Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Ultrathin titanium dioxide nanolayers by atomic layer deposition for surface passivation of crystalline silicon
Gad, K.M.; Vössing, D.; Richter, A.; Rayner, B.; Reindl, L.M.; Mohney, S.E.; Kasemann, M.
Zeitschriftenaufsatz
2015Influence of the oxygen plasma parameters on the atomic layer deposition of titanium dioxide
Ratzsch, Stephan; Kley, Ernst-Bernhard; Tünnermann, Andreas; Szeghalmi, Adriana
Zeitschriftenaufsatz
1998Three-dimensional simulation of layer deposition
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
19973D simulation for sub-micron metallization
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
19973D simulation of sputter deposition of titanium layers in contact holes with high aspect ratios2
Bär, E.; Lorenz, J.; Ryssel, H.
Zeitschriftenaufsatz
1989Programs for VLSI process simulation
Pichler, P.; Lorenz, J.; Pelka, J.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag