Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2016Simulating wafer bow for integrated capacitors using a multiscale approach
Wright, Alan; Krach, Florian; Thielen, Nils; Grünler, Saeideh; Erlbacher, Tobias; Pichler, Peter
Konferenzbeitrag
2011Dielectric layers suitable for high voltage integrated trench capacitors
Dorp, J. vom; Erlbacher, T.; Bauer, A.J.; Ryssel, H.; Frey, L.
Zeitschriftenaufsatz, Konferenzbeitrag