Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Pseudo 3-D multiphysics simulation of a hydride vapor phase epitaxy reactor
Hackert-Oschätzchen, Matthias; Schubert, Andreas; Penzel, Michael; Plänitz, Philipp
Konferenzbeitrag
2011Multiphysics simulations for the optimisation of CMOS processes for high precision optical measurement applications
Hochschulz, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag
2010Multiphysics simulation for the optimisation of CMOS processes for high precision optical measurement applications
Hochschulz, F.; Paschen, U.; Vogt, H.
Konferenzbeitrag