Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2009Fabrication of 3D comb drive microscanners by mechanically induced permanent displacement
Jung, D.; Kallweit, D.; Sandner, T.; Conrad, H.; Schenk, H.; Lakner, H.
Konferenzbeitrag
2009Waferlevel Vacuum Packaged Microscanners
Oldsen, M.; Hofmann, U.; Janes, J.; Quenzer, J.; Wagner, B.
Zeitschriftenaufsatz
2005Micro-opto-electro-mechanical systems technology and its impact on photonic applications
Schenk, H.; Wolter, A.; Dauderstädt, U.; Gehner, A.; Lakner, H.
Zeitschriftenaufsatz
2005Untersuchungen zum aktiven Frequenztuning resonanter Microscannerspiegel
Graßhoff, T.
Diplomarbeit
2001A resonantly excited 2D-micro-scanning-mirror with large deflection
Schenk, H.; Dürr, P.; Kunze, D.; Lakner, H.; Kück, H.
Zeitschriftenaufsatz