Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2005Lokale Reinigung von Funktionsflächen
Grimme, R.; Hauptmann, J.; Krieg, M.C.
Zeitschriftenaufsatz
2000Präzisionsreinigung von Mikrostrukturen mittels UV-Laser
Rochowicz, M.; Grimme, R.; Schäfer, W.
Konferenzbeitrag