Fraunhofer-Gesellschaft

Publica

Hier finden Sie wissenschaftliche Publikationen aus den Fraunhofer-Instituten.
2002A field mill based on the modular MEMs framework Match-X
Matuscheck, P.; Evers, J.; Schäfer, W.; Nienhaus, M.; Kleen, S.
Konferenzbeitrag
2001Integrated metrology. An enabler for advanced process control (APC)
Schneider, C.; Pfitzner, L.; Ryssel, H.
Konferenzbeitrag
1998Oxide layer thickness measurement
Schneider, C.
Zeitschriftenaufsatz
1987Prozeßüberwachung bei Halbleiterfertigungsgeräten
Ryssel, H.; Pfitzner, L.
Konferenzbeitrag