Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2020Design and realization of an industrial stand-alone EUV resist qualification setup
Lüttgenau, Bernhard; Brose, Sascha; Choi, Seonghyeok; Panitzek, Dieter; Danylyuk, Serhiy; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter
Konferenzbeitrag
2019EUV-LET 2.0: A compact exposure tool for industrial research at a wavelength of 13.5nm
Brose, Sascha; Danylyuk, Serhiy; Bahrenberg, Lukas; Lebert, Rainer; Stollenwerk, Jochen; Loosen, Peter; Juschkin, Larissa
Konferenzbeitrag