wolfgang; Gehner, Andreas; Kunze, Detlef; Grundke, Wolfram; Melcher, Rolf; Paufler, Jörg; Seltmann, Rolf; Zimmer, Günter
Konferenzbeitrag
1989Overlay precision between electron beam and optical lithography systems for a mix and match GaAs technology.
Patrick, W.; Glorer, K.; Schneider, J.
Zeitschriftenaufsatz