Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

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1994Insitu post deposition anneal of rapid thermal chemical vapor deposited titanium nitride
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag
1994Rapid thermal chemical vapor deposition of titanium nitride for barrier application
Fröschle, B.; Leutenecker, R.; Cao-Minh, U.; Ramm, P.
Konferenzbeitrag