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| 2020 | Accuracy analysis of a stand-alone EUV spectrometer for the characterization of ultrathin films and nanoscale gratings
Schröder, Sophia; Bahrenberg, Lukas; Eryilmaz, Nimet Kutay; Glabisch, Sven; Danylyuk, Serhiy; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter | Konferenzbeitrag |
| 2019 | Hybrid modeling of thermo-elastic behavior of a three-axis machining center using integral deformation sensors
Brecher, Christian; Lee, Tae Hun; Tzanetos, Filippos; Zontar, Daniel | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2019 | Laboratory-based EUV spectroscopy for the characterization of thin films, membranes and nanostructured surfaces
Bahrenberg, Lukas; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter | Konferenzbeitrag |
| 2019 | Proceedings of the 2018 Joint Workshop of Fraunhofer IOSB and Institute for Anthropomatics, Vision and Fusion Laboratory
: Beyerer, Jürgen (Ed.); Taphanel, Miro (Ed.); Taphanel, Miro (Ed.) | Tagungsband |
| 2019 | Spectroscopic reflectometry in the extreme ultraviolet for critical dimension metrology
Bahrenberg, Lukas; Danylyuk, Serhiy; Michels, Robert; Glabisch, Sven; Ghafoori, Moein; Brose, Sascha; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter | Konferenzbeitrag |
| 2018 | Data Collection and Analysis for the Creation of a Digital Shadow During the Production of Thermoplastic Composite Layers in Unbonded Flexible Pipes
Schäkel, Martin; McNab, John; Dodds, Neville; Peters, Tido; Janssen, Henning; Brecher, Christian | Konferenzbeitrag |
| 2018 | Joint Workshop of Fraunhofer IOSB and Institute for Anthropomatics, Vision and Fusion Laboratory 2017. Proceedings
: Beyerer, Jürgen (Ed.); Pak, Alexey (Ed.); Taphanel, Miro (Ed.) | Tagungsband |
| 2018 | Online-Korrektur für thermisch-bedingte Fehler bei Werkzeugmaschinen
Tzanetos, Filippos; Lowis, Steffen | Zeitschriftenaufsatz |
| 2017 | Analysis of spatial and temporal dependencies of the TCP-dislocation measurement for the assessment of the thermo-elastic behavior of 3-axis machine tools
Brecher, Christian; Klatte, Michel; Tzanetos, Filippos | Konferenzbeitrag |
| 2017 | Les atouts de l'OCT pour le soudage laser
Ackermann, Philippe | Zeitschriftenaufsatz |
| 2017 | Berührungslose Prüfung komplexer Optik-Komponenten
Depiereux, Frank; Rämer, Kurt | Zeitschriftenaufsatz |
| 2017 | Conception of an eddy current in-process quality control for the production of carbon fibre reinforced components in the RTM process chain
Berger, Dietrich; Egloff, Andreas; Summa, Jannik; Schwarz, Michael; Lanza, Gisela; Herrmann, Hans-Georg | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 2017 | Funktionsprinzip der messtechnisch basierten Korrektur thermischer Verlagerungen am Versuchsträger MAX
Riedel, Mirko; Müller, Jens; Klatte, Michel; Tzanetos, Filippos | Konferenzbeitrag |
| 2017 | Integration of a smart measurement device in the laser structuring process chain to ensure high quality
Pothen, Mario; Henrichs, Oliver | Konferenzbeitrag |
| 2017 | Joint Workshop of Fraunhofer IOSB and Institute for Anthropomatics, Vision and Fusion Laboratory 2016. Proceedings
: Beyerer, Jürgen (Ed.); Pak, Alexey (Ed.) | Tagungsband |
| 2017 | Roboter forscht. Automatisierte Kultivierung von Stammzellen
Kulik, Michael; Jung, Sven; Schmitt, Robert | Zeitschriftenaufsatz |
| 2017 | Two-photon polymerization as a structuring technology in production: Future or fiction?
