Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2015Analysis of distinct scattering of extreme ultraviolet phase and amplitude multilayer defects with an actinic dark-field microscope
Bahrenberg, L.; Herbert, S.; Tempeler, J.; Maryasov, A.; Hofmann, O.; Danylyuk, S.; Lebert, R.; Loosen, P.; Juschkin, L.
Konferenzbeitrag
2015Integrating microscopic analysis into existing quality assurance processes
Frühberger, Peter; Stephan, T.; Beyerer, Jürgen
Konferenzbeitrag