Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2000Spektroskopische Plasmadiagnostik zur Verfahrensoptimierung beim Laserstrahl-Hochgeschwindigkeitsschneiden
Nate, M.
Dissertation
1999Comparison of laser produced and gas discharge based EUV sources for different applications
Lebert, R.; Bergmann, K.; Schriever, G.; Neff, W.
Konferenzbeitrag
1999A gas discharged based radiation source for EUV-lithography
Lebert, R.; Bergmann, K.; Schriever, G.; Neff, W.
Konferenzbeitrag
1996Optische Plasmaspektroskopie und Kurzzeituntersuchungen an gepulsten Laser-, Bogen- und Kanalfunkenplasmen
Witke, T.
Dissertation