Harnisch, Emely Marie; Schmitt, Robert | Konferenzbeitrag |
| 2016 | Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle
Schenk, Friedrich; Arnold, Steffen; Reiff, Ellen-Christine | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Hochgeschwindigkeitsmikroskopie zur Qualitätskontrolle
Schenk, Friedrich; Arnold, Steffen; Reiff, Ellen-Christine | Zeitschriftenaufsatz |
| 2016 | Mit Konnektivität zur erfolgreichen Vernetzung
Bernardy, Anne; Ekanayake, Sarah; Kunze, Rouwen | Zeitschriftenaufsatz |
| 2015 | Life Cycle oriented Milling Tool Management in Small Batch Production
Dröscher, Tim | Master Thesis |
| 2014 | Absolutely referenced distance measurement by combination of time-of-flight and digital holographic methods
Fratz, Markus; Weimann, Claudius; Wölfelschneider, Harald; Koos, Christian; Höfler, Heinrich | Konferenzbeitrag |
| 2014 | Entwicklung und Anwendung einer Methodik zur Optimierung der Anlagentechnik von Krankenhäusern aus energetischer Sicht mit Hilfe von Energiemengenmessungen
Heyer, Dominik
: Lampe, Matthias (Betreuer); Schnier, Matthias (Betreuer) | Master Thesis |
| 2014 | Fabrication of the magnetic circuit for the BIPM watt balance
Ellinghaus, Jan M.; Arneson, Dave; Brecher, Christian; Wenzel, Christian; Knapp, Byron; Kiss, Adrien; Lavergne, Thomas; Stock, Michael | Konferenzbeitrag |
| 2014 | Helfer ohne Fehl und Tadel - Assistenzsysteme für den sicheren Einsatz optischer Abstandssensoren
Böttner, Thomas; Mauch, Florian; Osten, Wolfgang; Riedel, Jörn; Schmitt, Robert; Schmidt, Heiko; Hausotte, Tino; Wiehr, Christian; Seewig, Jörg | Zeitschriftenaufsatz |
| 2014 | Morphometric grading of osteoarthritis by optical coherence tomography - an ex vivo study
Nebelung, Sven; Marx, Ulrich; Brill, Nicolai; Arbab, Darius; Quack, Valentin; Jahr, Holger; Tingart, Markus; Zhou, Bei; Stoffel, Marcus; Schmitt, R.; Rath, Björn | Zeitschriftenaufsatz |
| 2014 | Optische Messtechnik für die berührungslose Oberflächencharakterisierung
Schmitt, Robert; König, Niels; Hill, Christian | Konferenzbeitrag |
| 2014 | Site-specific metrology, inspection, and failure analysis of three-dimensional interconnects using focused ion beam technology
Altmann, F.; Young, R.J. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2013 | Adaptive quality assurance of the product development process of additive manufacturing with modern 3D data evaluation methods
Kroll, Julia; Botta, Sabine; Breuninger, Jannis; Verl, Alexander | Konferenzbeitrag |
| 2013 | Optimaler Einsatz von Messtechnik im Werkzeug- und Formenbau
Rämer, Kurt | Zeitschriftenaufsatz |
| 2012 | High precision, fast and flexible calibration of robots and large multi-axis machine tools
Brecher, Christian; Flore, Jakob; Haag, Sebastian; Wenzel, Christian | Konferenzbeitrag |
| 2012 | Messung von organischen Spurenverbindungen
Salazar Gómez, Jorge Iván; Gerstner, Andrea; Jovic, Alisa | Aufsatz in Buch |
| 2011 | Adaptive Fertigung mikrooptischer Bauteile mit maschinenintegrierter Messtechnik
: Schmitt, Robert; Bichmann, Stephan | Bericht |
| 2011 | Maschinenintegrierte Messtechnik für die Herstellung von Diamantschneidwerkzeugen
Fleischle, David; Berger, Reinhard; Lyda, Wolfram; Sobotka, Andreas; Osten, Wolfgang | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Entwicklung von Spurenanalytik für Biogase
Lohmann, H.; Urban, W. | Konferenzbeitrag |
| 2010 | Three-dimensional compositional & structural characterization of semiconducting materials with sub-Nm resoluti
Shariq, A.; Wedderhoff, K.; Kleint, C.; Teichert, S. | Abstract |
| 2009 | Makyoh-Imaging zur Charakterisierung reflektierender Oberflächen
Finck, A. von; Duparre, A.; Pfeffer, M. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2009 | Multiwavelength digital holography with autocalibration of phase shifts and artificial wavelengths
