
Publica
Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten. | | |
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| 2009 | Robust LTCC/PZT sensor-actuator-module for aluminium die casting Flössel, M.; Scheithauer, U.; Gebhardt, S.; Schönecker, A.; Michaelis, A. | Konferenzbeitrag |
| 2006 | Influence of the thermal treatment during the saw damage etching process on the mechanical stability of multicrystalline silicon wafers Borchert, D.; Riepe, S.; Kübler, R.; Beinert, J.; Kraft, T.; Kleer, G.; Petri, S. | Konferenzbeitrag |
| 2002 | Design and fabrication of a novel low cost hotplate micro gas sensor Hildenbrand, J.; Wöllenstein, J.; Spiller, E.; Kühner, G.; Böttner, H.; Urban, G.; Korvink, J.G. | Konferenzbeitrag |
| 2000 | Large deflection micromechanical scanning mirrors for linear scans and pattern generation Schenk, H.; Dürr, P.; Haase, T.; Kunze, D.; Sobe, U.; Lakner, H.; Kück, H. | Zeitschriftenaufsatz |
| 1997 | Adhesive flip chip bonding on flexible substrates Aschenbrenner, R.; Mießner, R.; Reichl, H. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |
| 1997 | Adhesive flip chip bonding on flexible substrates Aschenbrenner, R.; Mießner, R.; Reichl, H. | Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag |