Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2012Packaging technology of multi deflection arrays for multi-shaped beam lithography
Burkhardt, T.; Mohaupt, M.; Hornaff, M.; Zaage, B.; Beckert, E.; Döring, H.-J.; Slodowski, M.; Reimer, K.; Witt, M.; Eberhardt, R.; Tünnermann, A.
Konferenzbeitrag
2012Precisely assembled multi deflection arrays - key components for multi shaped beam lithography
Mohaupt, Matthias; Beckert, Erik; Burkhardt, Thomas; Hornaff, Marcel; Damm, Christoph; Eberhardt, Ramona; Tünnermann, Andreas; Döring, Hans-Joachim; Reimer, Klaus
Konferenzbeitrag