Carl, D.; Fratz, M.; Pfeifer, M.; Giel, D.M.; Höfler, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2007 | Industrielle Bildverarbeitung. Von den Grundlagen zur Anwendung
Modrich, Kai-Udo | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Instrument for the Measurement of EUV Reflectance and Scattering - MERLIN
Schröder, S.; Kamprath, M.; Gliech, S.; Duparre, A.; Tünnermann, A. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Measurement Problems
Duparre, A.; Ristau, D. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | Scanning force microscopy of coatings and nanostructured surfaces
Flemming, M.; Duparre, A. | Konferenzbeitrag |
| 2007 | UV-VIS-NIR scatter measurement methods for ultra precision surfaces and coatings
Gliech, S.; Wendt, R.; Duparre, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | 3-D parts recognition for handling and sorting
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | 3-D parts recognition for handling and sorting
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Automatische Segmentierung von Messpunktwolken in regelgeometrische Elemente
Westkämper, E.; Stotz, M.; Effenberger, I. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2006 | Industrielle Bildverarbeitung: Von den Grundlagen zur Anwendung
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Statistische Methoden zur Prozessoptimierung und alternative Sensorsysteme
Holeczek, H. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | A 3D-approach for the recognition of parts for handling and sorting
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2005 | Scanning force microscopy for optical surface metrology
Flemming, M.; Roder, K.; Duparre, A. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Industrielle Computertomographie Möglichkeiten, Anwendungen und Visionen
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Launching European funded projects on the EMVA platform - challenges, possibilities and concrete project proposals
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2004 | Die Rolle von Mess- und Prüftechnik in Rapid Manufacturing
Modrich, K.-U. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Light-scattering measurements of optical thin-film components at 157 and 193 nm
Gliech, S.; Steinert, J.; Duparre, A. | Zeitschriftenaufsatz |
| 2000 | 3D surface inspection with a DMD based sensor
Bitte, F.; Mischo, H.; Pfeifer, T.; Frankowski, G. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Metrology for laser-structured microdevices by CCD-camera based vision systems
Ostlender, A.; Pütz, U.; Kreutz, E.W. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Miniaturisierung von Komponenten und Bauteilen im Maschinenbau
Westkämper, E. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | Modular metrology tools for productivity enhancement in wafer fabs
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H. | Konferenzbeitrag |
| 1997 | A new speckle-interferometric approach to measure the 3D-shape of discontinuous free-form surfaces
Pfeifer, T.; Evertz, J.; Mischo, H. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Beam characterization for materials processing
Herziger, G.; Scholl, M. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Fully automated angle resolved scatterometer
Neubert, J.; Seifert, T. | Konferenzbeitrag |
| 1994 | Survey on electrostatic susceptibility of integrated circuits
Gieser, H.; Ruge, I. | Konferenzbeitrag |
| 1992 | Specklemeßtechnik
Höfling, R. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1990 | Abnahmeprüfung und Kalibrierung von Laserinterferometer-Systemen
Dutschke, W.; Unger, J. | Konferenzbeitrag |
| 1989 | Interferometric methods for surface metrology
Broermann, E.; Pfeifer, T.; Tutsch, R. | Tagungsband |
| 1987 | Linewidth metrology for X-rax masks with subhalfmicron feature size
Huber, H.-L.; Mescheder, U.; Mund, F. | Zeitschriftenaufsatz |