Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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2008High power pulsed magnetron sputtering of transparent conducting oxides
Sittinger, V.; Ruske, F.; Werner, W.; Jacobs, C.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz
2008Reactive deposition of aluminium-doped zinc oxide thin films using high power pulsed magnetron sputtering
Ruske, F.; Pflug, A.; Sittinger, V.; Werner, W.; Szyszka, B.; Christie, D.J.
Zeitschriftenaufsatz