Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2006Prozessnahe Geometrievermessung von Mikrostrukturen in Höchstpräzisionsbearbeitungsmaschinen
Böhme, J.
Diplomarbeit
1999Contactless mapping of mesoscopic resistivity variations in semi-insulating substrates
Stibal, R.; Wickert, M.; Hiesinger, P.; Jantz, W.
Zeitschriftenaufsatz
1990Einsatz des Laser-Raster-Mikroskops zum Test hochintegrierter CMOS-Schaltungen
Fritz, J.; Lackmann, R.
Zeitschriftenaufsatz